Порядок выполнения работы

1. Подготовка к работе

Для подготовки измерителя добротности ВМ-560 к работе убедитесь, что его органы управления установлены в следующие исходные положения. При необходимости измените положения органов управления.

• Переключатель рода измерений Q – ΔQ - в положение Q;

• Переключатель ВНУТРЕННИЙ ВОЛЬТМЕТР – ОТКЛ. на задней панели измерителя - в положение ВНУТРЕННИЙ ВОЛЬТМЕТР;

• Тумблер питания – в положение I, при этом должна загореться индикаторная лампочка, под символом ~. После прогрева в течение 15 мин. измеритель добротности готов к работе.

  2. Проведение измерений

     1. Подключите тороидальный ферритовый датчик к клеммам Lx, расположенным на верхней панели прибора, если он еще не подключен.

     2. Поставьте переключатель ПРЕДЕЛЫ Q на лицевой панели измерителя добротности в положение, соответствующее предполагаемой величине добротности измеряемого ферритового датчика без пластины. Рекомендуемый предел – 100.

     3. Настройте контур в резонанс.

     4. Грубая настройка контура в резонанс осуществляется нажатием кнопки включения электрического привода ротора измерительного конденсатора, либо вращением барабана изменения частоты генератора.

     5. Точная настройка производится ручкой ЕМКОСТЬ пФ. Момент настройки в резонанс определяется по максимальному отклонению стрелки на шкале прибора, при этом с барабана прибора можно считать значение резонансной частоты ω₀. Если стрелка при этом оказывается в пределах первой трети шкалы, то следует переключиться на более чувствительный диапазон измерений с помощью переключателя ПРЕДЕЛЫ Q.

     6. Откалибруйте измеритель добротности, для чего нажмите кнопку КАЛИБРОВКА Q и, удерживая ее, ручкой Q совместите стрелку прибора с риской ▼, после чего отпустите кнопку КАЛИБРОВКА Q.

     7. Измерьте значение добротности ферритового датчика без пластины Q₀ и запишите ее значение в протокол измерений (таблица 1).

Таблица 1

		Лабораторная работа №6:
Бесконтактный метод измерения
удельного сопротивления полупроводников
Группа:				Бригада:			Дата:
Параметры эталона			№обр.				Q2
Q0				мкм	кГц
Ом*см
мкм
кГц
Q1
Q0 - добротность датчика без пластины
- удельное сопротивление рабочего эталона
- толщина рабочего эталона
- резонансная частота датчика с эталоном
Q1 - добротность датчика с эталоном
- проводимость эталона
- толщина измеряемой пластины
- резонансная частота датчика с измеряемой пластиной
Q2 - добротность датчика с измеряемой пластиной

8. Найдите в кассете с пластинами пластину с известным удельным сопротивлением и толщиной (рабочий эталон), вставьте ее в зазор тороидальной катушки. Измерьте добротность Q₁ контура с рабочим эталоном и соответствующую резонансную частоту .

9. Запишите в протокол удельное сопротивление и толщину рабочего эталона. Запишите в протокол резонансную частоту и добротность Q₁ контура с рабочим эталоном.

10. Выньте рабочий эталон из зазора и уберите его в кассету. Затем выньте из кассеты пластину с неизвестным удельным сопротивлением, вставьте ее в зазор тороидальной катушки и измерьте добротность Q₂ контура и резонансную частоту . После этого уберите пластину в кассету и повторите эту операцию для всех оставшихся в кассете пластин (до 5 - 7 пластин).

11. Для проведения расчетов удельной электропроводности и удельного сопротивления измеренных пластин откройте расположенную на рабочем столе компьютера папку «Лаб. работы» и вложенную в нее папку «ФТТ и ПП». Найдите в ней ярлык «Бесконт. метод» и запустите с его помощью EXEL. На экране видеомонитора появится следующая таблица (таблица 2).

Таблица 2

	Лабораторная работа №6:
Бесконтактный метод измерения удельного сопротивления полупроводников
Группа:		Бригада:			Дата:
Параметры эталона		.
			мкм	кГц		Ом-1*см-1	Ом*см
1, Ом-1*см-1						#ДЕЛ/0!	#ДЕЛ/0!
мкм						#ДЕЛ/0!	#ДЕЛ/0!
кГц						#ДЕЛ/0!	#ДЕЛ/0!
						#ДЕЛ/0!	#ДЕЛ/0!
1, Ом-1*см-1						#ДЕЛ/0!	#ДЕЛ/0!
						#ДЕЛ/0!	#ДЕЛ/0!
						#ДЕЛ/0!	#ДЕЛ/0!

11. Запишите в ячейки B4, D4 и G4 информацию о группе, бригаде и дате проведения лабораторной работы. Затем запишите в ячейку B7 значение добротности Q₀ тороидального датчика без пластины. Запишите в ячейки B8 и B9 значения удельного сопротивления ₁ и толщины рабочего эталона, а в ячейки B10 и B11 – значения резонансной частоты и добротности тороидального датчика с вставленной в него эталонной пластиной. В ячейке B12 будет рассчитано значение удельной электропроводности рабочего эталона.

12. Запишите в ячейки C8, C9, С10 и т.д. номера измерявшихся пластин, а в ячейки D8, D9, D10 и т.д. толщины этих пластин. Запишите в соответствующие ячейки столбцов E и F измеренные значения резонансной частоты и добротности Q₂ для этих пластин. В ячейках G8, G9, G10 и т.д. и в ячейках H8, H9, H10 т.д. будут рассчитаны значения удельной электропроводности ₂ и удельного сопротивления ₂ измеренных пластин.

13. После проведения расчетов удалите лишние строки и отпечатайте таблицу результатов.