ФХоМиНТ / Лекция № 01
.pdf
Дистиллированная вода, получаемая многократной дистилляцией содержит небольшое количество примесей (сухой остаток равен 5 мг/л), и ее электрическое сопротивление не превышает100 кОм . см.
Обеспечивает высокую чистоту получаемого дистиллята, удобен и надежен в работе. Имеет двойную защиту от перегрева, блокировку «сухого» запуска, дренажный кран для промывки. Нагревательный элемент заключен в кварцевую оболочку.
Производительность: 4 литра в час. pH дистиллята: 5.0 – 6.5.
Аппарат для получения
дистиллированной воды
Деионизованную воду получают методом ионного обмена, сущность которого
состоит в том, что в системе вода — ионит происходит обмен ионами. В качестве ионитов используют различные ионообменные смолы.
|
|
|
Mg++ |
В воде всегда |
|
Cl- |
|
содержатся |
|
Na+ |
|
|
||
|
|
|
катионы железа, |
|
|
|
Cu++ |
|
|
|
Fe++(+) |
|
меди, кальция, |
|
|
|
|
||
|
|
|
SO4- - |
магния, натрия, |
|
|
|
калия и анионы |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
хлоридов, |
K+ |
CO3- - |
Ca++ |
|
сульфидов, |
|
|
бикарбонатов. |
||
|
|
|
|
Виды деионизованной воды
А
А используется для промывки пластин с p-n переходами.
Вода марки А имеет удельное сопротивление 20 Мом . см,
Б
Б применяется для подложек ГИС, нейтральных и диэлектрических покрытий ИС и т.п. Вода марки марки Б имеет удельное сопротивление около 1 Мом . см.
Для очистки воды от ионов используют катионитовые (КУ-1, КУ-2, КУ-8-4с, КБ-4П2) и анионитовые (АВ-16, АВ-17, АВ-20, АВ-17-8-4с) смолы.
1. Исходная вода последовательно проходит параллельно работающие многослойные, угольные и барьерные фильтры
2. Вода после обработки |
|
3. Обессоленная вода |
ингибиторами для |
|
подаётся на ионообменные |
предотвращения |
|
фильтры (фильтр с |
осадкообразования на |
|
катионообменной смолой в |
поверхности мембран |
|
Н+ форме, фильтр с |
солей жёсткости подаётся |
|
анионообменной смолой в |
под давлением на |
|
OHформе, фильтр |
мембранную установку |
|
смешанного действия) для |
ОВОД, где происходит |
|
глубокой деионизации |
обессоливание воды на |
|
|
|
|
|
обратноосмотических |
|
|
элементах серии ЭМО |
|
|
|
|
|
Жидкостные |
Сухие |
Физические
Обезжиривание в органических растворителях
Промывка в воде
Химические
Обезжиривание в перекисноаммиачных р-х
Удаление ионов в перекисноаммиачных р-х
Кислотное и щелочное травление
Физические |
Химические |
|
Отжиг |
Газовое |
|
травление |
||
|
Плазмо-
Ионное |
химическое |
|
|
травление |
травление |
|
Примеры операций очистки поверхностей:
• Неорганические |
• Органические загрязнения |
загрязнения в |
можно удалять путем |
простейшем случае |
термической обработки. |
удаляют тканью для |
При этом они разлагаются с |
протирки, ручной |
образованием атомов |
щеткой, |
углерода. |
гидромеханической |
В отдельных случаях так |
очисткой или сдувают |
удаляют и физические |
струей сжатого воздуха, |
загрязнения (выжигание |
в некоторых случаях |
металлической стружки из |
струей очищенного |
резьбовых отверстий). |
азота |
|
Примеры операций очистки поверхностей
Удаление органических загрязнений в растворителях производится в таком порядке:
1. В неполярных или слабо полярных растворителях (бензоле, толуоле, четыреххлористом углероде, некоторых фреонах) отмывают неполярные загрязнения
2. В спиртах, ацетоне, трихлорэтане отмывают полярные загрязнения
Примеры операций очистки поверхностей
Химические загрязнения
удаляют в таких средах:
•кислотах, часто в смеси с сильными окислителями;
•комплексообразователях
•поверхностно-активных веществах
Раствор для |
|
Вытяжной |
травления |
|
шкаф |
|
|
|
Обрабатываемая деталь
Оборудование
Шкаф вытяжной типа 2ШВ-2Ф Состав раствора для травления подложки
Вода дистиллированная, л …… до 1.0 Гидроокись калия, кг ..…………. 0,7 Моноэтаноламин, л ……………… 0,6 Триэтаноламин, л ………………… 0,1
Физическое обезжиривание - это растворение органических загрязнений в горячих или кипящих органических растворителях.
При этом молекулы жиров, отрываясь от поверхности пластин, равномерно распределяются в объеме растворителя.
Одновременно происходит обратный процесс — адсорбция молекул жира очищенной поверхностью.
