Добавил:

DungeonMaster t.me мой будущий Dungeon Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.

Вуз:

Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ"

Предмет:

Основы планарной технологии

Файл:

лекции / 7_Плазменные методы нанесения и удаления вещества.ppt

Скачиваний:

0

Добавлен:

13.06.2025

Размер:

6.06 Mб

Скачать

☆

<<< < Предыдущая 1 23 / 33

Примеры химических реакций, протекающих при плазменном травлении

<<< < Предыдущая 1 23 / 33

Соседние файлы в папке лекции

#
13.06.20255.44 Mб02_Чистота в производстве ИС.ppt
#
13.06.2025828.42 Кб03_Способы получения вакуума.ppt
#
13.06.20254.43 Mб04_Нанесение металлических плёнок.ppt
#
13.06.20252.33 Mб05_Нанесение слоев методами эпитаксиии.ppt
#
13.06.2025323.56 Кб06_Технология и применение диэлектрических пленок в микроэлектронике.pptx
#
13.06.20256.06 Mб07_Плазменные методы нанесения и удаления вещества.ppt
#
13.06.20253.93 Mб08_Процессы жидкостного химического травления (2).ppt
#
13.06.20251.56 Mб09_Методы модифицирования поверхности твердого тела. Диффузия.ppt