Добавил:

ivanov666 Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.

Вуз:

Пермский национальный исследовательский политехнический университет

Предмет:

[НЕСОРТИРОВАННОЕ]

Файл:

книги / Изучение функциональных свойств многослойных пленок на основе двух- и трехкомпонентных нитридов тугоплавких металлов и их соединений с легкоплавкими металлами и неметаллами

..pdf

Скачиваний:

Добавлен:

13.11.2023

Размер:

25.62 Mб

Скачать

☆

<<< < Предыдущая 1 2 3 4 56 / 226 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 > Следующая >>>

Окончание табл. 3 . 8

1	2	3	4		5	6	7	8	9	10	11
											0,19
	90	Ст3		5,6	8,63	1,90	4,17	0,83	1,04	0,16	0,19

Iд, А			11,5		13,09	1,96	11,61	1,08	1,46	0,07	0,09
			11,5		13,09	1,96	11,61	1,08	1,46	0,07	0,09
		Ст3	54,2		61,89	3,07	11,60	1,08	1,46	0,17	0,21
	100		54,2		61,89	3,07	11,60	1,08	1,46	0,17	0,21

			13,3		15,20	3,03	12,09	1,09	2,11	0,08	0,10
			13,3		15,20	3,03	12,09	1,09	2,11	0,08	0,10
	80	Ст3	29,0		33,09	1,42	5,22	0,88	1,19	0,20	0,24

			39,0		44,57	7,59	51,59	1,56	1,47	0,11	0,14
			39,0		44,57	7,59	51,59	1,56	1,47	0,11	0,14
	100	Ст3	5,7		6,46	1,76	2,65	0,74	1,00	0,15	0,18

Uсм, В			12,4		14,17	3,06	8,68	1,00	1,35	0,09	0,11
			12,4		14,17	3,06	8,68	1,00	1,35	0,09	0,11
	150	Ст3		4,5	5,09	1,21	0,29	0,47	0,64	0,13	0,16
				4,5	5,09	1,21	0,29	0,47	0,64	0,13	0,16

			10,9		12,46	1,42	7,40	0,96	1,30	0,07	0,09
			10,9		12,46	1,42	7,40	0,96	1,30	0,07	0,09
	250	Ст3		6,8	8,63	1,90	4,17	0,77	1,12	0,12	0,15

				8,2	9,37	3,99	5,57	0,90	1,22	0,10	0,11
				8,2	9,37	3,99	5,57	0,90	1,22	0,10	0,11
	400	Ст3	43,0		49,09	1,43	3,92	0,82	1,11	0,12	0,14

			31,8		37,26	1,67	5,96	1,12	1,51	0,09	0,13
			31,8		37,26	1,67	5,96	1,12	1,51	0,09	0,13
	360	Ст3	35,8		40,86	1,25	1,30	0,62	0,84	0,10	0,12

L, мм			23,6		30,14	0,97	4,84	1,06	1,43	0,09	0,11
			23,6		30,14	0,97	4,84	1,06	1,43	0,09	0,11
	330	Ст3	29,5		33,74	1,12	0,91	0,57	0,77	0,09	0,11
			29,5		33,74	1,12	0,91	0,57	0,77	0,09	0,11

			19,9		23,56	0,71	2,88	0,76	1,03	0,09	0,11
			19,9		23,56	0,71	2,88	0,76	1,03	0,09	0,11
	300	Ст3		5,6	6,40	1,08	0,23	0,41	0,55	0,09	0,10

			12,1		13,77	0,48	1,30	0,62	0,84	0,10	0,11
			12,1		13,77	0,48	1,30	0,62	0,84	0,10	0,11
	30	Ст3	13,2		15,09	25,13	26,07	1,32	1,78	0,12	0,14

			10,7		12,17	22,53	19,07	1,05	1,42	0,10	0,12
			10,7		12,17	22,53	19,07	1,05	1,42	0,10	0,12
N2, %	50	Ст3		5,1	5,77	1,25	21,16	1,25	1,69	0,09	0,13

			10,6		12,06	1,59	9,02	1,01	1,36	0,10	0,12
			10,6		12,06	1,59	9,02	1,01	1,36	0,10	0,12
	70	Ст3	3,2		3,66	1,11	5,24	0,88	1,19	0,08	0,12

			7,1		7,69	0,60	5,12	0,95	1,28	0,09	0,11
			7,1		7,69	0,60	5,12	0,95	1,28	0,09	0,11

1Р = 1,0 Па; L = 270 мм; Iд = 80 А; Uсм = 200 В; N2 = 90 %.

Рис. 3.5. Зависимости износостойких (а, в, д, ж, и)

и антифрикционных (б, г, е, з, к) свойств многослойных пленок на основе двухкомпонентных TiN слоев от микротвердости композиции

пленка – подложка, изменяемой под действием ТехП МР:

а, б) Р; в, г) N; д, е) Uсм; ж, з) Р; и, к) N2 (см. также с. 53)

Рис. 3.5. Окончание

Рис. 3.6. Зависимости износостойких (а, в, д, ж, и)

и антифрикционных (б, г, е, з, к) свойств многослойных пленок на основе двухкомпонентных ZrN слоев от микротвердости композиции

пленка – подложка, изменяемой под действием ТехП МР:

а, б) Р; в, г) N; д, е) Uсм; ж, з) Р; и, к) N2 (см. также с. 55)

Рис. 3.6. Окончание

Рис. 3.7. Зависимости износостойких (а, в, д, ж, и)

пленка – подложка, изменяемой под действием ТехП ЭДИ:

а, б) Р; в, г) Iд; д, е) Uсм; ж, з) Р; и, к) N2 (см. также с. 57)

Рис. 3.7. Окончание

Рис. 3.8. Зависимости износостойких (а, в, д, ж, и)

пленка – подложка, изменяемой под действием ТехП ЭДИ:

а, б) Р; в, г) Iд; д, е) Uсм; ж, з) Р; и, к) N2 (см. также с. 59)

Рис. 3.8. Окончание

Таблица 3 . 9

Физико-механические и трибологические свойства многослойных пленок на основе наноструктурированных TiN (ZrN) слоев, сформированных в зависимости от типа источника плазмы (материал подложки – Ст3)

Показатель		Слой пленки/метод осаждения

	TiN/МР	ZrN/МР	TiN/ЭДИ	ZrN/ЭДИ
	TiN/МР	ZrN/МР	TiN/ЭДИ	ZrN/ЭДИ

Нμк , ГПа	18	18	27	23

НМ115, ГПа	0,6	0,7	0,8	0,9

f	0,08	0,08	0,08	0,06

Мтр, Н·м	0,09	0,10	0,10	0,07
∆m·10–3, мг	0,1	0,4	2,9	6,0
Iпm ·10–5, мг·Н–1·м–1	0,06	0,16	3,54	6,86

IпV ·10–4, мм3·Н–1·м–1	0,08	1,02	0,92	0

dп, мм	0,52	0,44	0,38	0,57
Vк·10–3, мм·с–1	0,70	0,59	0,51	0,77
IкV ·10–8, мм3·Н–1·м–1	0,61	0,33	0,18	0,91

Таблица 3 . 1 0

Коэффициенты торможения процессов растворения многослойных пленок на основе двухкомпонентных TiN (ZrN) слоев, полученных методами ЭДИ и МР (б.п. и п. – без пленки и с пленкой)

					Р= 0,8 Па				Р= 1,0 Па				Р= 1,2 Па
Показатель
Показатель				TiN	ZrN	TiN	ZrN	TiN	ZrN	TiN	ZrN	TiN	ZrN	TiN	ZrN
				ЭДИ	ЭДИ	МР	МР	ЭДИ	ЭДИ	МР	МР	ЭДИ	ЭДИ	МР	МР

iб.п	/ iп	,	раз	317	1500	4,7	27	641	3190	22	208	150	161	7,7	15
кор	кор

iб.п	/ iп	,	раз,
пас	пас			354	685	6,6	47	643	2180	362	240	208	218	43,6	16
Е= 0,2 В				354	685	6,6	47	643	2180	362	240	208	218	43,6	16
Е= 0,2 В

Ti, ат. %				47,31	–	–	52,87	44,22	–	–	52,68	49,08	–	–	53,87

Zr, ат. %				–	44,66	51,74	–	–	44,23	51,10	–	–	46,27	51,95	–

N2, ат. %				52,69	55,34	48,26	47,13	55,78	55,77	48,90	47,62	50,92	53,73	48,05	46,13

<<< < Предыдущая 1 2 3 4 56 / 226 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 > Следующая >>>

Соседние файлы в папке книги