Список использованных источников

1. С. П. Зубко, Н. Ю. Медведева, А. А. Никитин, А. А. Семенов Расчет газотранспортных и диффузионных процессов в технологии изделий электроники и наноэлектроники: учеб.-метод. пособие. СПб.: Изд-во СПбГЭТУ «ЛЭТИ», 2020. 32 с.

2. Китель Ч. Введение в физику твердого тела. /Пер. с англ.  М.: «Мир», 1980. – 420 с.

3. Крапухин В.В., Соколов И.А., Кузнецов Г.Д. Теория процессов полу-проводниковой технологии. Электронные и микроэлектронные материалы и компоненты твердотельной электроники.  М.: МИСИС, 1995.  493 с

4. Курносов А.И., Юдин В.В. Технология производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем.  M.: «Высш. шк.», 1986. – 368 с.

5. Свойства неорганических соединений. Справочник / Ефимов А.И. и др.  Л.: «Химия», 1983  392 с.

6. Технология и аппаратура газовой эпитаксии кремния и германия / Скворцов И.М., Лапидус И.И., Орион Б.В. М.: Энергия, 1978.  136 с.

7. Угай Я.А. Введение в химию полупроводников.  M.: «Высш. шк.», 1975. – 302 с

ПРИЛОЖЕНИЯ

1. Термодинамические свойства металлов и соединений

Вещество			СP, 298,	СР(Т) = а + bT + cT2
				a	b 103	c 10-5
ВаСО3	 287,06		26,80	20,4021,50	11,06	 3,91
ВаО	128,60		16,80	11,3411,79	1,88	 0,88
SrCO3	 294,60		23,20	19,4623,52	6,32	 5,08
SrO	 144,44		13,10	10,6412,34	1,12	 1,81
CaCO3	 288,44		21,92	19,9524,98	5,24	 6,20
CaO	 151,79		9,50	10,2411,67	1,08	 1,56
C	0		1,37	2,044,03	1,14	 2,04
CO (газ)	 26,41		47,22	6,966,79	 0,98	 0,11
CO2 (газ)	 94,05		51,06	8,8710,57	2,10	 2,06
Оксиды металлов, входящих в состав кернов
Fe	0		6,49	5,973,04	7,58	 0,60
FeO	 63,64		13,74	11,5011,66	2,00	 0,67
Fe2O3	 197,00		20,89	24,8023,49	18,60	 3,55