
- •1. Подготовка подложки 56
- •6. Травление 57
- •Классификация процессов микротехнологии
- •1. Процессы формирования слоёв
- •Чистота и микроклимат производственных помещений.
- •2. Микроклимат производственных помещений
- •3. Оборудование для контроля чистоты и микроклимата
- •4. Значение чистоты и микроклимата
- •Классы чистоты материалов и веществ. Примеры.
- •1. Классы чистоты воздуха (iso 14644)
- •2. Классы чистоты материалов
- •3. Классы чистоты материалов и веществ
- •Способы очистки поверхности пластин в микроэлектронном производстве.
- •1. Мокрая химическая очистка
- •2. Сухая очистка
- •Базовые операции планарной технологии.
- •1. Подготовка подложек
- •2. Формирование тонких плёнок
- •3. Литография
- •4. Удаление вещества
- •5. Легирование
- •6. Формирование контактов
- •7. Пассивация
- •8. Соединение и сборка
- •Базовые операции изопланарной технологии.I
- •1. Подготовка подложки
- •2. Формирование изолирующих слоёв
- •Технология «кремний на изоляторе».
- •Уровни вакуума. Способы получения вакуума.
- •Форвакуумные насосы:
- •Приборы для измерения уровня вакуума.
- •Форвакуумные насосы.
- •1. Пластинчато-роторные насосы
- •2. Мембранные насосы
- •3. Поршневые насосы
- •4. Винтовые насосы
- •5. Водокольцевые насосы
- •Насосы для получения высокого и сверхвысокого вакуума.
- •3. Криогенные насосы
- •4. Сорбционные насосы
- •5. Геттерные насосы
- •Термическое вакуумное нанесение.
- •Методы осаждения вещества из газовой фазы.
- •Газофазная эпитаксия кремния: пиролиз, восстановление водородом.
- •Подготовка подложки:
- •1. Пиролиз
- •2. Восстановление водородом
- •Газовая эпитаксия соединений аiii bv.
- •Газофазное осаждение окислов и нитридов.
- •Молекулярно-лучевая эпитаксия.
- •Магнетронное нанесение металлических слоёв.
- •Литографический процесс. Оценка качества и разрешения.
- •Подготовка подложки:
- •Травление:
- •Литографический процесс. Негативный и позитивный резисты.
- •Фотошаблоны. Совмещение.
- •1. Фотошаблоны
- •2. Совмещение (Aligment)
- •Последовательность операций стандартного фотолитографического процесса.
- •1. Подготовка подложки
- •2. Нанесение фоторезиста
- •3. Экспонирование
- •4. Проявление
- •5. Постобработка резиста
- •6. Травление
- •7. Удаление резиста
- •8. Контроль качества
- •Методы нанесения резистов. Адгезия.
- •1. Центрифугирование (спин-костинг, spin-coating)
- •2. Нанесение методом погружения (дип-костинг, dip-coating)
- •3. Напыление (спрей-костинг, spray-coating)
- •4. Литьё (casting)
- •5. Нанесение методом распыления центрифугой
- •Ультразвуковая очистка.
- •Фотолитография. Способы экспонирования. Разрешающая способность.
- •1. Основы фотолитографии
- •4. Применение фотолитографии
- •Виды дефектов при проведении литографии.
- •1. Виды дефектов в литографии
- •1.1. Дефекты, возникающие на этапе нанесения фоторезиста
- •1.2. Дефекты, возникающие на этапе экспонирования
- •1.3. Дефекты, возникающие на этапе проявления
- •1.4. Дефекты, возникающие на этапе травления
- •2. Типы литографических дефектов по механизму их возникновения
- •2.1. Геометрические дефекты
- •2.2. Дефекты из-за взаимодействия с окружающей средой
- •2.3. Дефекты, связанные с оптическими эффектами
- •3. Способы борьбы с дефектами литографии
- •Методы термического окисления кремния. Способы реализации и особенности.
- •1. Принципы термического окисления
- •2. Методы термического окисления
- •2.1. Сухое окисление
- •2.2. Мокрое окисление
- •2.3. Комбинированное (двухэтапное) окисление
- •3. Способы реализации процесса термического окисления
- •3.1. Печи для термического окисления
- •3.2. Локальное окисление (locos)
- •3.3. Быстрое термическое окисление (rto)
- •3.4. Плазмохимическое окисление
- •4. Особенности термического окисления
- •5. Применение термического окисления
- •Распределение примесей при термическом окислении
- •1. Принципы распределения примесей
- •6. Методы контроля распределения примесей
- •Физика диффузионных процессов. Двухстадийная диффузия.
- •Математическое описание диффузионных процессов в твёрдых телах. Законы диффузии.
- •1. Основные законы диффузии
- •1.1. Первый закон Фика (статический)
- •5. Влияние температуры на диффузию
- •6. Примеры диффузионных процессов
- •Распределение примесей при диффузии. Стадия «загонки» (введение примесей).
- •1. Основные этапы процесса диффузии
- •1.1. Стадия загонки (введение примесей)
- •Распределение примесей при диффузии. Стадия «разгонки» (перераспределение примесей).
- •1. Характеристики стадии «разгонки»
- •2. Модели перераспределения примесей
- •2.1. Диффузия с неограниченным источником
- •2.2. Диффузия с ограниченным источником
- •3. Основные параметры распределения
- •4. Факторы, влияющие на перераспределение примесей
- •5. Применение стадии разгонки
- •6. Пример: Диффузия бора в кремнии
- •Методы осуществления процесса диффузии. Источники и способы введения примесей. Оборудование для диффузии.
- •5. Применение процесса диффузии
- •Математическое описание процесса ионной имплантации.
- •1. Прямолинейное распределение (наивная модель)
- •2. Гауссово распределение ионов
- •3. Влияние каналирования
- •Физика процесса ионной имплантации. Эффекты разупорядочивания и каналирования.
- •Ионная имплантация. Процессы дефектообразования. Отжиг дефектов.
- •Применение методов ионной имплантации в микротехнологии. Легирование, окисление, нитрирование, протонизация.
- •1. Легирование полупроводников
- •2. Окисление ионной имплантацией
- •3. Нитрирование ионной имплантацией
- •4. Протонизация
- •Аппаратурная реализация процессов ионной имплантации.
- •Форвакуумные насосы.
- •Жидкостное химическое травление. Травители, стадии процесса, управление скоростью процесса.
- •Изотропное жидкостное травление кремния.
- •Подготовка подложки:
- •Травление:
- •Ориентационно-чувствительное анизотропное травление.
- •Плазменное и ионное травление.
- •1. Плазменное травление
- •2. Ионное травление
- •Свойства материалов, необходимые для создания проводящих и изолирующих слоёв интегральных микросхем.
- •2. Изолирующие материалы
- •Ионно-химическое осаждение слоёв.
- •Ионно-химическое травление.
5. Водокольцевые насосы
Внутри корпуса рабочей камеры находится эксцентрично расположенное рабочее колесо (ротор с пластинами), пространство камеры должно быть наполовину заполнено водой. При вращении пластин рабочего колеса вода под действием центробежной силы перераспределяется около стенок камеры, образуя разреженное пространство. Благодаря тому, что само колесо расположено не по центру, это пространство имеет вид серпа и сжимает газ, попадающий в его узкую часть, а далее выводится через соответствующее окно.
Принцип работы:
Рабочее колесо вращается в жидкости, образуя кольцо, которое захватывает и вытесняет газ.
Диапазон давления: 10^3 – 10^{-1} Торр.
Преимущества:
Способность работать с влажными и загрязнёнными газами.
Недостатки:
Высокий расход воды.
Комбинированные системы
Форвакуумные насосы часто используются в сочетании с высоковакуумными насосами (например, турбомолекулярными или диффузионными), где они обеспечивают предварительную откачку.
Применение форвакуумных насосов
Предварительная откачка:
Используются в качестве ступени перед включением высоковакуумных насосов.
Производственные процессы:
Вакуумная упаковка, сушка, формование.
Лабораторные исследования:
Вакуумные камеры, аналитическое оборудование.
Металлургия и сварка:
Удаление газов из печей и сварочных камер.
Преимущества форвакуумных насосов
Простота эксплуатации и надёжность.
Доступность и широкий выбор моделей.
Возможность работы с различными газами.
Недостатки форвакуумных насосов
Ограниченный диапазон давления.
Некоторые модели требуют использования масла, что может загрязнять систему.
Шум и вибрации в механических моделях.
Форвакуумные насосы играют ключевую роль в создании вакуума, обеспечивая основу для работы сложных многокаскадных вакуумных систем.
Форвакуумный насос, в первую очередь предназначен для предварительного разрежения форвакуума. Форвакуум-предварительный вакуум, состояние газа при предельном остаточном давлении в сосуде ниже, чем в окружающей среде, и более 10−3 мм рт. ст. Используются подобные насосы для того, чтобы производить откачку жидкостей, газов и парогазовых смесей с определённых ёмкостей. Особенность данного вида насосов заключается в экономии энергии, что никаким образом не мешает в создании уровня высокого вакуума. Для откачки для высокого и сверхвысокого вакуума лучше применять безмасляные насосы. Существует два способа удаления вещества: вытеснение и связывание. Параметры: быстрота откачки, время откачки, предельное остаточное давление насоса, предельное остаточное давление вакуумной системы.
Наиболее часто для создания форвакуума используются следующие типы насосов:
водокольцевые,
пластинчато-роторные,
роторно-поршневые,
золотниковые (плунжерные),
винтовые,
спиральные
Роторно-поршневой
насос.
Бывает радиального и аксиального типов.
Конструкция роторно-радиальных поршневых
насосов напоминает звезду, а аксиальных
– барабан. В радиальных моделях при
вращении ротора внутри рабочей камеры
создаются насосные полости, благодаря
которым происходит сжатие газа. У
аксиальных насосов поршни располагаются
параллельно оси вращения ротора.
З
олотниковый
(плунжерный) насос.
В цилиндре происходит вращение
эксцентрика, на который надет плунжер.
Последний скользит по внутренней
поверхности рабочей камеры (цилиндра),
перемещая, находящийся в полости газ,
сжимая его и выталкивая через выхлопной
клапан, находящийся под слоем масла.
Прямоугольная часть плунжера свободно
скользит в золотнике, поворачивающегося
в гнезде корпуса.
Насос Рутса. Внутри рабочей камеры находятся 2 ротора восьмиобразной формы, один из них вращается по часовой стрелке, а другой против. Благодаря герметичности агрегата и вращению пластин, рабочий цикл агрегата проходит в 4 этапа: всасывание, отсечка полости, сжатие газа и его выведение.
Спиральный насос. Состоит из 2-х спиралей, размещённых внутри рабочей камеры. Одна спираль неподвижна, а вторая совершает движения по заданной орбите таким путём, чтобы между их витками образовывались серповидные пространства. Двигаясь в этих пространствах по направлению к центру, газ сжимается и удаляется наружу.
Принцип работы: Работает данный насос благодаря созданию предварительного разрежения, которое позволяет начать рабочий процесс. Работает данный насос благодаря созданию предварительного разрежения, которое позволяет начать рабочий процесс. Далее в дело вступают внутренние лопасти форвакуумного насоса, которые производят перекачку жидкости из одного отсека в другой. Проделывается это все под воздействием высокого уровня вакуума, что собственно и позволяет добиваться столь высоких показателей производительности. Форвакуумные насосы работают на основе воздушного охлаждения, позволяющего держать устройство в определённых температурных рамках, дабы он не поддавался серьёзным перегревам.