Турбомолекулярный насос
Ионный насос
Способы контроля вакуума
Терморезисторные вакуумметры (манометр Пирани);
Термопарные манометрические лампы – зависимость теплоотдачи от давления;
Ионизационные лампы – зависимость ионизационного тока от уровня вакуума
Теплоэлектрические преобразователи для измерения давления
а — термопарный датчик ЛТ-2; 1 — стеклянный баллон; 2 — нить накала; 3 — термопара;
б — датчик сопротивления Ml-6; 1 — защитный колпачок (в нерабочем состоянии); 2 — металлический корпус; 3
— рабочая нить
Ионизационная лампа ЛМ-2
1 — катод; 2 — сетка; 3 — коллектор
Гелиевые течеискатели
Схема масс-анализатора (а) и ионного источника (б):
1 — катод, 2 — ионизатор, 3 — траектория ионов He+, 4 — диафрагма, 5 — супрессор, 6 — коллектор.