Лабораторная работа №6 / Подготовка

Планарно-эпитаксиальная технология

Фоторезист – слой светочувствительного лака

фотошаблон – стеклянная фотопластинка, содержащая прозрачные участки (окна) и непрозрачные участки

Освещение (экспонирование) – освещение фоторезиста через фотошаблон

Проявление фоторезиста – в результате проявления фоторезиста засвеченные участки растворены и удалены.

Эпитаксия – поверх подложки выращен монокристаллический слой кремния. В процессе эпитаксии добавлялись донорные примеси, поэтому полученный эпитаксиальный слой имеет проводимость типа N.

Металлизация – на поверхность осажден тонкий слой металла. При этом металл также проник в окна на слое окисла и заполнил эти окна.