ФХоМиНТ / Лекция № 02
.pdf
Доцент Резчикова Е.В.
Лекция № 02
удаление |
|
|
|
|
|
|
|
модификация |
|
материалов |
|
|
|
|
|
|
|||
|
нанесение |
|
материалов |
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
|
|
материалов |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
получение заданной конфигурации технологических структурных
элементов
ИНТЕНСИФИКАЦИЯ ПРОЦЕССОВ ОЧИСТКИ
Для повышения эффективности очистки используют различные методы интенсификации.
При этом ускоряются более медленные стадии процесса (например, подвод свежего реагента в зону обработки, отвод продуктов химической реакции от обрабатываемой поверхности),
обеспечивается десорбция атомов или ионов с поверхности изделия. Используются и другие полезные ресурсы технологии.
Методы форсирования технологий очистки деталей
Физические методы |
Химические методы |
|
интенсификации |
||
интенсификации |
||
|
Нагрев, кипячение, обработка струёй, |
Очистка поверхностно- |
гидроциркуляция, проток, гидромеханическая |
активными веществами, |
очистка, центрифугирование, ультразвуковая |
комплексообразователями. |
обработка, вибрация промышленной частоты, |
|
плазменная очистка |
|
Комбинированные методы интенсификации объединяют физические и химические методы (обработка горячей струёй, подогрев ультразвуковой ванны
ИНТЕНСИФИКАЦИЯ ПРОЦЕССОВ ОЧИСТКИ |
||
Загрязнения |
Загрязнения |
Загрязнения |
|
|
|
|
Деталь |
|
Гидромеханическая очистка (отмывка пластин
кремния)
3
2
1
4
Схема 5
гидромеханическо й очистки
1 - линия подачи деионизованной воды, 2 - щетка, 3 - валик, 4 - пластина, 5 - вакуумный столик.
Интенсификация процесса обеспечивается за счет контакта с рабочей поверхностью вращающейся пластины, закрепленной на вакуумном столике, мягких нейлоновых щеток, надетых на валик, ось вращения которого перпендикулярна оси пластины.
Участок
гидромеханической
очистки