Создание вакуума
Ва́куум(от лат. vacuus — пустой) — пространство, свободное от вещества. В технике и прикладной физике под вакуумом понимают среду, состоящую из газа при давлении значительно ниже атмосферного
Уровни вакуума
средний вакуум: от 133,3 Па до 0,1333 Па; высокий вакуум: от 0,1 Па до 10-5 Па; сверхвысокий вакуум: от 10-5 Па.
1 торр = 1 мм.рт.ст. = 133,3 Па; 1 бар = 1 атм. = 101325 Па = 760 мм.рт.ст.
Принципы получения вакуума
удаление газа из откачиваемого объема за пределы вакуумной системы;
связывание газа в пределах вакуумной системы.
Создание высокого вакуума
откачка вакуумными насосами; адсорбция газов; вымораживание газов.
Адсорбция газов на твёрдой поверхности
При Рост = 10-6 мм.рт.ст. на поверхности кремниевой подложки образуется 1 монослой
окисла в секунду.
Плотностью поверхностных состояний: грань (111) – 7,84∙1014 см-2, (100) – 6,78∙1014 см-2.
Изотерма Ленгмюра
Простейшая схема вакуумной системы
Простейшая схема вакуумной системы состоит из элементов:
-откачиваемого объекта;
-насоса;
-соединяющего трубопровода.
Основные параметры вакуумного насоса
начальное давление; предельный вакуум;
скорость откачки (производительность/быстрота действия) - количество откачиваемой среды в единицу времени;
величина получаемого вакуума (максимальное выпускное давление) - величина остаточного давления в емкости с разреженной атмосферой
Основные типы вакуумных насосов
Механические:
- Объемные (низкий и средний вакуум):
винтовые; диафрагменные; поршневые; пластинчато-роторные; золотниковые; насосы Рутса; спиральные. Функционируют со смазочным материалом или без него.
-Молекулярные (средний и высокий вакуум): молекулярные турбонасосы.
Сорбционные:
-пароструйные; гетерно-ионные; криогенные.
Плунжерный вакуумный насос
Ротационные вакуумные насосы
