
- •Часть 1. Определение состава газовой фазы и окисляемости металлов при термообработке оксидного катода.
- •Часть 2 Диффузионное легирование полупроводников
- •Аннотация
- •Содержание
- •Введение
- •Расчет состава газовой фазы
- •Расчет констант равновесия
- •Расчет окисляемости металлов
- •Диффузионные процессы
- •1. Термодинамическая оценка окисляемости металлов при термообработке оксидного катода
- •1.1 Представление химических реакций, используемых в данной работе
- •1.2 Вычисления трех приближений для всех реакций в случае рассмотрения реакции разложения карбоната бария
- •1.2.1 Первое приближение для BrO
- •1.2.2 Второе приближение для BrO
- •1.2.3 Третье приближение для BrO
- •1.3 Вычисления трех приближений для всех реакций в случае рассмотрения реакции разложения карбоната стронция
- •1.3.1 Первое приближение для SrO
- •1.3.2 Второе приближение для SrO
- •1.3.3 Третье приближение для SrO
- •1.4 Оценка окисляемости металла
- •2. Диффузионное легирование полупроводников
- •2.1 Расчет профиля распределения концентрации примеси в n-p-n структуре в случае первого режима диффузии
- •2.1.1 Расчет коэффициентов диффузии акцепторов и доноров
- •2.1.2 Расчет концентрации акцепторной примеси, донорной примеси и
- •2.2 Расчет профиля распределения концентрации примеси в n-p-n структуре в случае второго режима диффузии
- •2.2.1 Расчет коэффициентов диффузии акцепторов и доноров
- •2.2.2 Расчет концентрации акцепторной примеси, донорной примеси и
- •Заключение
- •Список использованных источников
- •1. Термодинамические свойства металлов и соединений
- •2. Теплофизические характеристики веществ
1. Термодинамическая оценка окисляемости металлов при термообработке оксидного катода
1.1 Представление химических реакций, используемых в данной работе
При рассмотрении оксида бария (BaO):
1.
BaCO3
(тв.)
BaO
(тв.) + CO2
(газ) – разложение карбоната бария при
увеличении температуры
2. C (тв.) + CO2 (газ) ↔ 2CO (газ) – удаление углерода из оксидного слоя в процессе газотранспортной химической реакции
При рассмотрении оксида стронция (SrO):
1. SrCO3 (тв.) SrO (тв.) + CO2 (газ) – разложение карбоната стронция при увеличении температуры
2. C (тв.) + CO2 (газ) ↔ 2CO (газ) – удаление углерода из оксидного слоя в процессе газотранспортной химической реакции
При рассмотрении реакции с катодом (Fe):
– окислительно-восстановительная
реакция
1.2 Вычисления трех приближений для всех реакций в случае рассмотрения реакции разложения карбоната бария
1.2.1 Первое приближение для BrO
Стандартный тепловой потенциал расcчитывается по формуле (12):
Изменении энтропии реакции при нормальных условиях рассчитывается по формуле (13):
Формула для расчета стандартного изобарного потенциала в первом приближении (16):
Для первой реакции:
Для второй реакции:
Для третьей реакции:
Значение константы равновесия из формулы (8):
Значение для первой реакции:
Значение для второй реакции:
Значение для третьей реакции:
Рис. 1 – Зависимость константы химического равновесия от температуры в первом приближении при рассмотрении BaO (левая шкала – для kp2, правая шкала - для kp1, kp3)
Расчет и построение температурных зависимостей pCO(Tк), pCO2(Tк) и
pCO(Tк)/ pCO2(Tк)
Расчет производится по формулам:
Таким образом:
Рис. 2 – Зависимость парциальных давлений CO и CO2 от температуры в первом приближении при рассмотрении BaO
Рис. 3 – Зависимость отношения парциальных давлений CO и CO2 от температуры в первом приближении при рассмотрении BaO
1.2.2 Второе приближение для BrO
Расчет изобарного потенциала по формуле (17):
где:
изменение
изобарной теплоемкости
функция
Улиха
Вычисление изобарной теплоемкости для первой реакции.
Для первой реакции:
Для второй реакции:
Для третьей реакции:
Вычисление изобарного потенциала и коэффициента температурной зависимости для трех реакций.
Для первой реакции:
Для второй реакции:
Для третьей реакции:
Рис. 4 – Зависимость константы химического равновесия от температуры во втором приближении при рассмотрении BaO (левая шкала – для kp2, правая шкала - для kp1, kp3)
Расчет и построение температурных зависимостей pCO(Tк), pCO2(Tк) и
pCO(Tк)/ pCO2(Tк).
Расчет производится по формулам:
Таким образом:
Рис. 5 – Зависимость парциальных давлений CO и CO2 от температуры во втором приближении при рассмотрении BaO
Рис. 6 – Зависимость отношения парциальных давлений CO и CO2 от температуры во втором приближении при рассмотрении BaO
1.2.3 Третье приближение для BrO
Вычисление изобарного потенциала, используя формулу Темкина–Шварцмана (18):
где a, b и c – алгебраические суммы коэффициентов, найденные с учетом стехиометрических коэффициентов реакции по общему правилу:
Расчет коэффициентов Темкина–Шварцмана производится по формулам:
Таким образом, расчет коэффициентов Темкина-Шварцмана для трех реакций:
Расчет алгебраических сумм коэффициентов и изобарного потенциала для трех реакций.
Для первой реакции:
Для второй реакции:
Для третьей реакции:
Расчет константы равновесия для трех реакций.
Для первой реакции:
Для второй реакции:
Для третьей реакции:
Рис. 7 – Зависимость константы химического равновесия от температуры в третьем приближении при рассмотрении BaO (левая шкала – для kp2, правая шкала - для kp1, kp3)
Расчет и построение температурных зависимостей pCO(Tк), pCO2(Tк) и
pCO(Tк)/ pCO2(Tк)
Расчет производится по формулам:
Таким образом:
Рис. 8 – Зависимость парциальных давлений CO и CO2 от температуры в третьем приближении при рассмотрении BaO
Рис. 9 – Зависимость отношения парциальных давлений CO и CO2 от температуры в третьем приближении при рассмотрении BaO