Добавил:
vikoskokos
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз:
Предмет:
Файл:ОМСТ ЭКЗАМЕН.docx
X
- •Тема 1. Технологический базис микросистемной техники
- •Основные особенности технологии микросистемной техники и отличия от технологии микроэлектроники.
- •Основные принципы технологии «объёмной микромеханики».
- •Ограниченные геометрии:
- •Сложность интеграции:
- •Основные принципы технологии «поверхностной микромеханики».
- •Особенности фотолитографии в технологии микросистем.
- •Нанесение фоторезиста:
- •Сушка (бэкинг):
- •Совмещение и экспонирование:
- •Проявление:
- •Задубливание (вторая сушка):
- •Технология анизотропного травления кремния: травители, маски, «стоп-слои».
- •Технология вертикального ионного травления в изготовлении микросистем.
- •Пассивация:
- •Травление:
- •Механические напряжения в тонких плёнках: причины появления, влияние на микроструктуры.
- •Методы микрокорпусирования, анодной и эвтектической сварки.
- •Тема 2. Микромеханические структуры
- •Мембранные и балочные элементы микросистем. Методы формирования.
- •1. Мембранные элементы
- •Тема 3. Тензорезистивные интегральные преобразователи
- •Тензорезистивные акселерометры. Линейный и маятниковый акселерометр. Конструкции, тензорезистивная схема. Погрешности измерения.
- •1. Линейный акселерометр
- •2. Маятниковый акселерометр
- •Тема 4. Микроэлектромеханические преобразователи
- •Ёмкостные электромеханические преобразователи. Основные типы конструкций.
- •С переменным расстоянием между электродами
- •С переменной площадью перекрытия электродов
- •С переменной диэлектрической проницаемостью среды
- •С комбинированными изменениями параметров
- •Ёмкостная дифференциальная и мостовая измерительная схема: особенности питания и обратной связи.
- •1. Дифференциальная ёмкостная схема
- •2. Мостовая ёмкостная схема
- •Поверхностные ёмкостные акселерометры: основные типы структур, преимущества и недостатки.
- •Вибрационные микрогироскопы: принцип работы, основные типы, особенности функционирования.
- •Электростатические актюаторы. Микрореле. Конструкция и принцип работы.
- •Включение
- •Выключение
- •Тема 5. Тепловые микросистемы
- •Терморезисторы. Характеристики. Терморезистивные преобразователи.
- •Тема 6. Акустические микросистемы
Особенности фотолитографии в технологии микросистем.
Фотолитография — это ключевой процесс в технологии микросистемной техники, который используется для формирования микроскопических шаблонов на подложке. Этот метод позволяет создавать сложные структуры с высокой точностью, а также определяет размеры и геометрию элементов микросистем.
Фоторезист – это светочувствительный материал с изменяющейся под действием света растворимостью, устойчивый к воздействию травителей и применяемый для переноса изображения на пластину
Основные этапы фотолитографии
Соседние файлы в предмете Основы микросистемной техники