Список литературы
Чен Ф. Введение в физику плазмы. - М.: Мир, 1987. - 400с.
Шимони К. Физическая электроника. - М.: Мир, 1977. - 608с.
Голант В.Е., Жилинский И.Е., Сахаров А.П. Основы физики плазмы. - М.: Атомиздат, 1977. - 384с.
Татур Т.А. Основы теории электромагнитного поля. - М.: Высшая школа, 1989. - 272с.
Файнберг Я.Б. Плазменная электроника и плазменные методы ускорения // Физика плазмы. - 1994. - №7. - С.613-619.
Эккер Г. Теория полностью ионизованной плазмы. - М.: Мир, 1974. - 432c.
Ахиезер А.И. Электродинамика плазмы. - Наука, 1974. - 720с.
Грановский В.Л., Мусин А.К. Общие свойства плазмы // Грановский В.Л. Электрический ток в газе. - М.: 1971. – Гл.3. - С.99-141.
Морозов А.И. Физические основы космических электрореактивных двигателей. - М.: Атомиздат, 1978. 326с.
Черняев В.Н. Физико-химические процессы в технологии РЭА. - М.: Высшая школа, 1987. - 376с.
Райзер Ю.П. Физика газового разряда. - М.: Мир, 1987. - 592с.
Соболев В.Д. Физические основы электронной техники. - М.: Высшая школа, 1974. - 448с.
Швилкин Б.Н., Мискинова Н.А. Физическая электроника в задачах. - М.: Мир, 1987. - 256с.
Пенинг Ф.М. Электрические разряды в газах. - М.: Вост. лит., 1960. - 99с.
Schuman O.W. Elektrische Durchbruchsfeldstarke in gasen. Berlin, 1923.
Солнцев Г.С. Тлеющий разряд // Грановский В.Л. Электрический ток в газе. М.: 1971. –Гл.7. - С.292-332.
Смирнов Б.М. Физика слабоионизованного газа в задачах с решениями. - М.: Наука, 1985. - 423с.
Ораевский В.Н. Плазма на земле и в космосе. - Киев: Наукова думка, 1980. - 204с.
Дороднов А.М. Некоторые применения плазменных ускорителей в технологии // Физика и применение плазменных ускорителей. - Минск: Наука и техника, 1974. - С.330-365.
Попов В.Ф., Горин Ю.Н. Процессы и установки электронно-ионной технологии. - М.: Высшая школа, 1988. - 256c.
Парфенов О.Д. Технология микросхем. - М.: Высшая школа, 1986. - 318c.
Данилин Б.С., Киреев В.Ю. Ионное травление микроструктур. - М.: Сов. радио, 1979. - 104c.
Елинсон И.И., Смолко Г.Г. Технология тонких пленок. Справочник в 2 томах. - М.: Сов. Радио, 1977. - 662с., 768с.
Энгель А. Ионизованные газы. - М.: Физматгиз, 1959. - 333с.
Минайчев В.Е. Нанесение пленок в вакууме. - М.: Высшая школа, 1989. - 110с.
Чистяков Ю.Д., Райнова Д.Л. Физико-химические основы технологии микроэлектроноки. - М.: Металлургия, 1979. - 408с.
Самсонов Д.Е. Основы расчета и конструирования магнетрона. - М.: Сов. радио, 1974. - 327с.
Данилин Б.С., Сырин В.К. Магнетронные распылительные системы. - М.: Высшая школа, 1982. - 72с.
Данилин Б.С., Неволин В.К., Сырин В.К. Исследование магнетронных систем ионного распыления материалов // Физ. и хим. обр-ки материалов. - №2. – С.33-39.
Гришин С.Д., Лесков Л.В., Козлов Н.П. Плазменные ускорители. - М.: Машиностроение, - 1983. - 231с.
Методы плазменной технологии высоких энергий / С.Д. Гришин, А.М. Дороднов, С.А. Мухояджян и др. // Плазменные ускорители. - Минск: ИФ АН БССР, 1976. - С.220-221.
Дороднов А.М., Петросов В.А. О физических принципах и типах вакуумных технологических плазменных устройств // ЖТФ. - 1981. - Т.51,№.3. - С.504-524.
Фридрихов С.А., Мовнин С.М. Физические основы электронной техники. - М.: Высшая школа, 1982. - 608с.