Добавил:
Upload Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:
ОФТТ / Сборник задач по основам микроэлектроники - Шумакова.pdf
Скачиваний:
185
Добавлен:
16.03.2015
Размер:
869.65 Кб
Скачать

чением справедливости приближения слабой инжекции и справедливости граничного условия Шокли. Приближение слабой инжекции нарушается сначала для слаболегированной стороны p-n перехода.

Задача 20

Решить уравнение Пуассона для резкого p-n перехода, найти максимальное значение электрического поля в нем и толщину сло-

ев пространственного заряда в n- и p-областях с уровнями легирования NA = 1016 см-3, ND = 1018 см-3. Как изменится результат при

приложении на переход смещения V?

Решение

Уравнение Пуассона имеет вид:

 

dE

 

q N

D

W x 0,

 

 

εsε0

 

 

n

 

 

(20.1)

dx

=

 

 

 

0 x W

 

.

 

q N

A

p

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Нулевое граничное условие можно задавать на любой из границ объемного заряда (- Wn или Wp). Электрическое поле изменяется по координате линейно и достигает максимума в точке x = 0, где резко меняется тип легирующей примеси. Интегрирование можно проводить с любой границы, и для максимального поля получаются два результата

Emax = (q/εs ε0) ND Wn = (q/εs ε0) NA Wp,

(20.2)

которые эквивалентны в силу полной электронейтральности структуры

ND Wn = NA Wp.

(20.3)

Интеграл от электрического поля по всей длине p-n перехода равен разности электрического потенциала между объемами n- и p- полупроводнков. В случае резкого p-n перехода этот интеграл считается элементарно (площадь треугольника с высотой Emax и осно-

ванием Wn + Wp):

 

ϕBB = (q/2 εs ε0) ND Wn2 + (q/2 εs ε0) NA Wp2.

(20.4)

Решая совместно (20.3) и (20.4), получаем:

 

 

 

 

2ε

ε

0

ϕ

B

 

N

A

N

D

1/ 2

 

 

W

n

=

s

 

 

 

 

 

 

;

(20.5)

 

 

 

2

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

q ND

 

 

N A + ND

 

 

 

 

 

 

 

 

23

 

 

 

 

 

 

 

Соседние файлы в папке ОФТТ