2. Вычисление массы источника

Из формулы для максимальной толщины (5), учитываем, что величина в числителе имеет размерность массы (кг), и, учитывая плотность Ag (10490 кг/м³), получим формулу для вычисления массы источника:

m_max = L_max h² = 1 10^-6 0,09 10490 = 2,97 10^-3 кг = 2,97 г

m_min = L_max h² = 1 10^-6 0,04 10490 = 1,32 10^-3 кг = 1,32 г

То есть, для получения пленки толщиной L = 1 мкм, необходимо использовать источник разной массы.

3. Вычисление коэффициента неравномерности пленки

3.1 При h_max

По формулам (5), (6) и (7), вычислим K:

L_max= = = 1 10^-6 м

L_min =

где край подложки l = = = 0,035 м, тогда:

L_min = = = 9,75 10^-7 м

Отсюда, коэффициент неравномерности пленки для h_max:

K_max = 100 =  100 = 2,5%

3.1 При h_min

По формулам (5), (6) и (7), вычислим K:

L_max= = = 1 10^-6 м

L_min =

где край подложки l = = = 0,035 м, тогда:

L_min= = = 9,43 10^-7 м

Отсюда, коэффициент неравномерности пленки для h_min:

K_min = 100 =  100 = 5,7%

Построим графики роста пленки от координаты по формуле (4):

Рис. 3 – График зависимости толщины пленки от координаты для h_max

Рис. 4 – График зависимости толщины пленки от координаты для h_min

ВЫВОД

В ходе проведения данной лабораторной работы, были получены экспериментальные данные, на основании которых можно сделать следующие выводы:

Анализируя полученную модель и, сравнивая экспериментальные и теоретические значения, делаем вывод, что данная модель не является адекватной, так как теоретические и экспериментальные значения не совпадают.

Также, сравнивая теоретические и экспериментальные значения коэффициента неравномерности пленки, делаем вывод, что коэффициенты не сходятся, что говорит о большой неточности в ходе проведения лабораторной работы. А именно, коэффициент неравномерности пленки в случае программной модели равен: K = 10%; при обработке результатов вычислений – K_max = 2,5%; K_min = 5,7%. Отсюда, делаем вывод, что в случае увеличения h (расстояния от источника до пленки), равномерность пленки увеличивается.