Методы / Метода к курсачу 2020 года
.pdfОглавление |
|
1. ТЕРМОДИНАМИЧЕСКАЯ ОЦЕНКА ОКИСЛЯЕМОСТИ МЕТАЛЛОВ |
|
ПРИ ТЕРМООБРАБОТКЕ ОКСИДНОГО КАТОДА.......................................... |
3 |
1.1. Общие сведения ............................................................................................ |
3 |
1.2. Расчет состава газовой фазы ........................................................................ |
4 |
1.3. Расчет констант равновесия......................................................................... |
5 |
1.4. Расчет окисляемости металлов .................................................................... |
8 |
2. ХИМИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ .................................. |
8 |
2.1. Общие сведения ............................................................................................ |
8 |
2.2. Газотранспортные химические реакции в системе GaAs–H2O–H2 ......... |
9 |
2.3. Расчет констант химического равновесия................................................ |
11 |
2.4. Расчет состава газовой фазы ...................................................................... |
12 |
2.5. Область стехиометричности газовой фазы .............................................. |
13 |
3. ДИФФУЗИОННЫЕ ПРОЦЕССЫ ................................................................... |
14 |
3.1. Уравнения диффузии .................................................................................. |
14 |
3.2. Диффузия из неограниченного источника ............................................... |
15 |
3.3. Диффузия из ограниченного и полуограниченного источников ........... |
16 |
3.4. Расчет распределения примеси в случае двойной последовательной |
|
диффузии................................................................................................................ |
18 |
ЗАДАНИЯ .............................................................................................................. |
22 |
ПРИЛОЖЕНИЯ ..................................................................................................... |
23 |
Список рекомендуемой литературы.................................................................... |
30 |
31
Зубко Светлана Петровна, Медведева Наталья Юрьевна,
Никитин Андрей Александрович, Семенов Александр Анатольевич
Расчет газотранспортных и диффузионных процессов в технологии изделий электроники и наноэлектроники
Учебно-методическое пособие
Редактор Н. В. Кузнецова
———————————————————————————————
Подписано в печать 19.10.20. Формат 6084 1/16. Бумага офсетная. Печать цифровая. Печ. л. 2,0.
Гарнитура «Times New Roman». Тираж 60 экз. Заказ
———————————————————————————————
Издательство СПбГЭТУ «ЛЭТИ» 197376, С.-Петербург, ул. Проф. Попова, 5
32