
Выполнение работы
В данном разделе представлен порядок выполнения работы.
Исходные данные
Необходимо вести исходные данные согласно заданному преподавателем номеру варианта. В нашем случае данные соответствуют варианту 4.
Таблица 1 – Исходные данные
№ варианта |
Толщина диэлектрика, мкм |
Концентрация акцепторной примеси N, см-3 |
Ширина канала W, мкм |
Длина канала L, мкм |
4 |
0,035 |
0,3·1017 |
0,5 |
0,75 |
Рисунок 2 – Исходные данные
Уменьшение порогового значения напряжения
Необходимо самостоятельно изменить исходные данные так, чтобы было достигнуто уменьшение порогового значения напряжения.
Рисунок 3 – Расчёты при изменённой концентрации акцепторной примеси N с целью уменьшения порогового напряжения
По формуле, для уменьшения порогового напряжения необходимо уменьшить концентрацию акцепторной примеси N.
. (1)
Пороговое напряжение уменьшено путём уменьшения концентрации акцепторной примеси N.
Увеличение удельной крутизны
Самостоятельно изменить исходные данные так, чтобы было достигнуто увеличение удельной крутизны.
Рисунок 4 – Расчёты при изменённой толщине диэлектрика с целью увеличения удельной крутизны
По формуле, для увеличения удельной крутизны необходимо уменьшить толщину диэлектрика d.
. (2)
Удельная крутизна увеличена путём уменьшения толщины диэлектрика d.
Уменьшение ёмкости затвор-канал мдп - транзистора
Самостоятельно изменить исходные данные так, чтобы было достигнуто уменьшение ёмкости затвор-канал МДП - транзистора.
Рисунок 5 – Расчёты при изменённой ширине канала W с целью уменьшения ёмкости затвор-канала МДП - транзистора
По формуле, для уменьшения ёмкости затвор-канала МДП - транзистора необходимо уменьшить ширину канала МДП - транзистора.
. (3)
Ёмкость затвор-канала МДП – транзистора уменьшена путём уменьшения ширины канала МДП - транзистора.
Результаты расчётов
Таблица 2 – Результаты расчетов
Исходные данные |
Измененный параметр |
Пороговое напряжение, B |
Удельная крутизна, А/В2 |
Удельная емкость, Ф/мкм2 |
Емкость затвор-канал, Ф |
из табл. 1 |
– |
1,3931 |
3,6158E-5 |
9,8614E-17 |
3,6980E-17 |
При самостоятельно изменённом параметре с целью уменьшения порогового напряжения |
Концентрация акцепторной примеси N, см-3 С 0,3e17 до 0,27e17 |
1,3524 |
3,6158E-5 |
9,8614E-17 |
3,6980E-17 |
При самостоятельно изменённом параметре с целью увеличения удельной крутизны |
Толщина диэлектрика, мкм C 35e-3 до 31,5e-3 |
1,3137 |
4,0176E-5 |
1,0957E-16 |
4,1089E-17 |
При самостоятельно изменённом параметре с целью уменьшения ёмкости затвор-канал |
Ширина канала W, мкм С 0,5 до 0,45 |
1,3931 |
3,2542E-5 |
9,8614E-17 |
3,3282E-17 |