
- •Введение
- •Истинное и действительное значение физической величины
- •Меры. Измерительный преобразователь, прибор, установка и система
- •Погрешности измерений и измерительных средств.
- •2.1. Упругие элементы измерительных преобразователей Разновидности упругих элементов
- •2.2. Резистивные преобразователи
- •Резистивные делители тока и напряжения
- •Контактные преобразователи и преобразователи контактного сопротивления
- •Реостатные преобразователи
- •Тензорезисторы
- •Пьезоэлектрические преобразователи силы, давления и ускорения
- •Пьезорезонансные преобразователи
- •Термочувствительные пьезорезонансные датчики
- •Коэффициенты термочувствительности
- •Измерительные преобразователи, основанные на использовании поверхностных акустических волн
- •Электростатические преобразователи в вольтметрах и датчиках уравновешивания
- •Емкостные преобразователи
- •2.5. Электромагнитные преобразователи
- •Измерительные трансформаторы и индуктивные делители напряжения
- •Магнитоэлектрические и магнитогидродинамические преобразователи датчиков уравновешивания
- •Электромагнитные преобразователи измерительных механизмов электромеханических приборов
- •Индуктивные преобразователи
- •Магнитоупругие преобразователи
- •Магнитомодуляционные преобразователи
- •Преобразователи на основе эффекта Баркгаузена
- •2.6. Гальваномагнитные преобразователи
- •Преобразователи на эффекте Холла.
- •Магниторезистивные преобразователи.
- •Гальваномагниторекомбинационные преобразователи
- •Магниторезистивные преобразователи
- •Гальваномагниторекомбинационные преобразователи
- •2.7. Электрохимические преобразователи
- •Электрохимические резистивные преобразователи
- •Гальванические преобразователи
- •Кулонометрические преобразователи
- •Полярографические преобразователи
- •Ионисторы
- •Электрокинетические преобразователи
- •2.8. Тепловые преобразователи
- •Термоэлектрические преобразователи, их принцип действия и применяемые материалы
- •Удлинительные термоэлектроды, измерительные цепи
- •Терморезисторы, основы их расчета и применяемые материалы
- •Измерительные цепи терморезисторов
- •Разновидности термочувствительных элементов
- •Промышленные термопары и термометры сопротивления
- •2.9. Оптоэлектрические преобразователи
- •Основные свойства оптического излучения и область применения
- •Оптоэлектрических преобразователей. Источники излучения и приемники.
- •Основные структурные схемы оптоэлектрических преобразователей
- •Основные законы теплового излучения
- •Источники излучения
- •Приемники излучения
- •Основные структурные схемы оптоэлектрических преобразователей
- •Измерения физических величин Методы квантовой метрологии
- •Измерение токов методом ядерного магнитного резонанса
- •Электрофизические методы
- •Калориметрический метод измерений мощности и энергии
- •Измерения параметров магнитных полей
- •Методы измерений механических напряжений, сил, моментов и давления, движения жидких и газообразных веществ, температуры, концентрации вещества
Магниторезистивные преобразователи
Сопротивление проводящего канала при наличии носителей заряда двух знаков определяется выражением:
R=l/[Se(nun+pup)]
где е – заряд электрона; n и un – соответственно средняя концентрация и подвижность электронов (анионов); р и up – средняя концентрация и подвижность дырок (катионов); l и S – соответственно длина и сечение проводящего канала.
При воздействии на канал магнитного поля изменяется его электрическое сопротивление вследствие изменения подвижности носителей заряда, их средней концентрации и изменения соотношения размеров проводящего канала. Магниторезистивный эффект можно наблюдать в чистых металлах, в полупроводниках, а также в электролитах [1].
К магниторезистивным преобразователям относятся магниторезисторы, магнитодиоды, биполярные магнитотранзисторы, гальваномагниторекомбина-ционные преобразователи и полевые магнитотриоды. В настоящее время для создания средств измерений практическое применение нашли магниторезисторы и гальваномагниторекомбинационные преобразователи. Остальные типы магниторезистивных преобразователей, за исключением магнитодиодов, находятся еще в стадии развития. Магнитодиоды применяются главным образом в качестве бесконтактных переменных резисторов.
Магниторезисторы представляют собой гальваномагнитные преобразователи (ГМП), изменение сопротивления которых обусловлено изменением подвижности носителей заряда. Под действием магнитного поля траектории носителей искривляются, вследствие чего скорость их движения в направлении электрического поля уменьшается. Уравнение преобразования магниторезистора имеет вид:
RB =RB=0[1+А|иВ|m],
где u – подвижность носителей заряда; RB=0 – сопротивление преобразователя при В = 0; А – магниторезистивный коэффициент, зависящий от свойств материала и формы преобразователя; т — показатель степени, равный 2 в слабых магнитных полях (В 0,2 0,5 Тл), для которых uB 1, и равный 1 в сильных магнитных полях, для которых uB 1.
Как видно из рис. 2-41, а, функция преобразования магниторезисторов является четной, поэтому как в постоянном магнитном поле любой полярности, так и в переменном магнитном поле их сопротивление увеличивается. Максимум приращения сопротивления при данном значении магнитной индукции имеет место, если угол между вектором магнитной индукции и осью направленности магниторезистора равен 0 или 180°.
Первые магниторезисторы выполнялись из висмута (висмутовые спирали). В настоящее время магниторезисторы изготовляются из полупроводниковых материалов группы АIIIBV– антимонида индия (InSb), арсенида индия (InAs) и др., в которых сильно проявляется магниторезистивный эффект вследствие большой подвижности носителей заряда.
а) б) в)
Рис. 2-41
Магниторезистивный коэффициент A зависит от формы магниторезистора. Чем меньше отношение длины резистора к площади его сечения, тем больше коэффициент A. В этом отношении оптимальна конструкция в виде диска Корбино (рис. 2-41, б), у которой один электрод укреплен в центре, а другой – в виде обода на окружности.
У такого преобразователя нет граней для концентрации носителей заряда, вследствие чего уменьшается влияние эффекта Холла. Недостатком магниторезисторов в виде дисков Корбино и коротких прямоугольных пластинок является их малое начальное сопротивление. Для увеличения этого сопротивления магниторезисторы выполняются в виде ряда коротких полупроводниковых резисторов, соединенных последовательно проводящими слоями (растрами) (рис. 2-41, в). Это позволяет создавать магниторезисторы с сопротивлением несколько килоом при сохранении большого значения коэффициента А.
В последнее время магниторезисторы выполняют из эвтектического сплава, в котором методом направленной кристаллизации образуются тонкие (d = 1 мкм) иглы из антимонида никеля (NiSb), которые равномерно располагаются параллельно друг к другу на расстоянии 20–400 мкм в толще полупроводника. Поскольку удельная проводимость NiSb на 2–3 порядка больше, чем у InSb, то эти иглы выполняют роль проводящих растров высокоомных магниторезисторов.
Основными
метрологическими характеристиками
магниторезисторов являются начальное
сопротивление R0,
которое лежит в пределах от долей ома
до десятков килоом, и магниторезистивная
чувствительность
.
Обычно для характеристики
магниторезистивных преобразователей
используют зависимости:
,
где
.
На рис. 2-42
показано семейство таких зависимостей
для четырех магниторезисторов,
отличающихся отношением длины резистора
к площади его сечения. Наибольшую
чувствительность имеет магниторезистор
в виде диска Корбино (кривая 4).
Ток питания магниторезистора, находящегося
в магнитном поле с индукцией В1,
должен выбираться значительно меньше
начального допустимого тока I0
(при В =
0), указываемого в таблицах. Значение
допустимого тока IB1
определятся по формуле
.
Начальный токI0
для разных типов магниторезисторов
лежит в диапазоне 1–100 мА. Рабочий
диапазон температур магниторезисторов
составляет от –271 до +327 °С. Для работы
при низких температурах весьма
перспективны магниторезисторы из
антимонида индия.
Рис. 2-42
Температурный коэффициент сопротивления (ТКС) магниторезисторов зависит от состава материала, магнитной индукции и температуры. Чем больше чувствительность магниторезистора, тем больше его ТКС. Значения ТКС различных типов магниторезисторов имеют пределы 0,0002–0,012 К-1
Частотные характеристики магниторезисторов в основном определяются межэлектродными емкостями. У дисков Корбино частотная погрешность меньше, чем у прямоугольных преобразователей, для которых при изменении частоты от 0 до 10 МГц магниторезистивная чувствительность уменьшается на 5 – 10%.
Магниторезистивные преобразователи находят применение в качестве бесконтактных переменных резисторов и делителей напряжения с плавно регулируемым коэффициентом деления, модуляторов малых постоянных токов и напряжений, используются для создания тесламетров для работы при сверхнизких температурах и датчиков для измерения ряда неэлектрических величин, легко преобразуемых в изменение магнитной индукции, и бесконтактного измерения токов.
Магнитодиоды представляют собой диоды с несимметричным р-n-переходом, в котором под действием магнитного поля уменьшается подвижность и концентрация носителей зарядов, вследствие чего увеличивается прямое сопротивление перехода и при заданном токе увеличивается падение напряжения на р-n-переходе.
Очевидным преимуществом магнитодиодов является их высокая чувствительность, однако пока такие метрологические характеристики магнитодиодов, как нелинейность и разброс характеристик, чувствительность к температуре, трудность ориентации в магнитном поле, затрудняют их применение для измерения параметров магнитных полей. Магнитодиоды применяются в качестве бесконтактных потенциометров, переключателей и реле.