Список использованной литературы
1. Атомно-слоевое осаждение
материалов [Электронный ресурс]. –
Электронный ресурс:
https://sernia.ru/training/aso_atomno_sloevoe_osazhdenie_materialov/
2. Оборудование для осаждения
пленок [Электронный ресурс]. – Электронный
ресурс:
https://present5.com/oborudovanie-dlya-osazhdeniya-plenok-klassifikaciya-gazoobraznyx-texnologicheskix/
3. Электронный лучевой литограф
[Электронный ресурс]. – Электронный
ресурс:
https://www.microsystemy.ru/info/articles/elektronnyy-litograf/
4. Методы литографии [Электронный
ресурс]. – Электронный ресурс:
https://studfile.net/preview/2716066/page:39/
5. Химическое осаждение из
газовой среды [Электронный ресурс]. –
Электронный ресурс:
https://bigenc.ru/c/khimicheskoe-osazhdenie-iz-gazovoi-fazy-9015b5
