3. Предельные растворимости легирующих примесей в кремнии, см–3 [6]

Примесь

Температура, °C

800

900

1000

1100

1200

1300

B

3.0 · 10²⁰

3.5 · 10²⁰

4.0 · 10²⁰

5.0 · 10²⁰

5.5 · 10²⁰

6.0 · 10²⁰

P

3.1 · 10²⁰

6.5 · 10²⁰

1.0 · 10²¹

1.4 · 10²¹

1.5 · 10²¹

1.2 · 10²¹

As

1.0 · 10²¹

1.3 · 10²¹

1.5 · 10²¹

2.0 · 10²¹

2.0 · 10²¹

1.7 · 10²¹

Sb

2.5 · 10¹⁹

3.0 · 10¹⁹

4.0 · 10¹⁹

5.0 · 10¹⁹

6.0 · 10¹⁹

7.0 · 10¹⁹

Al

1.2 · 10¹⁹

1.5 · 10¹⁹

1.8 · 10¹⁹

2.0 · 10¹⁹

2.1 · 10¹⁹

1.7 · 10¹⁹

Окислитель

Линейное окисление

Параболическое окисление

K_l0, мкм/мин

E_l, эВ

K_p0, мкм²/мин

E_p, эВ

Сухой О₂

4.4·10⁵

2.16

9.5

1.20

Пар Н₂О

9.7·10⁵

1.93

2.7

0.69

Примесь

Сухой кислород

Влажный кислород

Источник

B

0.075 ехр (0.33/kT)

0.015 ехр (0.66/kT)

[20]

P

4.35 ехр (–0.60/kT)

3.2·10^–5 ехр (0.73/kT)

[21]

As

1.2 · 10^–3

[22]

Sb

3.6 · 10^–3

[21]

Примесь

Коэффициент испарения

Коэффициент диффузии

Источник

S₀, см/с

E, эВ

D₀, см²/с

E, эВ

B

1.43 · 10³

3.53

2.48

3.59

[24]

P

3.05 · 10⁴

3.87

20.23

3.87

[25]

Sb

6 · 10⁵

3.7

10

3.95

[26]

Ga

3 · 10³

2.8

1.5 · 10^–2

2.9

[25]

Примесь

Параметр

см²/с

E⁰, эВ

см²/с

E⁺, эВ

см²/с

E^–, эВ

см²/с

E⁼, эВ

B

0.037

3.46

0.72

3.46

–

–

–

–

P

3.84

3.66

–

–

4.44

4.0

44.2

4.37

As

0.66

3.44

–

–

12

4.05

–

–

Sb

0.214

3.65

–

–

15

4.08

–

–