
- •Часть 1. Определение состава газовой фазы и окисляемости металлов при термообработке оксидного катода.
- •Часть 2 Диффузионное легирование полупроводников
- •Аннотация
- •Содержание
- •Введение
- •Расчет состава газовой фазы
- •Расчет констант равновесия
- •Расчет окисляемости металлов
- •Диффузионные процессы
- •1. Термодинамическая оценка окисляемости металлов при термообработке оксидного катода
- •1.1 Представление химических реакций, используемых в данной работе
- •1.2 Вычисления трех приближений для всех реакций в случае рассмотрения реакции разложения карбоната бария
- •1.2.1 Первое приближение для BrO
- •1.2.2 Второе приближение для BrO
- •1.2.3 Третье приближение для BrO
- •1.3 Вычисления трех приближений для всех реакций в случае рассмотрения реакции разложения карбоната стронция
- •1.3.1 Первое приближение для SrO
- •1.3.2 Второе приближение для SrO
- •1.3.3 Третье приближение для SrO
- •1.4 Оценка окисляемости металла
- •2. Диффузионное легирование полупроводников
- •2.1 Расчет профиля распределения концентрации примеси в n-p-n структуре в случае первого режима диффузии
- •2.1.1 Расчет коэффициентов диффузии акцепторов и доноров
- •2.1.2 Расчет концентрации акцепторной примеси, донорной примеси и
- •2.2 Расчет профиля распределения концентрации примеси в n-p-n структуре в случае второго режима диффузии
- •2.2.1 Расчет коэффициентов диффузии акцепторов и доноров
- •2.2.2 Расчет концентрации акцепторной примеси, донорной примеси и
- •Заключение
- •Список использованных источников
- •1. Термодинамические свойства металлов и соединений
- •2. Теплофизические характеристики веществ
1.3 Вычисления трех приближений для всех реакций в случае рассмотрения реакции разложения карбоната стронция
1.3.1 Первое приближение для SrO
Для данной реакции:
Значение константы равновесия:
Рис. 10 – Зависимость константы химического равновесия от температуры в первом приближении при рассмотрении SrO (левая шкала – для kp2, правая шкала - для kp1, kp3)
Расчет и построение температурных зависимостей pCO(Tк), pCO2(Tк) и
pCO(Tк)/ pCO2(Tк)
Рис. 11 – Зависимость парциальных давлений CO и CO2 от температуры в первом приближении при рассмотрении SrO
Рис. 12 – Зависимость отношения парциальных давлений CO и CO2 от температуры в третьем приближении при рассмотрении SrO
1.3.2 Второе приближение для SrO
Значение изобарной теплоемкости для данной реакции:
Вычисление изобарного потенциала и коэффициента температурной зависимости для данной реакции.
Рис. 13 – Зависимость константы химического равновесия от температуры во втором приближении при рассмотрении SrO (левая шкала – для kp2, правая шкала - для kp1, kp3)
Расчет и построение температурных зависимостей pCO(Tк), pCO2(Tк) и
pCO(Tк)/ pCO2(Tк)
Рис. 14 – Зависимость парциальных давлений CO и CO2 от температуры во втором приближении при рассмотрении SrO
Рис. 15 – Зависимость отношения парциальных давлений CO и CO2 от температуры во втором приближении при рассмотрении SrO
1.3.3 Третье приближение для SrO
Расчет алгебраических сумм коэффициентов и изобарного потенциала для данной реакции реакций.
Расчет константы равновесия для данной реакции:
Рис. 16 – Зависимость константы химического равновесия от температуры в третьем приближении при рассмотрении SrO (левая шкала – для kp2, правая шкала - для kp1, kp3)
Расчет и построение температурных зависимостей pCO(Tк), pCO2(Tк) и
pCO(Tк)/ pCO2(Tк)
Рис. 17 – Зависимость парциальных давлений CO и CO2 от температуры в третьем приближении при рассмотрении SrO
Рис. 18 – Зависимость отношения парциальных давлений CO и CO2 от температуры в третьем приближении при рассмотрении SrO
1.4 Оценка окисляемости металла
Изобарный потенциал данной реакции G в реальных условиях вычисляется по уравнению изотермы Вант-Гоффа (19):
где
в первом приближении.
Так как керн покрыт: BaO (85 %) + SrO (15 %), тогда:
Рис. 19 – График зависимости изобарного потенциала от температуры в реальных условиях
Анализируя график изобарного потенциала (рис. 19), делам вывод, что металл в данной газовой смеси не окисляется, так как △G > 0.
2. Диффузионное легирование полупроводников
2.1 Расчет профиля распределения концентрации примеси в n-p-n структуре в случае первого режима диффузии
2.1.1 Расчет коэффициентов диффузии акцепторов и доноров
Согласно закону Аррениуса (22) коэффициент диффузии рассчитывается по формуле:
где Ea и D0 – постоянные значения энергии активации и коэффициента диффузии при стандартной температуре.
В нашем случае, определим следующие значения энергии активации и коэффициента диффузии:
Для
Al
(акцептор): D0а
= 0.05
;
Eaa
= 2.7 эВ
Для As (донор): D0д = 6.3 ; Eaд = 2.42 эВ
Вычисление коэффициентов диффузии акцепторов и доноров.
Вычисление
коэффициента диффузии для Al
(акцептор):
Вычисление коэффициента диффузии для As (донор):
Вычисление коэффициента диффузии акцепторов при температуре диффузии доноров: