Добавил:
DungeonMaster
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз:
Предмет:
Файл:лекции / 2_Чистота в производстве ИС.ppt
Загрязнение поверхности подложки
Методы очистки поверхности подложек
В основном используются методы очистки либо в жидкой, либо в газовой средах.
-прогрев подложек в глубоком вакууме;
-ионная бомбардировка в вакууме;
-скол поверхности в глубоком вакууме;
Физические методы очистки
обработка щетками,
обработка потоками жидкости или газа, подаваемыми под большим давлением (от 50 до 300 атм.) через сопла,
ультразвуковая/мегазвуковая обработка.
Растворы для жидкостной очистки подложек
Стандартные концентрации основных компонентов растворов: HCl – 37 %; H2SO4 – 96 %; H2O2 – 30 %; NH4OH – 29 %; HF – 49 %.
