Добавил:
Way_J
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз:
Предмет:
Файл:Александров, 9 семестр, вечерка / Курсовой расчет / Варианты одногруппников / Александров / 12_101945_1_111313.ppt
Простые STI: Травление кремния
Нитрид кремния
p-Подложка
Простые STI: Рост барьерного окисла
Нитрид кремния
p-Подложка
Простые STI: Имплантация защитного слоя (Бор)
Нитрид кремния
p-Подложка |
Защитный |
слой |
Простые STI: CVD оксид
CVD оксид |
Нитрид кремния |
p-Подложка |
Защитный |
слой |
Простые STI: Нанесение фоторезиста
Фоторезист
|
CVD оксид Нитрид кремния |
|
Защитный |
p-Подложка |
слой |
Простые STI: Травление оксида Остановка на нитриде
CVD оксид |
Нитрид кремния |
p-Подложка |
Защитный |
слой |
Простые STI: Удаление нитрида
|
CVD оксид |
p-Подложка |
Защитный |
слой |
Простые STI: Нанесение фоторезиста
|
Фоторезист |
|
CVD оксид |
p-Подложка |
Защитный |
слой |
Простые STI: Травление оксида
|
CVD оксид |
|
Защитный |
p-Подложка |
слой |
Простые STI: Отжиг оксида
|
CVD оксид |
p-Подложка |
Защитный |
слой |