
Добавил:
Way_J
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз:
Предмет:
Файл:Александров, 9 семестр, вечерка / Курсовой расчет / Варианты одногруппников / Александров / 12_101945_1_111313.ppt
X
- •ПРЕЗЕНТАЦИЯ ДИСЦИПЛИНЫ:
- •Раздел 1
- •Структура раздела
- •Особенности формирования скрытого слоя
- •Особенности формирования скрытого слоя
- •Метод изоляции разделительной диффузией
- •Этапы формирования структуры ИС
- •Метод изоляции локальным окислением. (LOCOS)
- •Поперечное сечение области изоляции.
- •Планаризация изолирующих областей
- •Транзистор с изоляцией локальным окислом
- •“Щелевая” изоляция
- •“Щелевая” изоляция
- •Схема возникновений механических напряжений в структуре со щелевой изоляцией при окислении поверхности подложки
- •Сечение области изоляции минимальной ширины:
- •Поперечное сечение транзистора с “квазиполной” изоляцией.
- •Изоляция
- •Покрывающий окисел
- •Формирование LOCOS
- •Очистка подложки
- •Рост Окисла
- •Выращивание нитрида
- •Нанесение фоторезиста
- •Маска для LOCOS
- •Маска для LOCOS
- •Маска для LOCOS: Создание окон
- •Маска для LOCOS: Создание окон
- •Травление нитрида
- •Удаление фоторезиста
- •Имплантация изоляции
- •Термический отжиг
- •Удаление нитрида
- •Недостатки LOCOS
- •Птичий клюв на LOCOS
- •Многослойный LOCOS(PBL)
- •Многослойный LOCOS
- •Изоляция неглубокими канавками (STI)
- •STI и LOCOS
- •STI и LOCOS
- •Простые STI: Очистка подложки
- •Простые STI: Рост окисла
- •Простые STI: Рост нитрида
- •Простые STI: Нанесение фоторезиста
- •Простые STI: Маска для STI
- •Простые STI: Использование маски
- •Простые STI: Создание окон
- •Простые STI: Создание окон
- •Простые STI: Травление нитрида и окисла
- •Простые STI: Удаление фоторезиста
- •Простые STI: Травление кремния
- •Простые STI: Рост барьерного окисла
- •Простые STI: Имплантация защитного слоя (Бор)
- •Простые STI: CVD оксид
- •Простые STI: Нанесение фоторезиста
- •Простые STI: Травление оксида Остановка на нитриде
- •Простые STI: Удаление нитрида
- •Простые STI: Нанесение фоторезиста
- •Простые STI: Травление оксида
- •Простые STI: Отжиг оксида
- •Усовершенствованные STI
- •Усовершенствованные STI: Рост оксида и нитрида
- •Усовершенствованные STI:
- •Усовершенствованные STI: Травление нитрида, оксида, кремния Удаление фоторезиста
- •Усовершенствованные STI: HDP
- •Усовершенствованные STI: ХМП оксида с остановкой на нитриде
- •Усовершенствованные STI: Удаление нитрида
- •p – n – p транзистор в мостиковом объёме кремния
- •КНИ – кремний на изоляторе.
- •КНИ – кремний на изоляторе.
- •В обычных КМОП – микросхемах без изолирующего слоя диоксида кремния на компенсацию неэффективности
- •На данном поперечном сечении SOI – микросхемы показан тонкий слой диоксида кремния, за
- •Преимущества КНИ приборов:
- •Недостатки КНИ структур:
- •Эффект “петли”
- •Методы формирования КНИ структур:
- •Кремний на сапфире
- •Кремний на сапфире
- •Метод реактивной ионной имплантации (SIMOX)
- •Метод реактивной ионной имплантации (SIMOX)
- •Метод реактивной ионной имплантации (SIMOX)
- •Термокомпенсационное соединение пластин с последующим уплотнением (BESOI)
- •Термокомпенсационное соединение пластин с последующим уплотнением (BESOI)
- •Термокомпенсационное соединение пластин с последующим уплотнением (BESOI)
- •Термокомпенсационное соединение пластин с последующим уплотнением (BESOI)
- •Термокомпенсационное соединение пластин с последующим уплотнением (BESOI)
- •“SMURT - CUT”
- •“SMURT - CUT”
- •“SMURT - CUT”
- •“SMURT - CUT”
- •“SMURT - CUT”
- •Кристаллизация плёнок Si на диэлектрических подложках
- •Кристаллизация плёнок Si на диэлектрических подложках
- •Кристаллизация плёнок Si на диэлектрических подложках

Простые STI: Очистка подложки
p-Подложка

Простые STI: Рост окисла
Выращенный окисел
p-Подложка

Простые STI: Рост нитрида
Выращенный окисел Нитрид кремния
p-Подложка

Простые STI: Нанесение фоторезиста
Выращенный окисел
Фоторезист Нитрид кремния
p-Подложка

Простые STI: Маска для STI

Простые STI: Использование маски
Фоторезист Нитрид кремния
p-Подложка

Простые STI: Создание окон
Фоторезист Нитрид кремния
p-Подложка

Простые STI: Создание окон
Фоторезист Нитрид кремния
p-Подложка

Простые STI: Травление нитрида и окисла
Фоторезист
Нитрид кремния
p-Подложка

Простые STI: Удаление фоторезиста
Нитрид кремния
p-Подложка
Соседние файлы в папке Александров