_{Министерство образования Республики Беларусь}

Учреждение образования

БелорусскиЙ государственный университет

информатики и радиоэлектроники

КОНТРОЛЬНАЯ РАБОТА

по дисциплине

«Программно-управляемое технологическое оборудование»

Вариант 2

Выполнил: студент гр. 990241

Воронович Д.Ю.

Проверил: Телеш Е.В.

Минск 2024

Содержание

1. Конструкции натекателей газа.………………………………………………..3

2. Полирование пластин. Механическое и химико-механическое полирование.……………………………………………………………………...7

3. Магниторазрядные насосы……………………………………………………..9

СПИСОК ИСПОЛЬЗОВАННЫХ ИСТОЧНИКОВ………………………..13

1. Конструкции натекателей газа.

Искусственную или регулируемую течь в вакуумной системе для исследовательских работ, для измерения скорости откачки и т. д. можно создать с помощью натекателей.

Натекатели необходимы в любой установке, так как перед разборкой системы или открытием дверцы необходимо обязательно напустить в вакуумную систему воздух или другой газ.

В игольчатом натекателе имеется отверстие, которое закрывается конической иглой. По мере открытия вентиля увеличивается сечение кольцевого зазора между иглой и корпусом и изменяется количество газа, проникающего в вакуумную систему. Натекатели различаются способом уплотнения движущейся иглы. В натекателе с сильфонным уплотнением (рис. 1) игла, имеющая угол заточки 6°, изготовлена из твердой инструментальной стали Х18Н9Т и тщательно отполирована. Седло делают из мягкого материала, например свинца или красной меди. Плавное перемещение иглы происходит с помощью штока с дифференциальной резьбой. Ход штока за один оборот маховика вентиля составляет примерно 0,05 мм.

Такие натекатели выполняют цельнометаллическими. Они могут работать при давлениях от 760 до 1•1O-7 мм рт. ст. Применяют также металлические натекатели с шаровым клапаном. Для перемещения шарового клапана применяют сильфон. Клапан изготовляют из термически обработанных сталей 2OX или 40Х, а корпус вентиля - из коррозионностойкой стали Х18Н10Т.

Рис. 1. Игольчатые натекатели:

1- игла; 2- впускной патрубок; 3- соединение с системой, в которую напускается газ;

4- резиновая диафрагма; 5- резиновая прокладка; 6- сильфон; 7- пружина;

8- отверстие для введения смазки;

На рис. 2 показан натекатель для относительно грубого регулирования давления в системе. В седле 2 натекателя проточена канавка радиусом 1 мм, и на двух противоположных сторонах диаметра канавки просверлены отверстия диаметром 0,8 мм.

При закрытом вентиле резиновая диафрагма 4 целиком заполняет кольцевую выточку в седле и не пропускает газ. Если ослаблять нажим на резиновую диафрагму, то резина постепенно освобождает канавку и газ начинает перетекать от одного отверстия к другому. Затем образуется минимальный сквозной канал, в результате чего натекатель начинает пропускать заметное количество газа (около 1*10-7 л/с). Далее пропускная способность вентиля регулируется плавно до максимального открытия клапана.

В натекателе, показанном на рис. 3, применена фторопластовая прокладка 3 с кольцевой выточкой радиусом 0,5 мм, уплотненной в закрытом состоянии резиновым клапаном 2. При плавном открытии вентиля в первую очередь образуется течь по отверстию с в клапане. При дальнейшем открытии газ течет по всей окружности уплотнителя. Такой вентиль обеспечивает плавную подачу газа в установку.

Натекатель VLV-3 для сверхвысокого вакуума фирмы Ульвак (Япония) показан на рис. 4. Натекатель изготовлен из аустенитной коррозионно-стойкой стали и вольфрамового сплава и имеет в закрытом состоянии пропускную способность менее 10-11 л/с. В полностью открытом состоянии пропускная способность его составляет ~1 л/с. Натекатель допускает прогрев до 250° С в открытом и закрытом состоянии и при входном давлении 760 мм рт. ст. может обеспечить натекание от 10-10 до 10-3 мм рт. ст.•л/с.

Для напуска воздуха в установки перед их вскрытием служат специальные краны, которые открываются и закрываются поворотом рукоятки на 180° с помощью эксцентрика. Кран имеет сменный фильтр для защиты внутреннего объема установки от попадания пыли во время напуска воздуха. Шаровой кран (рис. 5) может применяться как с ручным, так и с дистанционным управлением. Он надежно работает при давлении 1 •1O-3 мм рт. ст. (при наличии атмосферного давления с любой стороны крана). Проходное отверстие от 4 до 200 мм. Допускается прогрев до 150° С и выше. Шар 6 имеет сквозное цилиндрическое отверстие и рукояткой может поворачиваться на 90°.

Рис. 2. Натекатель с резиновой прокладкой:

1- корпус; 2- седло; 3- винт; 4- резиновая диафрагма; 5- стальное кольцо;

6- зажимной диск; 7- к вакуумной системе; 8- к баллону с напускаемым газом;

Рис. 3. Вакуумный дроссель с резиновым уплотнителем через фторопластовую прокладку

1- седло; 2-резиновый клапан; 3- фторопластовая прокладка; 4- тарелка;

Рис. 4. Натекатель для сверхвысокого вакуума.

Рис. 5. Шаровой кран:

1- рукоятка; 2- ограничитель поворота на 90°; 3- уплотнение; 4- корпус; 5- седло;

6- запорный шар с проходным отверстием; 7- поджимная втулка; 8- шток крана;