Файловый архив студентов.
1314 вуза, 5325 предмета.
Войти
/
Регистрация
Войти
Регистрация
Логин:
Пароль:
Забыли пароль?
Email:
Email повторно:
Логин:
Пароль:
Принимаю
пользовательское соглашение
FAQ
Обратная связь
Вопросы и предложения
Вузы
Предметы
Пользователи
Добавить файлы
Реферат AI
Заказать работу
Добавил:
DungeonMaster
instagram.com
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права?
Сообщите нам.
Вуз:
Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ"
Предмет:
Основы планарной технологии
Файл:
лекции
/ 4_Нанесение металлических плёнок
.ppt
Скачиваний:
1
Добавлен:
13.06.2025
Размер:
4.43 Mб
Скачать
☆
►Содержание►
X
•
Металлизация ИС
•
Требования к системам металлизации ИС
•
Достоинства плёнок алюминия
•
Недостатки плёнок алюминия
•
Схема растворения Si при вжигании алюминиевого контакта
•
Многослойные контактные системы
•
Многоуровневая разводка
•
Основные методы осаждения тонких пленок
•
Этапы образования плёнки
•
Термовакуумное испарение
•
Вакуумный пост
•
Влияние давления на скорость осаждения
•
Виды испарителей
•
Электронно-лучевое испарение
<<
<
< Предыдущая
1
2 / 2
2
Вакуумный пост
Влияние давления на скорость осаждения
Виды испарителей
Электронно-лучевое испарение
<<
<
< Предыдущая
1
2 / 2
2
Соседние файлы в папке
лекции
#
13.06.2025
290.3 Кб
2
10_Методы модифицирования поверхности твердого тела.Ионная имплантация.ppt
#
13.06.2025
3.91 Mб
4
11_Фотолитография.ppt
#
13.06.2025
75.26 Кб
1
15_Операции сборки (корпусирования).ppt
#
13.06.2025
5.44 Mб
3
2_Чистота в производстве ИС.ppt
#
13.06.2025
828.42 Кб
2
3_Способы получения вакуума.ppt
#
13.06.2025
4.43 Mб
1
4_Нанесение металлических плёнок.ppt
#
13.06.2025
2.33 Mб
2
5_Нанесение слоев методами эпитаксиии.ppt
#
13.06.2025
323.56 Кб
3
6_Технология и применение диэлектрических пленок в микроэлектронике.pptx
#
13.06.2025
6.06 Mб
2
7_Плазменные методы нанесения и удаления вещества.ppt
#
13.06.2025
3.93 Mб
1
8_Процессы жидкостного химического травления (2).ppt
#
13.06.2025
1.56 Mб
1
9_Методы модифицирования поверхности твердого тела. Диффузия.ppt
Ограничение
Для продолжения скачивания необходимо пройти капчу: