МИНОБРНАУКИ РОССИИ
–––––––––––––––––––––––––––––––––––––
Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ»
–––––––––––––––––––––––––––––––––––––
Технологическое моделирование фрагмента имс
Методические указания к курсовой работе по дисциплине
«Специальные вопросы технологии интегральных микросхем»
Санкт-Петербург
Издательство СПбГЭТУ «ЛЭТИ»
2014
УДК 621.382.8
Технологическое моделирование фрагмента ИМС: метод. указания к курсовой работе по дисциплине «Специальные вопросы технологии интегральных микросхем» / сост. О. В. Александров. СПб.: Изд-во СПбГЭТУ «ЛЭТИ», 2014. 28 с.
Представлены краткие сведения по моделированию основных технологических процессов изготовления ИМС: термического окисления слабо- и сильнолегированных слоев, ионной имплантации в одно- и двухслойной системах, ионного и диффузионного легирования с низкой и высокой концентрациями примеси, совместной диффузии легирующих примесей.
Предназначены для студентов специальности 210105 «Электронные приборы и устройства» и направления 210100 «Электроника и наноэлектро-ника», обучающихся по дневной, очно-заочной (вечерней) и заочной формам обучения.
Утверждено редакционно-издательским советом университета в качестве методических указаний
©
СПбГЭТУ «ЛЭТИ», 2014
ПРЕДИСЛОВИЕ
Курсовая работа имеет своей целью закрепление и углубление знаний, полученных в лекционном курсе и на практических занятиях по дисциплине «Специальные вопросы технологии интегральных микросхем». Выполнение курсовой работы способствует развитию у студентов навыков самостоятельного решения инженерных задач, связанных с разработкой, расчетом и моделированием технологических процессов изготовления интегральных микросхем (ИМС), работой с научно-технической и справочной литературой. При выполнении курсовой работы студенты должны использовать лекционный материал по данной дисциплине, разделы предшествующих курсу дисциплин: «Технология материалов и изделий электронной техники», «Приборы функциональной электроники», «Проектирование полупроводниковых приборов и интегральных микросхем», «Вычислительная математика», а также литературу, список которой приведен в данных методических указаниях.
1. Задание на курсовую работу и исходные данные
Курсовая работа выполняется в соответствии с индивидуальным заданием, максимально приближенным к современным разработкам ИМС. Задание предусматривает разработку, расчет и моделирование технологического процесса изготовления фрагмента ИМС – логического элемента.
Форма задания соответствует «Положению об организации курсового проектирования в институте» [1]. Индивидуальное задание включает: тему работы, исходные данные, содержание пояснительной записки и перечень графического материала; даты выдачи задания, контрольной проверки, представления и защиты выполненной курсовой работы.
Исходными данными для технологического моделирования фрагмента ИМС являются:
– тип логики/технологии логического элемента;
– логическая функция элемента;
– способ межэлементной изоляции;
– параметры подложки и/или эпитаксиального слоя;
– ключевые конструкторско-технологические параметры элементов;
– название моделируемых технологических процессов с указанием расчетных параметров.
Задание на курсовую работу выдается в течение первых двух недель, предусмотренных учебным графиком по данной дисциплине.