
Основные формулы
1. Функция распределения Ферми-Дирака для электронов (fn) и дырок (fp):
,
,
где E – энергия, отсчитываемая от произвольно выбранного уровня (обычно от уровня Ec), эВ; EF – энергия Ферми, отсчитанная от того же уровня, эВ; k = 1,38·10-23 Дж/град = 0,00008625 эВ/град – постоянная Больцмана; T – абсолютная температура, град.
2. Функция распределения Максвелла-Больцмана для электронов (fn) и дырок (fp):
,
.
где E – энергия, отсчитываемая от произвольно выбранного уровня (обычно от уровня Ec), эВ; EF – энергия Ферми, отсчитанная от того же уровня, эВ; k = 1,38·10-23 Дж/град = 0,00008625 эВ/град – постоянная Больцмана; T – абсолютная температура, град.
3. Концентрация свободных электронов (n) и дырок (p) в полупроводнике, см-3:
,
.
где NC, NV – эквивалентные плотности состояний электронов и дырок, м-3; EF – энергетический уровень Ферми, эВ; EC – энергетический уровень зоны проводимости, эВ; EV – энергетический уровень валентной зоны, эВ; k = 1,38·10-23 Дж/град = 0,00008625 эВ/град – постоянная Больцмана; T – абсолютная температура, град.
4. Эквивалентные плотности состояний электронов (NC) и дырок (NV), см-3:
,
.
где mn, mp – эффективные массы электрона и дырки в полупроводнике, кг; m – масса свободного электрона, 9,1·10-31 кг; k = 1,38·10-23 Дж/град = 0,00008625 эВ/град – постоянная Больцмана; T – абсолютная температура, град; h – постоянная Планка, h = 6,262·10-34 Дж·c = 4,141·10-15 эВ·c.
5. Уровень Ферми собственного полупроводника, эВ:
,
где Eq – ширина запрещенной зоны, эВ; k = 1,38·10-23 Дж/град = 0,00008625 эВ/град – постоянная Больцмана; T – абсолютная температура, град; mn, mp – эффективные массы электрона и дырки в полупроводнике, кг.
6. Уровень Ферми донорного полупроводника, эВ:
,
где Ec – энергетический уровень зоны проводимости, эВ; Ed – энергетический уровень донора, эВ; k = 1,38·10-23 Дж/град = 0,00008625 эВ/град – постоянная Больцмана; T – абсолютная температура, град; Nd, Nc – концентрация донорной примеси и эквивалентная плотность состояний электронов в зоне проводимости, м-3.
7. Закон действующих масс:
,
где nn, np – концентрация основных и неосновных носителей заряда в полупроводнике n-типа, м-3; np, pp – концентрация неосновных и основных носителей заряда в полупроводнике p-типа, м-3; ni, pi – концентрация электронов и дырок в собственном (беспримесном) полупроводнике, м-3.
8. Концентрация носителей заряда в собственном полупроводнике, см-3:
,
где NC, NV – эквивалентные плотности состояний электронов и дырок в зоне проводимости и валентной зоне, м-3; Eq – ширина запрещенной зоны, эВ; k = 1,38·10-23 Дж/град = 0,00008625 эВ/град – постоянная Больцмана; T – абсолютная температура, град.
9. Температура истощения примеси (Ts), К и ионизации матричных атомов (Ti), К:
,
,
где Ec, Ed – энергетический уровень зоны проводимости и донора, эВ; Eq – ширина запрещенной зоны, эВ; k = 1,38·10-23 Дж/град = 0,00008625 эВ/град – постоянная Больцмана; NC, NV – эквивалентные плотности состояний электронов и дырок в зоне проводимости и валентной зоне, см-3; Nd – концентрация донорной примеси, см-3.
10. Плотность дрейфового тока носителей заряда, А/см2.
,
где e
– заряд электрона, 1,6*10-19
Кл; n,
p
– концентрация электронов, дырок, см-3;
μn,
μp
– подвижность электронов, дырок,
см2/(В·с);
σn
– удельная электрическая проводимость,
1/(Ом·см); E0
– напряженность электрического поля,
В/см;
,
- скорость направленного движения
носителей заряда, см/сек.
11. Плотность диффузионного тока носителей заряда, А/см2:
,
где e – заряд электрона, 1,6*10-19 Кл; n, р – концентрация электронов, дырок, см-3; Dn, Dp – коэффициенты диффузии электронов, дырок, см2/сек; х – координата, см.
12. Соотношение Эйнштейна для коэффициента диффузии, см2/сек:
,
,
где e – заряд электрона, 1,6*10-19 Кл; μn, μp – подвижность электронов и дырок, см2/(В·с); k = 1,38·10-23 Дж/град – постоянная Больцмана; T – абсолютная температура, град.
13. Полная удельная проводимость и подвижность носителей заряда, 1/(Ом*см):
,
,
где e – заряд электрона, 1,6*10-19 Кл; n, p – концентрация электронов и дырок, см-3; μn, μp – подвижность электронов и дырок, см2/(В·с); mn, mp – эффективные массы электрона и дырки в полупроводнике, кг; τп – время свободного пробега, с.
14. Удельная проводимость собственного полупроводника, 1/(Ом*см):
,
где e – заряд электрона, 1,6*10-19 Кл; μn, μp – подвижность электронов и дырок, м2/(В·с); Eq – ширина запрещенной зоны, эВ; mn, mp – эффективные массы электрона и дырки в полупроводнике, кг; h – постоянная Планка, h = 6,262·10-34 Дж·c = 4,141·10-15 эВ·c; k = 1,38·10-23 Дж/град = 0,00008625 эВ/град – постоянная Больцмана; T – абсолютная температура, град.
15. Удельная проводимость примесного полупроводника, 1/(Ом*см):
,
где e – заряд электрона, 1,6*10-19 Кл; μn, μp – подвижность электронов и дырок, см2/(В·с); NД, NA – концентрация донора и акцептора, см-3; nn, pn – концентрация электронов и дырок в полупроводнике n-типа, см-3; pp, np – концентрация дырок и электронов в полупроводнике p-типа, см-3.
16. Скорость генерации генерации носителей заряда, 1/сек:
,
где r – коэффициент рекомбинации, см3/сек; n0, p0 – концентрации носителей заряда при отсутствии воздействия на полупроводник, см-3; Δn, Δp – избыточные концентрации носителей заряда, см-3.
17. Решение уравнения диффузии для одномерной полубесконечной системы при постоянстве граничной концентрации:
,
где Δn, Δp – избыточная концентрация носителей заряда в слое с координатой x=x0, см-3; Ln, Lp – диффузионная длина электронов, дырок, см.
18. Диффузионная длина носителей заряда, см:
,
где Dn, Dp - коэффициенты диффузии электронов, дырок, см2/сек; τn, τp – среднее время жизни носителей заряда, сек.
19. Дебаевская длина экранирования в
собственном ()
и примесном (
)
полупроводнике, см:
,
,
где e – заряд электрона, 1,6*10-19 Кл; ni – концентрация собственных носителей заряда, см-3; n – концентрация ионизованной примеси, см-3; k = 1,38·10-23 Дж/град = 0,00008625 эВ/град – постоянная Больцмана; Т – абсолютная температура, град; ε – относительная диэлектрическая проницаемость, ед; ε0 – абсолютная диэлектрическая проницаемость, 8,85*10-12 Ф/м.
20. Проникновение поверхностного потенциала в полупроводник (при малом возмущении), В:
,
где
-
потенциал на поверхности полупроводника,
В; x – координата по нормали
к поверхности, м; LД
– дебаевская длина экранирования, м.
21. Одномерное стационарное уравнение Шредингера:
или
,
,
где
- волновая функция, связанная с вероятностью
нахождения частицы в точке x;
E - полная энергия частицы,
эВ; U – внешняя по отношению
к частице потенциальная энергия, эВ; m
– масса частицы, кг; ;
h
– постоянная Планка, h
= 6,262·10-34
Дж·c
= 4,141·10-15
эВ·c.
22. Вероятность нахождения частицы в пространственной области [x1, x2]:
,
где
- волновая функция, связанная с вероятностью
нахождения частицы в точке x;
x1, x2
– пространственные пределы области
(координаты границ), м.
23. Решение уравнения одномерного стационарного Шредингера для потенциальной ямы шириной L с бесконечно высокими стенками:
,
где n – номер квантованного состояния частицы в потенциальной яме, n=1,2, …; L – координатная ширина потенциальной ямы, м.
24. Рассеяние заряженной частицы на потенциальной ступеньке:
,
,
где T – коэффициент прохождения заряженной частицы потенциальной ступеньки, отн. ед; R – коэффициент отражения заряженной частицы от потенциальной ступеньки, отн. ед; E – энергия частицы, эВ; U0 – высота потенциальной ступеньки, эВ.
25. Прохождение заряженной частицы через потенциальный барьер конечной ширины:
,
,
,
,
где T – коэффициент прохождения заряженной частицы потенциального барьера, отн. ед; R – коэффициент отражения заряженной частицы от потенциального барьера, отн. ед; U1 – высота потенциального барьера, эВ; E < U1 – энергия частицы, эВ; m – масса частицы, кг; h – постоянная Планка, h = 6,262·10-34 Дж·c = 4,141·10-15 эВ·c; L – координатная ширина потенциального барьера, м.