
- •Физико-химические основы технологии электронных средств
- •Предисловие
- •Введение.
- •Физические, химические и электрохимические процессы в производстве эвс
- •Раздел 1. Удаление материала
- •1. Очистка поверхности в процессе изготовления эва и рэа
- •1.1. Механические и комбинированные методы очистки
- •1.2. Обезжиривание
- •1.2.1. Методы физического и химического обезжиривания
- •1.2.2. Обезжиривание в щелочных растворах
- •1.2.3. Электрохимическое обезжиривание
- •1.3. Ультразвуковая очистка
- •1.4. Интенсификация процессов очистки
- •1.4.1. Физические методы интенсификации очистки
- •1.4.2. Применение пав
- •1.4.3. Применение комплексообразователей
- •1.5. Очистка от окислов
- •1.6. Контроль качества жидкостной обработки
1.2. Обезжиривание
Для обезжириванияиспользуют следующие растворители (органические соединения):
углеводороды (бензол, толуол, ксилол)
смеси углеводородов (бензин, лигроин, керосин, скипидар)
спирты (метиловый, этиловый пропиловый, бутиловый)
эфиры
амины
кетоны (ацетон, метилэтил кетон, циклогексанон)
хлорорганические соединения (четыреххлористый углерод)
Внимание.Растворители часто бывают токсичны и взрывоопасны, легко воспламеняются, поэтому необходимо соблюдать технику безопасности.
Таблица 1.1. Растворители применяемые в промышленности
Название растворителя |
Химическая формула, состав |
Характерные свойства |
Плотность |
Бензин |
|
Легко воспламеняемая жидкость, получаемая при перегонке нефти. |
0,73 г/см3.
|
Лигроин |
С6Н14- С8Н18 |
Бесцветная легко воспламеняющаяся жидкость (промежуточная фракция между бензином и керосином) |
|
Бензол |
С6Н6 |
Бесцветная легко воспламеняющаяся жидкость. |
0,87 г/см3.
|
Толуол |
С7Н8 |
Бесцветная прозрачная, легко воспламеняющаяся жидкость. |
0,86 г/см3
|
Этиловый спирт |
С2Н5ОН |
Прозрачная жидкость |
0,78 г/см3 |
Метиловый спирт |
СН3ОН |
Прозрачная жидкость, получаемая из древесины. Данный растворитель является сильным ядом. |
0,79 г/см3 |
Ацетон |
СН3СОСН3 |
Прозрачная бесцветная легко воспламеняющаяся жидкость. |
0,79 г/см3 |
Четыреххлористый углерод |
CСl4 |
Бесцветная негорючая жидкость |
1,59 г/см3 |
|
|
|
|
После обезжиривания для очистки деталей используют, как правило, воду. Вода обычная (водопроводная) годится далеко не для всех случаев. Если обезжиривание требуется в микроэлектронных технологиях, то для промывки заготовок берут особо чистую воду.
Вода - бесцветная жидкость без вкуса и запаха — является самым распространенным веществом в природе и представляет собой химическое соединение 11,2% водорода и 88,8% кислорода. Температура замерзания воды 0оС, а кипения 100оС. Наибольшую плотность, равную 1 г/см,3 вода имеет при 4оС и давлении 105 Па.
Для очистки механических деталей можно использовать водопроводную воду. Она хорошо удаляет остатки растворителя и частицы загрязнений. Качество очищенной таким образом поверхности позволяет осуществлять последующие операции механической обработки.
В других видах производства ЭВС, например, печатных плат, полупроводниковых микросхем применяют дистиллированнуюводу (для основной и предварительной отмывки).
Для производства интегральных микросхем необходима еще более чистая вода, которую получают за счет удаления из нее большинства ионов (деионизованная вода для финишной отмывки).
Дистиллированная вода, получаемая многократной дистилляцией содержит небольшое количество примесей (сухой остаток равен 5 мг/л), и ее электрическое сопротивление не превышает100 кОм. см.
Деионизованную водуполучают методом ионного обмена, сущность которого состоит в том, что в системе вода — ионит происходит обмен ионами. В качестве ионитов используют различные ионообменные смолы. В воде всегда содержатся катионы железа, меди, кальция, магния, натрия, калия и анионы хлоридов, сульфидов, бикарбонатов. Для очистки воды от них используюткатионитовые (КУ-1, КУ-2, КУ-8-4с, КБ-4П2) ианионитовые(АВ-16, АВ-17, АВ-20, АВ-17-8-4с) смолы. Деионизованная вода бывает марокАиБ.Аиспользуется для промывки пластин с p-n переходами,Бдля других элементов. Вода маркиАимеет удельное сопротивление 20 Мом ∙ см, а маркиБ— около 1 Мом ∙ см.