Лекции ВВС, 1 курс 2 семестр (для РТ и т.п.) / ЛК 4_ВвС_Базовая кафедра
.pdfФункциональная микроэлектроника – перспективное направление развития электроники. Технологические процессы изготовления изделий функциональной электроники в значительной степени совместимы с процессами микроэлектроники: механическая и химическая обработка пластин; создание на их поверхности слоев из различных материалов; диффузия и ионная имплантация; литографическая обработка; сборка, герметизация, контроль, испытания и т. п.
В функциональной микроэлектронике используются взаимодействие потоков электронов со звуковыми волнами, оптические явления в твёрдом теле, свойства полупроводников, магнетиков и сверхпроводников в магнитных полях и др.
Очень важным направлением функциональной электроники является техника кварцевой стабилизации частот. Без высокостабильных кварцевых генераторов не может функционировать ни одно средство связи и даже кварцевые часы.
21
Наноэлектроника – современный этап развития электроники
Наноэлектроника связана с разработкой архитектур и технологий производства функциональных устройств электроники с топологическими размерами элементов на порядки меньше – от 1 до 100 нм.
Технологии наноэлектроники не только включают средства и методы, ранее не известные для микроэлектроники, например использование нанотрубок и фуллеренов, но и используют новые методические подходы и разработки, служащие для создания, измерения и анализа параметров наноструктурных объектов.
Нанотрубка представляет собой цилиндрическую структуру толщиной в несколько атомов, которая в зависимости от размера и формы может обладать проводящими либо полупроводниковыми свойствами.
Графен – двумерный кристаллический углеродный наноматериал, который можно
представить как пластину, состоящую из одного слоя атомов углерода. |
22 |
|