
книги / Методы нанесения покрытий
..pdfФедеральное агентство по образованию
Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования «Пермский государственный технический университет»
И.Л. Синани, Е.М. Федосеева, Г.А. Береснев
МЕТОДЫ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ
Утверждено Редакционно-издательским советом университета
в качестве учебного пособия
Издательство Пермского государственного технического университета
2008
УДК 621.79 С38
Рецензенты:
д-р техн. наук, проф. В.Я. Беленький (Пермский государственный технический университет);
канд. техн. наук, доцент О.А. Косолапов
Синани, И.Л.
С38 Методы нанесения покрытий / И.Л. Синани, Е.М. Федосеева, Г.А. Береснев: учеб. пособие. – Пермь: Изд-во Перм.
гос. техн. ун-та, 2008. – 110 с.
ISBN 978-5-88151-987-2
Рассмотрены вопросы нанесения металлических и неметаллических покрытий, а также некоторые вопросы механизма формирования покрытий и технологические особенности различных методов нанесения, в том числе и методов газофазного осаждения. Включены данные о строении поверхности и методы ее подготовки к нанесению покрытий.
Предназначено для студентов и преподавателей машиностроительных, технических и других специальностей.
УДК 621.79
ISBN 978-5-88151-987-2 |
© ГОУ ВПО |
|
«Пермский государственный |
|
технический университет», 2008 |
|
ОГЛАВЛЕНИЕ |
|
Введение .......................................................................................... |
5 |
|
1. |
Классификация способов нанесения покрытий |
|
и требования к материалам покрытий...................................... |
7 |
|
|
1.1. Основные понятия о покрытиях и способах их получения. |
|
|
Классификация покрытий........................................................... |
7 |
|
1.2. Анализ основных требований к материалам и свойствам |
|
|
покрытий в зависимости от условий эксплуатации деталей... |
8 |
2. |
Методы подготовки поверхности |
|
для нанесения покрытий............................................................ |
14 |
|
|
2.1. Общие сведения о подготовке поверхности..................... |
14 |
|
2.2. Механические способы обработки.................................... |
15 |
|
2.3. Электроискровая подготовка поверхности...................... |
17 |
|
2.4. Химические способы обработки....................................... |
18 |
3. |
Строение и свойства поверхности. |
|
Неоднородности на поверхности, их роль |
|
|
в формировании покрытий........................................................ |
22 |
|
4. |
Дефекты поверхности и их роль |
|
в формировании покрытий........................................................ |
26 |
|
5. |
Химическая недостаточность поверхности ........................ |
31 |
6. |
Поверхностная энергия кристаллов и ее роль |
|
при нанесении покрытий........................................................... |
33 |
|
7. |
Процессы, протекающие при взаимодействии |
|
поверхности с внешней средой. |
|
|
Основные понятия процессов адсорбции................................ |
36 |
|
8. |
Физические методы нанесения покрытий.......................... |
40 |
|
8.1. Получение покрытий термическим |
|
|
напылением в вакууме.............................................................. |
40 |
|
8.2. Способы получения ионно-плазменных |
|
|
покрытий.................................................................................... |
51 |
|
8.3. Магнетронное напыление.................................................. |
57 |
|
8.4. Газотермическое напыление.............................................. |
60 |
|
8.5. Особенности детонационного напыления........................ |
64 |
|
8.6. Электродуговой и индукционный |
|
|
методы нанесения покрытий.................................................... |
67 |
|
3 |
|
8.7. Плазменное напыление...................................................... |
71 |
9. Химические методы нанесения покрытий.......................... |
86 |
9.1. Гальванические методы нанесения покрытий................. |
86 |
9.2. Методы газофазного осаждения...................................... |
102 |
Библиографический список..................................................... |
109 |
ВВЕДЕНИЕ
Достижение высокого качества машин и аппаратов, выпускаемых промышленностью по минимальным ценам, немыслимо без применения наиболее прогрессивных, экономически выгодных технологических методов. В большинстве случаев современные машины эксплуатируются в жестких условиях контактирования свысокотемпературными газовыми потоками, агрессивными газами и абразивными веществами, вызывающими интенсивный износ или коррозию. В связи с этим возникает необходимость применения специальных приемов, обеспечивающих радикальное повышение износостойкости, жаропрочности, коррозионной стойкости идругихсвойств рабочей поверхностиматериалов.
Если проанализировать условия эксплуатации металлических, композиционных, порошковых, керамических изделий, то окажется, что в большинстве случаев они основную нагрузку несут своей поверхностью. Под нагрузкой в данном случае понимаются механические воздействия на поверхность: деформация и разрушение поверхности под действием механических сил, износ, химическое воздействие на поверхность жидкими или газовыми агрессивными средами, – что может приводить к растворению поверхностных слоев, их окислению, взаимодействию с другими элементами с образованием непрочных отслаивающихся соединений, хрупких слоев и других веществ, ухудшающих работоспособность изделий.
Большой ущерб производству наносит коррозия. Каждая шестая доменная печь в настоящее время работает для возмещения ежегодных потерь металла от коррозии. Другая причина выхода из строя машин и оборудования состоит в поломках, обусловленных разнымивидами износа, впервуюочередь, впарахтрения.
Согласно данным фирмы «Кастолин» (Швейцария), стоимость простоев, вызванных этой причиной, составляет в металлургии иметаллообработке 13 %, в электротехнике – 15 %, в текстильной промышленности – 16 %, в химической – 18 % от общих затрат на
5
эксплуатацию оборудования. Изготовление запасных частей для автомобилей и сельскохозяйственной техники поглощает металла столько же, сколько производство новых машин. Ущерб от коррозиииабразивногоизносаещеболеезначителен.
Предотвращение коррозионного разрушения изделий и их износа возможно путем применения новых материалов, например путем использования для изготовления изделий сложнолегированных нержавеющих сталей, титановых сплавов и других материалов. То же можно сказать и о предотвращении износа за счет применения новых износостойких, например металлокерамических, сплавов взамен неизносостойких сталей.
Однако наиболее целесообразно изменение состава только поверхностных слоев, поскольку именно поверхность изнашивается, коррозионно разрушается в первую очередь. Таким образом, важнейшим приемом, увеличивающим работоспособность деталей машин, узлов, механизмов, являются покрытия.
Анализ литературных и нормативно-информационных источников в области теории и технологии нанесения покрытий свидетельствует о том, что несмотря на обширную имеющуюся информацию о разнообразных способах и разновидностях покрытий, стандартизацию части из них, единого учебника либо учебного пособия по нанесению покрытий не имеется. Задача настоящего издания– частично устранить имеющийся пробел в этой области
иобеспечить учебной литературой студентов технических специальностей. Пособие охватывает методы нанесения металлических
инеметаллических неорганических покрытий химическими, электрохимическими, диффузионными методами, а также методами
вакуумного, газотермического, плазменного напыления и др. Вкурсе не рассматриваются вопросы лакокрасочных и эмалевых покрытий, составляющиесамостоятельные отраслизнаний.
6
1. КЛАССИФИКАЦИЯ СПОСОБОВ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ И ТРЕБОВАНИЯ
КМАТЕРИАЛАМ ПОКРЫТИЙ
1.1.Основные понятия о покрытиях и способах их получения. Классификация покрытий
Покрытие – это слой или несколько слоев материала, искусственно полученных на покрываемой поверхности. Основное назначение покрытий – защита покрываемой поверхности от разрушения в результате взаимодействия ее с внешней средой за счет механических и физико-химических факторов (абразивный износ, коррозия и др.).
Покрытия наносят на стали и чугуны, никелевые, кобальтовые, хромовые и ванадиевые сплавы; тугоплавкие металлы и сплавы: молибден, вольфрам, ниобий, тантал; сплавы на основе активных металлов – титана и циркония; сплавы на основе легких и тяжелых цветных металлов: алюминия, магния, бериллия, цинка, меди; пластические массы и углеродистые изделия; керамические, композиционные и порошковые изделия. Часто покрытия на металлы, стекло, керамику, кремний, германий и другие полупроводниковые материалы, кроме повышения износостойкости и коррозионной стойкости, наносят для придания специфических электрических, оптических и других специальных свойств и качеств изделий, в том числе для получения микросхем на полупроводниковых кристаллах. Во многих случаях процессы покрытий лежат в основе технологии получения композиционных конструкционных материалов и изделий из них.
Согласно современной классификации различают следующие способы нанесения покрытий:
1.Химические покрытия.
2.Покрытия электролитические (гальванические).
3.Покрытия диффузией в твердом состоянии.
7
4.Покрытия материалом в расплавленном состоянии.
5.Контактная металлизация.
6.Покрытия с использованием неорганического порошка.
7.Покрытия вакуумным испарением, распылением или ионным внедрением.
8.Комбинированные способы покрытия, включающие два или более последовательно осуществляемых процесса.
Дальнейшее развитие этой общей классификации позволяет детализировать способы и рамки их использования применительно к тем или иным материалам и условиям реализации.
1.2.Анализ основных требований к материалам
исвойствам покрытий в зависимости от условий эксплуатации деталей
Необходимость применения упрочняющих, восстановительных и декоративных покрытий в машиностроении обусловлена различными условиями эксплуатации детали: температурой, давлением, скоростью и химической агрессивностью среды, абразивным износом, излучением и т.д. Конкретная совокупность этих условий определяет назначение покрытия (термостойкие, жаростойкие, эрозионно стойкие, износостойкие, антифрикционные, коррозионно-стойкие, отражающие или поглощающие различные излучения). Независимо от этого материал покрытия должен полностью удовлетворять условиям эксплуатации детали как по температуре плавления, так и по механическим, теплофизическим ихимическим свойствам. Вместе с тем необходимо обеспечить химическую и термодинамическую совместимость покрытия с материалом напыляемой детали, что имеет существенное значение для достижения высокой прочности сцепления покрытия с основой. В тех случаях, когда это выполнить невозможно, осуществляютнапылениепромежуточных подслоев.
Свойства покрытий в значительной степени зависят от метода их нанесения. Установлено, что значения плотности, а также механических и многих теплофизических свойств покрытий
8
меньше, чем у монолитного материала, из которого нанесено покрытие, а количественные характеристики того или иного свойства зависят от метода и режима напыления. Проведя анализ результатов исследований покрытий и изучив влияние их свойств на качество получаемых изделий, сформулируем основные требования к материалам и покрытиям различного назначения.
Термостойкие покрытия. Термостойкость (термическая стойкость) – свойство хрупких материалов (главным образом огнеупорных) противостоять, не разрушаясь, термическим напряжениям. Как правило, термостойкость определяется температурным градиентом или числом циклов нагрева и охлаждения, выдерживаемых материалом довозникновениятрещинилиразрушений.
Материал для этих покрытий должен иметь температуру плавления Тпл, превышающую температуру Тэксп, высокий коэффициент теплопроводности λпокр и быть достаточно пластичным. Коэффициенты линейного термического расширения (КЛТР) покрытий αпокр должны иметь значения, близкие к КЛТР материала подложки. При эксплуатации покрытие не должно образовывать с материалом подложки легкоплавких эвтектик и должно быть химически стойким в рабочей среде. В диапазоне рабочих температур покрытие должно иметь как можно меньше фазовых превращений, приводящих к изменению объема.
Процесс нанесения термостойких покрытий должен обеспечить регулируемую в заданных пределах пористость, позволять управлять структурой покрытия и в минимальной степени влиять на фазовый состав напыляемого материала.
Жаростойкие покрытия. Жаростойкость (окалиностойкость, жаропрочность) – свойство материалов выдерживать без существенных деформаций механические нагрузки при высоких температурах. Жаростойкость определяется сопротивлением ползучести, достаточной прочностью в течение длительного времени, а также способностью противостоять химическому разрушению поверхности под действием окислительной газовой среды при высоких температурах.
9
Материалы, применяемые в качестве жаростойких покрытий, должны иметь температуру плавления значительно выше рабочей температуры. В случае максимальных значений механических свойств материала (прочность, пластичность и т.д.) коэффициент теплопроводности должен быть минимальным. При рабочих температурах материал должен иметь минимальную ползучесть и высокий коэффициент теплового излучения, при этом коэффициент термического расширения αпокр покрытия должен быть близок к КЛТР основы.
Процесс нанесения жаростойких покрытий должен обеспечивать получение покрытий достаточной толщины с заданной пористостью, минимальными структурными и фазовыми превращениями, а также с высокими механическими свойствами и прочностью сцепления.
Эрозионно стойкие покрытия. Эрозионная стойкость – свойство поверхностных слоев материалов не подвергаться разрушению в результате воздействия потоков газа, жидкости, твердых частиц, а также при кавитационных явлениях или под влиянием электрических разрядов.
Материалы для этих покрытий не должны иметь рабочие температуры значительно ниже Тпл, фазовые переходы с существенным изменением объема, образовывать легкоплавкие эвтектики с материалом подложки. Вместе с тем они должны отличаться высокими механическими свойствами, большой твердостью, высокой коррозионной стойкостью и близкими коэффициентами термическогорасширениясКЛТРматериалаподложки.
Процесс нанесения эрозионно стойких покрытий должен обеспечивать создание управляемых и стабильных в пространстве структур для композиционных материалов, минимальную пористость, а также высокие когезионную прочность и прочность сцепления с подложкой.
Износостойкие покрытия. Износостойкость – свойство материала деталей машин противостоять изменению размеров, формы или состояния его поверхности вследствие остаточных деформаций от действующих нагрузок либо из-за разрушения поверхностного слоя при трении.
10