IDZ6 / 1203_name_IDZ_6

гр. 1203

ИДЗ №6

Дано:

Si, состав пара - Si

t = 25 c

d₀ = 100 мм

x = 10 см

1

2

T = 1800 K

d_S = 2 мм

α = 15 ̊

M(Si) = 28.1 г/моль

Для Si при Т = 1800 К:

• A = 8.6

• В = 17900 К

Массу осажденного кремния можно найти, зная плотность потока массы на краях

(1)

где – плотность потока массы для максимального расстояния от цента, то есть края подложки.

Как видно по чертежу максимальное расстояние до края равно половине диаметра подложки

(2)

Тогда для точки 1 плотность потока массы можно найти как

(3)

Найдем начальный поток

(4)

При этом давление насыщенного пара кремния

Далее по геометрическим соображениям выражаются и находятся как

При этом находится как

В итоге для точки 1

Плотность потока массы на левый край и масса осажденного там кремния в итоге равны

Для точки 2 плотность потока массы можно найти как

(5)

По геометрическим соображениям выражаются и находятся как

В итоге для точки 2, так как

Плотность потока массы на правый край и масса осажденного там кремния в итоге равны

Ответ:

В точке 2 масса кремния будет больше так как правый край ближе к ячейке Кнудсона

4