Методы / Метода к курсачу 2015 года

Содержание

1. ТЕРМОДИНАМИЧЕСКАЯ ОЦЕНКА ОКИСЛЯЕМОСТИ МЕТАЛЛОВ

ПРИ ТЕРМООБРАБОТКЕ ОКСИДНОГО КАТОДА..........................................

3

1.1. Общие сведения ............................................................................................

3

1.2. Расчет состава газовой фазы ........................................................................

4

1.3. Расчет констант равновесия.........................................................................

5

1.4. Расчет окисляемости металлов ....................................................................

8

2. ХИМИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ ..................................

8

2.1. Общие сведения ............................................................................................

8

2.2. Газотранспортные химические реакции в системе GaAs – H2O – H2

..... 9

2.3. Расчет констант химического равновесия................................................

11

2.4. Расчет состава газовой фазы ......................................................................

12

2.5. Область стехиометричности газовой фазы ..............................................

13

3. ДИФФУЗИОННЫЕ ПРОЦЕССЫ ...................................................................

14

3.1. Уравнения диффузии ..................................................................................

14

3.2. Газотранспортные химические реакции в системе GaAs – H2O – H2 ... 15

3.3. Диффузия из ограниченного и полуограниченного источника .............

17

3.4. Расчет распределения примеси в случае двойной последовательной

диффузии................................................................................................................

18

ЗАДАНИЯ ..............................................................................................................

21

ПРИЛОЖЕНИЯ .....................................................................................................

23

Список рекомендуемой литературы....................................................................

30