Добавил:

DungeonMaster instagram.com Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.

Вуз:

Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ"

Предмет:

Основы планарной технологии

Файл:

лекции / 7_Плазменные методы нанесения и удаления вещества.ppt

Скачиваний:

2

Добавлен:

13.06.2025

Размер:

6.06 Mб

Скачать

☆

<<< < Предыдущая 1 23 / 33

Примеры химических реакций, протекающих при плазменном травлении

<<< < Предыдущая 1 23 / 33

Соседние файлы в папке лекции

#
13.06.20255.44 Mб22_Чистота в производстве ИС.ppt
#
13.06.2025828.42 Кб23_Способы получения вакуума.ppt
#
13.06.20254.43 Mб14_Нанесение металлических плёнок.ppt
#
13.06.20252.33 Mб15_Нанесение слоев методами эпитаксиии.ppt
#
13.06.2025323.56 Кб36_Технология и применение диэлектрических пленок в микроэлектронике.pptx
#
13.06.20256.06 Mб27_Плазменные методы нанесения и удаления вещества.ppt
#
13.06.20253.93 Mб18_Процессы жидкостного химического травления (2).ppt
#
13.06.20251.56 Mб19_Методы модифицирования поверхности твердого тела. Диффузия.ppt