Список использованных источников
[1]
Черняев, В. Н. Технология производства
интегральных микросхем и микропроцессоров:
учебник для ВУЗов / В. Н. Черняев.
– М.: Радио и связь, 2007. – 464 с: ил.
[2]
Сычик, В. А.
Технология сборки интегральных схем :
конспект лекций по дисциплине «Технология
сборки полупроводниковых приборов и
интегральных схем» для студентов
специальности 1-41 01 01 «Технология
материалов и компонентов электронной
техники» / В. А. Сычик. – Минск : БНТУ,
2014. – 306 с.
[3]
ЭМ-4025АМ-3 | ОАО «Планар-СО» [Электронный
ресурс]. – Режим доступа:
https://kbtem.by/products/die-bonding/em-4025am-3
– Дата доступа: 06.03.2024.
[4]
Технология интегральной электроники:
учебное пособие / Л. П. Ануфриев,
С. В. Бордусов,
Л. И. Гурский
[и др.]; / Под общ. ред. А. П. Достанко
и Л. И. Гурского.
– Минск: «Интегралполиграф», 2009. – с.:
ил.
[5]
Технологические модули и устройства
программно-управляемого оборудования
для производства изделий электроники.
Лабораторный практикум : пособие / Е. В.
Телеш, Я. А. Соловьев. – Минск : БГУИР,
2019. – 75 с. : ил.
[6]
Применение источников ионов с холодным
катодом [Электронный ресурс]. – Режим
доступа: https://clck.ru/39NbKZ
– Дата доступа: 12.03.2024.
17
