
книги / Метрология, стандартизация и сертификация. Методы и средства измерения физических величин
.pdfМинистерство образования Российской Федерации Пермский государственный технический университет
Н.Н. Матушкин, Е.Е. Суханов
МЕТРОЛОГИЯ, СТАНДАРТИЗАЦИЯ И СЕРТИФИКАЦИЯ
МЕТОДЫ И СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЯ ФИЗИЧЕСКИХ ВЕЛИЧИН
Утверждено Редакционно-издательским советом Пермского государственного технического университета
в качестве учебного пособия
Пермь 2001
УДК 681.2.04 М35
Рецензенты: Доцеигг И.И. Кузнецов
(Пермский государственный университет) д-р техн. наук, профессор АЛ. Южаков
(вице-президент Пермского регионального отделения Западно-Уральской академии информациологии)
Матушкин Н.Н., Суханов Е.Е.
М35 Метрология, стандартизация и сертификация. Методы и средст ва измерения физических величин: Учеб, пособие / Перм. гос. техн. ун-т. Пермь, 2001. 125 с.
ISBN 5-88151-285-5
Рассмотрены методы и средства измерений линейных и угловых перемещений, положения, угловой скорости, ускорений, вибраций, тем пературы, давления, расхода, уровня, усилий и крутящего момента. При ведены технические характеристики датчиков с электрическим выходным сигналом.
Предназначено для студентов, обучающихся по специальности 210100 «Управление и информатика в технических системах».
|
УДК 681.2.04 |
ISBN 5-88151-285-5 |
© Пермский государственный |
технический университет, 2001 |
ВВЕДЕНИЕ
Уровень развития измерительной техники является одним из важ нейших показателей технического прогресса. Причем развитие этой техни ки должно опережать развитие других видов техники.
Метрология как учение об измерениях в значительной степени опре деляет темпы технического прогресса, роль ее постоянно возрастает с уве личением объема и значимости измеряемой информации. Огромный объем информации, получаемый в результате измерений, будет полезным только при обеспечении единства и правильности измерений независимо от места, времени и условий их выполнения.
Одна из основных задач метрологии - обеспечение необходимой точности и достоверности измеряемой информации. В народном хозяйстве применяют лишь те средства измерений, которые гарантируют качество результатов. Оценка погрешности результата измерения в современных условиях - задача комплексная и сложная. Ошибочная оценка погрешно сти измерения чревата экономическими потерями, неправильными выво дами в научных исследованиях и испытаниях образцов новой техники.
Сегодня тысячи физических величин, в том числе параметры техно логических процессов, приходится измерять в разнообразных и порой са мых неблагоприятных условиях, что немыслимо без совершенных первич ных измерительных преобразователей - датчиков физических величин. Неуклонно повышаются требования к их точности, чувствительности, бы стродействию. Следует отметить, что точность многих средств измерений зачастую определяется точностью датчиков. Повышение их качества будет предпосылкой повышения точности средств измерения в целом.
На сложных объектах при измерении большого числа величин в те чение малого интервала времени, при измерении быстроменяющихся па раметров используются информационные измерительные системы (ИИС) на базе микроЭВМ.
Базой для создания сложных информационных измерительных и вы числительных систем является государственная система приборов (ГСП) и средств автоматизации. Из многообразия измеряемых параметров, необхо димых для удовлетворения потребностей отраслей народного хозяйства, можно выделить следующие структурные группы: теплоэнергетические (температура, давление, уровень, расход), электроэнергетические (сила электрического тока, напряжение, ЭДС, мощность, частота, индуктив ность, электрическая емкость, электрическое сопротивление), механиче ские (линейные и угловые величины, угловая скорость, число изделий, вибрация, звуковое давление, масса), химические (состав) и физические (влажность, проводимость, плотность, вязкость, мутность и др).
Структура построения и развития ГСП базируется на следующих принципах: агрегатировании (наращивание и видоизменение функций тех
нических средств осуществляется за счет сочленения унифицированных блоков, модулей и комплектных изделий); унификации сигналов, интер фейсов, конструкций, элементной базы, модулей и блоков (унификация призвана обеспечить информационную, конструктивную, метрологиче скую, эксплуатационную и программную совместимости изделий); мини мизации номенклатуры и реализации в изделиях рациональных эстетиче ских и эргономических требований.
1. ДАТЧИКИ
Датчик - элемент измерительного, сигнального, регулирующего или управляющего устройства системы, преобразующий измеряемую (контро лируемую) величину (давление, температуру, скорость, перемещение и т.п.) в сигнал, удобный для измерения, передачи, преобразования, хране ния, регистрации, а также для воздействия им на управляемые процессы. Датчик - конструктивная совокупность ряда измерительных преобразова телей, размещаемых на объекте.
Измерительный преобразователь - это техническое устройство, по строенное на определенном физическом принципе действия и выполняю щее одно измерительное преобразование (отражение размера одной физи ческой величины размером другой физической величины, функционально с ней связанной).
Выходные сигналы датчиков различаются по характеру модуляции потока энергии - амплитудные (напряжение, ток), времяимпульсные, час тотные, фазовые и дискретные (цифровые).
Многие датчики имеют на выходе изменяющиеся сопротивление, индуктивность или емкость и рассчитаны на выдачу указанных выше вы ходных сигналов не непосредственно, а только после добавления к ним той или иной измерительной схемы, которую обычно располагают во вторич ном приборе. Такие датчики называются параметрическими. В отдельную подгруппу можно выделить генераторные датчики. Выходной сигнал дат чиков этой подгруппы - ЭДС или ток. К ним относятся индукционные, пьезоэлектрические, термоэлектрические, полярографические и другие датчики.
Основными характеристиками датчика являются:
а) вид функциональной зависимости между изменениями входной (х)
ивыходной (у) величины: у = / (х); предпочтительна линейная зависимость
у= 5х;
б) чувствительность s = Ay f Дх;
в) порог чувствительности, равный величине аддитивной погрешно
сти;
г) абсолютная, относительная и приведенная погрешности (в техни ческих характеристиках чаще указывается приведенная погрешность, ко торая выражается обычно в процентах от разности предельных значении выходного сигнала при нормальных внешних условиях);
д) дополнительная погрешность - погрешность, вызываемая выхо дом значений внешних условий за пределы значений условий, которые считаются нормальными. За нормальные условия обычно принимаются: температура окружающей среды (20 ± 5)°, атмосферное давление (760 ±
± 20) мм рт. ст., относительная влажность (60 ± 20) %, напряжение питания (220 ± 15) В;
е) постоянная времени - датчики представляют собой инерционные (термопары, термометры сопротивления) или колебательные (с упругими чувствительными элементами) звенья.
По структуре датчики состоят из одного или нескольких соединен ных в единую систему измерительных преобразователей. Важнейшим из них является первый преобразователь, воспринимающий контролируемую величину (чувствительный элемент датчика). В простейшем случае выход ная величина чувствительного элемента и его характеристики совпадают с требуемой выходной величиной и характеристиками датчика. При этом датчик состоит из одного измерительного преобразователя (рис. 1, а). К такого рода простейшим датчикам относятся, например, термопара, тер мометр сопротивления, тензодатчик и др.
Сложные датчики строятся по различным структурным схемам:
1.Каскадное соединение преобразователей (рис. 1, б) позволяет по
лучить необходимый вид выходного сигнала при выбранном чувствитель ном элементе путем последующих преобразований. Нередко датчик со держит в качестве одного из своих элементов преобразователь, который в других случаях используется как самостоятельный датчик. Например, мно гие датчики давления представляют собой каскадное соединение упругого чувствительного элемента, механического передаточного устройства и ин дуктивного датчика. В качестве выходного органа датчика используются усилители, поднимающие уровень выходного сигнала, генераторы.
2.Дифференциальное соединение преобразователей (рис. 1, в) осу
ществляется таким образом, что их полезные сигналы складываются, а сигналы, вызванные изменением внешних условий (температуры, пи тающего напряжения), вычитаются. В ряде случаев дифференциальное включение преобразователей позволяет спрямлять их нелинейную харак теристику.
3.Компенсационные датчики (рис. 1, г) основаны на автоматическом уравновешивании измеряемой величины (непосредственно или после предварительного преобразования чувствительным элементом) другой ве личиной того же рода. Широко применяются датчики с компенсацией
Рис. 1.1. Структурные схемы датчиков (слева - структурная схема, справа - примеры выполнения): а - простейший вид датчика (термопара); б - каскадное соединение преобразователей; в -
дифференциальный датчик; г - компенсационный датчик; I - чувствительный элемент; 2 - выходной орган датчика; 3 - измеритель рассогласования; 4 - усилитель; 5 - орган обратной связи; б -
промежуточный орган датчика
усилия и компенсацией перемещения. Компенсационные датчики обеспе чивают высокую точность измерения, а датчики с компенсацией усилия обладают при этом еще минимальным порогом чувствительности и явля ются, как правило, многопредельными, так как соотношение измеритель ного и компенсирующего усилий легко изменять простой настройкой пе редаточного отношения плеч рычагов кинематики преобразователя.
В технических данных на датчик указывается его нормированная по грешность. В зависимости от вида погрешности датчика различают не сколько способов ее нормирования.
Если аддитивная погрешность (не зависит от чувствительности и яв ляется постоянной для всех значений входной величины в пределах диапа зона измерений) преобладает над мультипликативной (зависит от чувстви тельности и изменяется пропорционально текущему значению входной ве личины), то удобнее нормировать абсолютную или приведенную погреш ность. Нормирующее значение погрешности выражается одним числом:
Д = ±а.
Но нормирование по абсолютной погрешности не позволяет сравнивать приборы с разными диапазонами измерений по точности, поэтому принято нормировать приведенную погрешность:
у= — •100 = +Р,
ч
где Xk- предельное значение диапазона шкалы;
Р - отвлеченное положительное число, выбираемое из ряда 1-10”; 1,5-10”; 210я; 2,5-10”; 4-10”; 5-10”; 6-10” (п = 1; 0; -1; -2 и т.д.).
Если мультипликативная погрешность преобладает над аддитивной, то нормируется предел допускаемой относительной погрешности, так как последняя постоянна по диапазону измерений и выражается одним чис лом:
5 = -Ю О = ±<7,
X
где 5 - относительная погрешность;
Д- абсолютная погрешность;
х- текущее значение входной величины;
q - отвлеченное положительное число, выбирается из того же ряда, что и для Р.
Для средств измерений с аддитивной и мультипликативной погреш ностями нормируется предел допускаемой относительной погрешности:
( а + ЬхЛ |
а |
а |
а |
, ( |
c + dM ^ - l l . |
|
V х ) |
х |
хк |
хк |
^ |
||
|
Как правило, таким образом нормируют средства измерения высокой точности и обозначают отношением dd (например, 0,5/0,1), числа с и d вы бирают из того же ряда, что и Р.
Основными требованиями к датчикам в зависимости от конкретных условий, являются:
1)однозначная зависимость выходной величины от входной (отсут ствие гистерезиса);
2)высокая избирательность;
3)минимальное влияние внешних факторов;
4)высокая чувствительность;
5)стабильность характеристик во времени;
6)взрывобезопасность;
7)устойчивость против механических, термических, электрических и т.п. перегрузок;
8)простота и технологичность конструкции;
9)взаимозаменяемость;
10)удобство монтажа и обслуживания;
11)малая постояннаявремени и др.
Современное развитие полупроводниковой техники, появление и развитие микропроцессорной техники и планарной технологии значитель но изменили требования к датчикам. Исследование и разработка новых датчиков основываются на высоких технологиях, обеспечивающих прак тическую реализацию микродатчиков, базирующихся на групповых техно логиях микроэлектроники, оптоэлектроники и микроэлектроники, что по зволяет средствам измерения стать технологически совместимыми с мик роэлектронными системами управления и обработки информации.
В настоящее время сформировались два принципиально различных подхода к перспективам исследований и разработки новых датчиков. Пер вый подход, требующий колоссальных материальных, интеллектуальных и организаторских затрат, связан с разработкой принципиально новых кон струкций датчиков на основе применения технологий и материалов микро электроники. При этом достигается высокая воспроизводимость физико механических свойств и геометрических параметров основных конструк тивных элементов, существенно снижаются погрешность, массогабарит ные показатели и стоимость датчиков.
Второй подход более дешевый - это модернизация существующих типов датчиков с целью снижения их погрешности, расширения пределов измерения и ужесточения условий эксплуатации. Обычно модернизации подвергаются датчики традиционных конструкций (с преобладанием эле ментов электромеханики). При модернизации применяются новые, более современные конструкционные материалы, вводятся в измерительную сис тему дополнительные термокомпенсирующие элементы; с помощью мик роконтроллеров и т.п. устраняются систематические погрешности.
Важно не упустить возможности, которые сулит первый подход, и не растерять преимущества, достигнутые последователями второго подхода к созданию новых датчиков.
На основе первого подхода к развитию технологии созданы датчики с микропроцессорными вычислительными блоками, «интеллектуальные», что позволяет повысить точность измерений, компенсировать погрешность нелинейности, осуществить коррекцию выходных сигналов датчиков при воздействии ряда возмущающих величин, выполнить функциональный контроль и диагностику отдельных узлов. Микропроцессор в датчике уп рощает и удешевляет процедуру градуировки, перестройки датчика на дру гие пределы измерения и связь с центральной информационной системой.
Библиографический список
1.Виглеб Г. Датчики. М., 1989.
2.Како Н., Яманэ Я. Датчики и микроЭВМ. Л., 1986.
3.Донгов В.А., Келин А.В. Электронные датчики для автоматиче ских систем контроля. М., 1968.
4.Агейкин Д.И., Костина Е.Н., Кузнецов Н.Н. Датчики контроля и регулирования. М., 1965.
5.Аш Ж. Датчики измерительных систем. М., 1992.
6.Промышленные приборы и средства автоматизации: Справочник /
Под общ. ред. В.В. ЧеренковаЛ., 1987.
7.Приборы и системы управления. 1998. № 1,4, 5, 11; 1999. № 11
2.СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЯ ЛИНЕЙНЫХ ПЕРЕМЕЩЕНИЙ
ИПОЛОЖЕНИЯ
Линейные перемещения и положение (размер) приходится измерять в машиностроении, геодезии, военном деле, космонавтике, производстве интегральных схем, астрономии и др. Эго распространение обусловлено тем, что при измерении некоторые физические величины, такие как меха ническое напряжение, сила, момент, давление, параметры движения (ско рость перемещения, ускорение) и др., преобразуются чувствительным эле ментом в перемещения, а затем с помощью датчика перемещения - в элек трический сигнал.
Линейные перемещения как измеряемый параметр охватывают ши рокий диапазон размеров и подразделяются на три поддиапазона:
- от долей микрометра до нескольких метров (в машиностроении, приборостроении, производстве интегральных схем);
-от 100 мм до 100 м (в уровнемерах, хранилищах, при измерениях уровней верхнего и нижнего бьефов гидростанции и др.);
-от нескольких десятков и сотен метров до тысяч километров (при
геодезических и астрономических измерениях).
В зависимости от принципа измерительного преобразования средст ва измерений линейных перемещений и положения делятся на электроме ханические, электрофизические и спектрометрические (волновые), а в за висимости от наличия или отсутствия контакта с объектом измерения - на контактные и неконтактные (бесконтактные). В свою очередь, электро механические преобразователи разделяются на резистивные, индуктивные, емкостные, оптоэлектронные, обкатывания, контактные, пьезоэлектриче ские, тензорезистивные и др.; естественной входной величиной таких пре образователей является перемещение. Для получения высокой точности и цифрового выхода широко применяются кодовые линейки, диски, растро вые, муаровые, нониусные и другие типы пространственных преобразова телей аналог-код. В машиностроении и приборостроении используются различные преобразователи перемещения, применение которых рацио нально в относительно узких диапазонах (табл. 2.1).
Таблица 2.1
Преобразователь
Резистивный
Электролитический Тензопреобразователь Холла
Индуктивный, 5 = var Индуктивный, S=var Соленоидный Индуктосин Магнитоупругий Емкостный Пьезоэлектрический Магниторезнстивный Фотоэлектрический
Струннь,й Кодирующая линейка
Магннтотранзнстор
|
|
|
Перемещения |
|
! |
|||
1 мми 110 мкм |
j IOOMKM | |
1 M M |
| |
10 M M |
j 100 мм ! |
1м |
||
|
|
|
|
|
|
■ ■ |
is |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
i |
|
1 |
| |
1 j |
________________________________________ i______ !_____ |
||||||||
|
|
|
i |
|
|
i |
1 |
i . . . |
|
|
|
■■ |
|
|
|
\ |
( |
|
|
|
- — |
— |
|
-- |
- — |
I |
|
|
1____________________________________i____ |
||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
i |
I |
|
|
i |
i |
|
! |
|
|
|
|
|
|
и |
щ |
|||
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
|
|
! |
» |
|
и и и |
|
|
r |
- |
= |
i |
i |
|
|
|
|
ii и и и |
|
|
||
•= = - |
- - - |
|
- |
|
|
== = = = |
|
|
I ” |
" |
|
|
; |
|
j |
! |
| |
| |
|
j --------------------------------------------------" " j |
|
|||||
j=~ |
■— |
= |
1 |
|
|
|
j |
J |