Список использованных источников

[1]. Плазмохимическое осаждение. [Электронный ресурс]. – Электронные данные. Режим доступа: https://technoinfo.ru/list/oborudovanie-dlya-cvd-i-pvd-etch/

[2]. lasmaPro 100 – современная многофункциональная платформа. [Электронный ресурс]. – Электронные данные. Режим доступа: https://studfile.net/preview/2716066/page:32/

[3]. Герметизации пластмассовых корпусов интегральных схем. [Электронный ресурс]. – Электронные данные. Режим доступа: https://tech-e.ru/wp-content/uploads/2009_08_61.pdf

[4]. Контроль качества герметиизации. Профессор Владимир Ланин, Сергей Волкенштейн, Светлана Клюева. [Электронный ресурс]. – Электронные данные. Режим доступа: https://studfile.net/preview/2817468/

[5]. Сверхчистая вода. [Электронный ресурс]. – Электронные данные. Режим доступа:https://translated.turbopages.org/proxy_u/en-ru.ru.0ba76e8a-65e06622-86182eb7-74722d776562/https/en.wikipedia.org/wiki/Ultrapure_water