Добавил:
Way_J
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз:
Предмет:
Файл:Александров, 9 семестр, вечерка / Курсовой расчет / Варианты одногруппников / Александров / 12_101945_1_111313.ppt
“SMURT - CUT”
“SMURT - CUT” отжиг при температуре 600 0С
“SMURT - CUT”
“SMURT - CUT” отжиг при температуре 1000 0С
Кристаллизация плёнок Si на диэлектрических подложках
Формирование исходных слоёв кремния
Кристаллизация плёнок Si на диэлектрических подложках
Фотолитография
Кристаллизация плёнок Si на диэлектрических подложках
Рекристаллизация кремния