Файловый архив студентов.
1312 вуза, 5254 предмета.
Войти
/
Регистрация
Войти
Регистрация
Логин:
Пароль:
Забыли пароль?
Email:
Email повторно:
Логин:
Пароль:
Принимаю
пользовательское соглашение
FAQ
Обратная связь
Вопросы и предложения
Вузы
Предметы
Пользователи
Добавить файлы
Реферат AI
Заказать работу
Добавил:
DungeonMaster
instagram.com
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права?
Сообщите нам.
Вуз:
Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ"
Предмет:
Основы планарной технологии
Файл:
лекции
/ 7_Плазменные методы нанесения и удаления вещества
.ppt
Скачиваний:
2
Добавлен:
13.06.2025
Размер:
6.06 Mб
Скачать
☆
►Содержание►
X
•
Плазменные методы нанесения и удаления вещества
•
Условия распыления в плазме газового тлеющего разряда
•
Катодная распылительная
•
Коэффициент распыления мишени
•
Зависимость Кр от энергии падающих ионов (а) и от угла падения ионов (б)
•
Массовая скорость распыления
•
Перенос распыляемого материала от мишени к поверхности конденсации
•
ВАХ самостоятельного
•
Магнетронная распылительная
•
Мишени
•
Ионно-плазменное осаждение, аппаратура
•
Ионно-плазменное осаждение, механизм
•
Стадии поверхностных процессов и его параметры
•
Плазменное и ионное травление
•
Подтравливание под маску из-за отражения потока частиц от поверхности нижележащего слоя
•
Стадии ионного травления через защитную маску
•
Bosh-процесс
•
Плазменное травление в химически активной среде
•
Примеры химических реакций, протекающих при плазменном травлении
<<
<
< Предыдущая
1
2
3 / 3
3
Примеры химических реакций, протекающих при плазменном травлении
<<
<
< Предыдущая
1
2
3 / 3
3
Соседние файлы в папке
лекции
#
13.06.2025
5.44 Mб
2
2_Чистота в производстве ИС.ppt
#
13.06.2025
828.42 Кб
2
3_Способы получения вакуума.ppt
#
13.06.2025
4.43 Mб
1
4_Нанесение металлических плёнок.ppt
#
13.06.2025
2.33 Mб
1
5_Нанесение слоев методами эпитаксиии.ppt
#
13.06.2025
323.56 Кб
3
6_Технология и применение диэлектрических пленок в микроэлектронике.pptx
#
13.06.2025
6.06 Mб
2
7_Плазменные методы нанесения и удаления вещества.ppt
#
13.06.2025
3.93 Mб
1
8_Процессы жидкостного химического травления (2).ppt
#
13.06.2025
1.56 Mб
1
9_Методы модифицирования поверхности твердого тела. Диффузия.ppt
Ограничение
Для продолжения скачивания необходимо пройти капчу: