
- •Введение
- •Истинное и действительное значение физической величины
- •Меры. Измерительный преобразователь, прибор, установка и система
- •Погрешности измерений и измерительных средств.
- •2.1. Упругие элементы измерительных преобразователей Разновидности упругих элементов
- •2.2. Резистивные преобразователи
- •Резистивные делители тока и напряжения
- •Контактные преобразователи и преобразователи контактного сопротивления
- •Реостатные преобразователи
- •Тензорезисторы
- •Пьезоэлектрические преобразователи силы, давления и ускорения
- •Пьезорезонансные преобразователи
- •Термочувствительные пьезорезонансные датчики
- •Коэффициенты термочувствительности
- •Измерительные преобразователи, основанные на использовании поверхностных акустических волн
- •Электростатические преобразователи в вольтметрах и датчиках уравновешивания
- •Емкостные преобразователи
- •2.5. Электромагнитные преобразователи
- •Измерительные трансформаторы и индуктивные делители напряжения
- •Магнитоэлектрические и магнитогидродинамические преобразователи датчиков уравновешивания
- •Электромагнитные преобразователи измерительных механизмов электромеханических приборов
- •Индуктивные преобразователи
- •Магнитоупругие преобразователи
- •Магнитомодуляционные преобразователи
- •Преобразователи на основе эффекта Баркгаузена
- •2.6. Гальваномагнитные преобразователи
- •Преобразователи на эффекте Холла.
- •Магниторезистивные преобразователи.
- •Гальваномагниторекомбинационные преобразователи
- •Магниторезистивные преобразователи
- •Гальваномагниторекомбинационные преобразователи
- •2.7. Электрохимические преобразователи
- •Электрохимические резистивные преобразователи
- •Гальванические преобразователи
- •Кулонометрические преобразователи
- •Полярографические преобразователи
- •Ионисторы
- •Электрокинетические преобразователи
- •2.8. Тепловые преобразователи
- •Термоэлектрические преобразователи, их принцип действия и применяемые материалы
- •Удлинительные термоэлектроды, измерительные цепи
- •Терморезисторы, основы их расчета и применяемые материалы
- •Измерительные цепи терморезисторов
- •Разновидности термочувствительных элементов
- •Промышленные термопары и термометры сопротивления
- •2.9. Оптоэлектрические преобразователи
- •Основные свойства оптического излучения и область применения
- •Оптоэлектрических преобразователей. Источники излучения и приемники.
- •Основные структурные схемы оптоэлектрических преобразователей
- •Основные законы теплового излучения
- •Источники излучения
- •Приемники излучения
- •Основные структурные схемы оптоэлектрических преобразователей
- •Измерения физических величин Методы квантовой метрологии
- •Измерение токов методом ядерного магнитного резонанса
- •Электрофизические методы
- •Калориметрический метод измерений мощности и энергии
- •Измерения параметров магнитных полей
- •Методы измерений механических напряжений, сил, моментов и давления, движения жидких и газообразных веществ, температуры, концентрации вещества
Приемники излучения
Диапазон длин волн, в котором приемники излучения обладают постоянной чувствительностью, позволяет подразделить их на две группы: интегральные и селективные приемники.
К интегральным относятся тепловые преобразователи, принцип действия которых основан на преобразовании энергии излучения в температуру. Тепловые приемники поглощают всю мощность падающего на них излучения независимо от длины волны излучения.
К селективным относятся фотоэлектрические преобразователи (ФП), в которых используются явления внешнего или внутреннего фотоэффекта: вакуумные и газонаполненные фотоэлементы, фотоумножители, фоторезисторы, фотодиоды и т. д.
Основные структурные схемы оптоэлектрических преобразователей
Обобщенная структурная схема оптоэлектрического преобразователя (рис. 2-55) содержит источник излучения, оптический канал, приемник излучения и измерительную цепь.
Рис.2-55
Измеряемая величина Х воздействует непосредственно на источник излучения, изменяя параметры излучаемого потока Ф1, или на оптический канал, модулируя соответствующий параметр потока в процессе распространения излучения. Чаще всего под действием измеряемой величины изменяется интенсивность лучистого потока, например, вследствие изменения температуры излучателя, пропускания, поглощения или рассеяния оптического канала, однако могут изменяться также фазовый сдвиг между электромагнитными колебаниями в двух лучах, вызываемый разностью оптического хода этих лучей, и частота и длина волны излучения, генерируемого источником.
Соответственно структурные схемы оптоэлектрических преобразователей могут быть разделены на три группы: схемы измерения интенсивности излучения, схемы измерения сдвига фаз и угла поворота плоскости колебаний и схемы измерения частоты и длины волны электромагнитных колебаний оптического диапазона.
Непосредственное измерение частоты колебаний и угла сдвига между колебаниями оптического диапазона затруднено из-за отсутствия фотоприемников электронных схем, быстродействие которых соответствует частотам 1014–1017 Гц. Схемы измерения частоты и фазы колебаний строятся в подавляющем большинстве случаев предварительным преобразованием в интенсивность излучения или гетеродинным преобразованием частоты. Преобразования подобного рода требуют наличия источника когерентных колебаний, поэтому электрооптические преобразователи, в которых используется преобразование измеряемой величины Х в угол сдвига, получили развитие только в последние годы, когда появилась возможность широкого использования лазеров.
Структуры оптоэлектрических преобразователей интенсивности излучения. В этих преобразователях используются три алгоритма работы:
а) измерение потока Фх;
б) измерение отношения потоков Ф1/Ф2, где в качестве одного из потоков, например Ф2, обычно используется образцовый (эталонный) поток Фэ;
в) измерение разности потоков Ф1–Ф2, где Ф1=Фх, Ф2=Фэ или Ф1=Ф10 + Ф и Ф2=Ф20 – Ф.
В
Рис. 2-56
Фотоэлектрические преобразователи широко используются для измерения перемещений. Особенно высокой чувствительностью обладают преобразователи с растрами. Геометрические структуры элементов, образующих растр, весьма разнообразны. Между источником света и приемником располагаются два растра, один из которых неподвижен, а второй перемещается. Сопряжение двух растров позволяет получить картину идущих поперек штрихов светлых и темных полос, называемых комбинационными, или муаровыми, полосами. Высокая чувствительность к перемещению получается за счет того, что перемещение муаровых полос Y оказывается во много раз больше перемещения растра Х. В частности, при сопряжении двух параллельных растров, развернутых под некоторым малым углом , получается комбинация светлых и темных полос. Коэффициент оптической редукции Kред = Y/Х такого сопряжения при равных шагах растров w1 = w2 = w равен Kред = 1/sin .
Однако особенность
оптоэлектрических преобразователей
заключается в том, что при современной
технологии изготовления фотоприемников
трудно подобрать пару фотоприемников,
обладающих совершенно идентичными
характеристиками не только при начальных
условиях, но и под действием всех
влияющих факторов. Неидентичность
характеристик, как известно, сводит на
нет преимущества дифференциального
и логометрического включений
преобразователей, позволяющих существенно
повысить точность измерения при
использовании преобразователей с
идентичными характеристиками. Для того
чтобы избежать э
Рис. 2-57
U=Е(G0–Gх)/(Сfкл),
где G0 = SФ0 и Gx = SФx – проводимости фоторезистора при освещении потоками Ф0 и Фx; S – чувствительность фоторезистора; fкл – частота переключения ключа.
На рис. 2-58,
а
показано схема-тическое устройство
прибора бескон-тактного контроля
диаметра прово-локи. Световой поток,
создаваемый источником 1,
делится диафрагмой 2
с двумя отверстиями на два луча.
Верхний луч частично п
Рис. 2-58
С
Рис. 2-59
x = 0t = 02Dxn/c,
где 0 – частота модуляции; n – показатель преломления среды. Сдвиг фаз x измеряется с помощью фазометра.
Порог чувствительности современных промышленных высокочастотных фазометров составляет около 0,1°, что при частоте модуляции f0=10 МГц и n1 соответствует Dxmin=4 мм. Стабильность результатов измерения определяется стабильностью частоты модуляции и постоянством условий на пути светового потока.
Н
Рис. 2-60
Первоначально изотропный упругий чувствительный элемент в виде прямоуголь-ной прозрачной призмы 4 находится в условиях одноосного напряженного состоя-ния под действием силы Fx. Пучок света от источника 1 поляризуется поляризатором 2 (например, поляроидной пленкой) в плоскости, наклоненной под углом 45° к направлению главной деформации, которое в данном случае совпадает с направлением действия силы Fx. Поляризованные лучи А и В проходят через упругий элемент 3 и фазовую пластину 4 на анализаторы 5A и 5B, один из которых скрещен с поляризатором 2, а второй параллелен ему. После анализаторов лучи А и В падают на фотоприемники 6A и 6B.
Интенсивность света, попадающего на приемник 6A, определяется выражением
I1=I0sin2[(2/ + 0)/2],
интенсивность света, попадающего на приемник 6B,
I2=I0cos2[(2/ + 0)/2],
где 0 – фазовый сдвиг, вносимый пластиной 4.
Зависимость разности хода от деформации 11 определяется как
= n30l(p11– р12)11,
где n0 – показатель преломления фотоупругого материала в ненапряженном состоянии; l – длина образца в направлении просвечивания; p11 и p12 – упругооптические коэффициенты, являющиеся тензорами четвертого ранга.
Выходное напряжение диагонали моста, в который включены фотоприемники, пропорционально разности их освещенностей:
Uвых = UA – UB = kI0cos (2/ + 0).
При 0 =/2 и малых = 2/ можно считать:
cos(/2 + ) и Uвых = [kI02n30l(p11 – p12)/]11.
На основе пьезооптических преобразователей в МГУ им. М.В. Ломоносова (Институт механики) разработан ряд приборов; датчики давления, акселерометры, силоизмерители, тензометры. В частности, пьезооптические акселерометры имеют предел измерений 50–1000g при собственной частоте 4–15 кГц, порог чувствительности около 10-4 (от предела измерений) и погрешности 0,2–1,5%. При измерении статических величин температурная погрешность составляет 0,1%/К (дрейф нуля) и 0,05–0,1%/К (изменение чувствительности).
С
Рис. 2-61
Ф(t) = Фmcos(x – 0)t.
Если разностная частота вых= ч –0 находится в полосе пропускания электронной схемы, то измерение этой частоты частотомером при известном значении 0 позволяет найти х= вых + 0.
Устройства с интерференционным преобразованием частоты строятся на базе интерферометров с использованием модуляции излучения по частоте.