Список рекомендуемой литературы

Черняев В. Н. Технология производства интегральных микросхем и микропроцессоров: учебник для вузов. М.: Радио и связь, 1987. С. 194–269.

Готра З. Ю. Технология микроэлектронных устройств: справочник. М.: Радио и связь, 1991. С. 298 – 418.

Содержание

Введение......................................................................................................3

Лабораторная работа 1. Термическое окисление …………..………….3

Лабораторная работа 2. Диффузионное легирование.............................9

Лабораторная работа 3. Ионное легирование........................................15

Лабораторная работа 4. Плазмохимическое осаждение….…………...21

Лабораторная работа 5. Фотолитография..............................................26

Редактор И. Б. Синишева

Подписано в печать 25.03.13. Формат 60Х84 1/16.

Бумага офсетная. Печать офсетная. Печ. л. 2,25.

Гарнитура «Times New Roman». Тираж 45 экз. Заказ

Издательство СПбГЭТУ «ЛЭТИ»

197376, С.-Петербург, ул. Проф. Попова, 5