Добавил:
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:

книги из ГПНТБ / Войтович Р.Ф. Окисление тугоплавких соединений справочник

.pdf
Скачиваний:
21
Добавлен:
29.10.2023
Размер:
1.76 Mб
Скачать

ОКИСЛЕНИЕ СИЛИЦИДОВ

Т а б л и ц а 67

Окисление силицида тантала (воздух, 1400° С, [32])

 

 

 

 

 

Привес, мг/см2

 

 

 

 

Время

1250° С,

1300° с ,

1300° с ,

1250° С,

1350° С,

1350° С,

 

 

 

100 ч

100 ч

0 ч

0 ч

0 н

100 ч

1

ч

 

0,24

0,16

0,07

0,03

0,03

0,01

1

ч 15 мин

0,29

0,22

0,14

0,07

0,05

0,02

1

ч 30 мин

0,36

0,29

0,19

0,12

0,05

0,02

1

«

45 мин

0,44

0,36

0,26

0,17

0,07

0,02

2 ч

 

0,52

0,46

0,32

0,23

0,08

0,03

2

ч 15 мин

0,61

0,61

0,39

0,29

0,09

0,03

2 ч 30 мин

0,71

0,74

0,48

0,37

0,09

0,03

2

ч 45 мин

0,80

0,85

0,56

0,43

0,11

0,04

3

ч

 

0,92

1,02

0,63

0,53

0,12

0,05

3

ч 15 мин

1,04

1,16

0,70

0,57

0,13

0,05

3

ч 30 мин

1,16

1,29

0,76

0,65

0,13

0,07

3 ч 45 мин

1,29

1,42

0,84

0,73

0,15

0,07

4 ч

 

1,43

1,58

0,88

0,83

0,15

0,08

4

ч 15 мин

1,56

1,71

0,93

0,93

0,17

0,09

4 ч 30 мин

1,69

1,83

1,00

1,06

0,17

0,10

4 ч 45 мин

1,83

1,94

1,07

1,18

0,18

0,10

5 ч

 

1,95

1,16

1,28

0,19

0,12

5

ч 15 мин

2,10

1,25

1,39

0,20

0,12

5

ч 30 мин

2,24

1,34

1,50

0,21

0,13

5 ч 45 мин

2,37

1,42

1,61

0,22

0,14

6

ч

 

2,51

-

1,54

1,74

0,23

0,15

6 ч 15 мин

2,65

1,64

1,87

0,24

0,15

6

ч 30 мин

2,80

1,76

2,00

0,26

0,16

6

ч 45 мин

2,95

1,85

2,12

0,27

0,17

7

ч

 

1,98

2,23

0,30

63

Окисление силицида тантала (воздух, 1500° С, [32])

 

 

Привес, мг1см1

 

 

 

;

Время

 

1300° с

СО оСЛо О

1300° С

1250° С

Т а б л и ц а 68

1350° С * 1250° С *

1

ч

0,49

1

ч 15 мин

0,60

1

ч 30 мин

0,72

1

ч 45 мин

0,83

2

ч

0,93

2

ч 15 мин

1,10

2

ч 30 мин

1,21

2

ч 45 мин

1,39

3

ч

1,46

3

ч 15 мин

1,62

3

ч 30 мин

1,75

3

ч 45 мин

1,88

4

ч

2,03

4

ч 15 мин

2,26

4

ч 30 мин

2,51

4

ч 45 мин

2,78

5 ч

2,90

5

ч 15 мин

3,48

0,39

0,33

0,48

0,42

0,61

0,48

0,72

0,58

0,84

0,67

0,97

0,76

1,10

0,84

1,22

0,93

1,36

1,03

1,51

1,10

1,67

1,19

i ,84

1,27

2,03

1,36

2,31

1,43

2,60

1,54

2,84

1,62

3,21

1,70

3,72

1,79

 

1,88

* Время отжига 100 ч, остальных—0 ч.

0,35

0,27

0,22

0,37

0,28

0,24

0,40

0,30

0,30

0,43

0,31

0,31

0,46

0,31

0,32

0,49

0,32

0,33

0,52

0,33

0,34

0,56

0,34

0,34

0,60

0,36

0,36

0,63

0,37

0,39

0,68

0,37

0,41

0,74

0,39

0,43

0,81

0,40

0,44

0,93

0,41

0,46

1,04

0,42

0,48

1,18

0,43

0,51

1,31

0,44

0,52

1,48

0,45

0,54

1,79

0,46

0,55

1,88

 

 

64

 

 

 

 

Т а б л и ц а 69

Окисление силицида тантала

(воздух, [32])

 

 

 

Привес,

мг/смг

 

Время

1350° С

1350° С*

1250° С

1250° С* 1300° с *

1300° С

 

30 мин

0,26

0,23

0,20

0,17

0,16

0,14

 

45 мин

0,29

0,26

0,22

0,20

0,19

0,16

1 ч

0,35

0,29

0,26

0,22

0,21

0,19

1 ч 15 мин

0,46

0,33

0,29

0,26

0,24

0,22

1

ч 30 мин

0,51

0,35

0,33

0,28

0,27

0,25

1 ч 45 мин

0,68

0,37

0,36

0,30

0,29

0,28

2

ч

1,00

0,44

0,40

0,33

0,32

0,31

2

ч 15 мин

1,17

0,52

0,43

0,35

0,35

0,34

2

ч 30 мин

1,36

0,64

0,46

0,37

0,37

0,37

2

ч 45 мин

1,56

0,80

0,49

0,40

0,40

0,40

3

ч

1,77

1,00

0,52

0,43

0,43

0,43

3

ч 15 мин

1,97

1,19

0,56

0,46

3

ч 30 мин

1,39

0,59

0,48

3

ч 45 мин

1,62

0,62

0,51

4

ч

1,92

0,54

4

ч 15 мин

0,56

4

ч 30 мин

0,59

4

ч 45 мин

0,62

5

ч

 

 

0,64

 

 

 

 

 

 

 

 

* Время отжига 100 ч, остальное—0 ч.

65

Окисление силицида

молибдена (воздух,

1500° С)

Т а б л и ц а 70

 

 

 

 

 

 

 

Привес, мг!смг

 

 

 

 

Время

1350° С

1300° с

1250° С

1350° С*

1300° с *

1250° С*

 

 

 

1

v 45 мин

0,017

0,011

0,012

0,012

0,013

0,011

2

ч

 

0,024

0,015

0,016

0,016

0,020

0,014

2

ч 15 мин

0,027

0,019

0,020

0,019

0,024

0,017

2

ч 30 мин

0,031

0,023

0,024

0,022

0,027

0,020

2 ч 45 мин

0,035

0,027

0,027

0,024

0,029

0,022

3

ч

 

0,039

0,031

0,030

0,026

0,031

0,024

3

ч 15 мин

0,041

0,033

0,032

0,028

0,032

0,026

3

ч

30 мин

0,044

0,035

0,034

0,030

0,033

0,027

3

ч 45 лик

0,046

0,038

0,036

0,031

0,034

0,029

4

н

 

0,049

0,040

0,038

0,034

0,034

0,031

4

ч

15 лин

0,051

0,042

0,040

0,035

0,035

0,032

4

*

30 лин

0,053

0,044

0,042

0,037

0,036

0,033

4 ч 45 мин

0,055

0,046

0,044

0,039

0,037

0,034

5

ч

 

0,058

0,049

0,046

0,040

0,038

0,035

5

ч 15 мин

0,060

0,051

0,047

0,041

0,039

0,036

5

ч 30 лин

0,062

0,052

0,049

0,042

0,040

0,037

5

v 45 л/ин

0,064

0,054

0,051

0,043

0,040

0,038

6

ч

 

0,066

0,056

0,052

0,044

0,042

0,039

6

ч 15 мин

0,068

0,057

0,053

0,045

0,042

0,040

6

ч 30 лин

0,070

0,059

0,055

0,046

0,043

0,041

6

ч 45 мин

0,072

0,061

0,056

0,047

0,044

0,042

7

ч

 

0,074

0,062

0,058

0,048

0,044

0,042

7

ч 15 мин

0,076

0,064

0,059

0,049

0,045

0,043

7

н 30 лик

0,079

0,066

0,061

0,049

0,046

0,043

7

ч 45 лик

0,081

0,067

0,063

0,050

0,046

0,044

* Время отжига 100 ч.

66

 

 

 

 

 

 

Т а б л и ц а 71

Окисление

силицида

молибдена (1600° С, воздух,

[32])

 

 

 

 

 

Привес,

лг/см2

 

 

 

Время

1350° С

1300° с

1250° С

1350° С *

1300° с *

1250° С *

 

 

1

ч 30 мин

0,067

0,053

0,036

0,027

0,031

_

1

я 45 мин

0,080

0,060

0,044

0,033

0,034

2

ч

0,092

0,068

0,053

0,040

0,045

2

ч 15 мин

0,104

0,076

0,059

0,047

0,049

0,054

2

ч 30 мин

0,116

0,084

0,064

0,055

0,052

0,063

2

ч 45 мин

0,127

0,092

0,068

0,060

0,056

0,065

3

¥

0,136

0,099

0,072

0,064

0,059

0,068

3

¥ 15 мин

0,144

0,104

0,075

0,069

0,061

0,067

3

¥ 30 лик

0,152

0,109

0,076

0,073

0,063

0,077

3

¥ 45 лик

0,159

0,115

0,079

0,076

0,065

0,072

4

¥

0,165

0,119

0,080

0,079

0,067

0,073

4

¥ 15 лик

0,169

0,123

0,082

0,081

0,069

0,074

4

¥ 30 мин

0,175

0,127

0,084

0,084

0,071

0,074

4

¥ 45 мин

0,180

0,129

0,085

0,087

0,072

0,075

5

ч

0,185

0,133

0,087

0,089

0,073

0,075

5

¥ 15 лик

0,191

0,136

0,088

0,091

0,075

0,076

5

¥ 30 мин

0,196

0,140

0,089

0,093

0,077

0,077

5

¥ 45 мин

0,201

0,144

0,091

0,096

0,079

0,078

6

ч

0,207

0,147

0,093

0,099

0,080

0,079

6

¥ 15 мин

0,211

0,151

0,095

0,101

0,081

0,080

6

¥ 30 мин

0,216

0,153

0,096

0,103

0,083

0,080

6

¥ 45 мин

0,220

0,157

0,097

0,105

0,084

0,081

7

¥

0,225

0,160

0,099

0,107

0,084

0,081

7

¥ 15 лик

0,230

0,163

0,110

0,108

0,086

0,081

7

¥ 30 мин

0,233

0,165

0,111

0,111

0,086

0,082

7 ¥ 45 лик

0,236

0,168

0,113

0,112

0,088

0,083

* Время отжига 100 ч.

67

Т а б л и ц а 72

Окисление силицида молибдена (1800° С, воздух, [32])

 

 

 

 

 

Привес,

мг{см*

 

 

 

 

Время

1350° С

1300° с

1350° С*

1250° С

1250° С*

1300° с*

 

 

 

2

ч

15 мин

0,26

0,24

0,20

0,17

0,15

0,08

2

ч 30 мин

0,29

0,26

0,22

0,19

0,16

0,10

2

ч 45 мин

0,31

0,28

0,23

0,20

0,17

0,13

3

ч

 

0,33

0,30

0,24

0,21

0,19

0,14

3

ч 15 мин

0,35

0,32

0,26

0,22

0,19

0,17

3

ч 30 мин

0,38

0,34

0,27

0,23

0,20

0,19

3

ч 45 мин

0,40

0,35

0,28

0,24

0,22

0,21

4

ч

 

0,42

0,37

0,30

0,25

0,23

0,23

4

ч 15 мин

0,44

0,39

0,32

0,26

0,24

0,25

4

ч 30 мин

0,47

0,41

0,32

0,27

0,26

0,25

4

ч 45 мин

0,49

0,43

0,34

0,28

0,26

0,29

5 я

 

0,51

0,44

0,35

0,29

0,27

0,31

5

ч 15 мин

0,53

0,46

0,37

0,31

0,28

0,33

5 ч 30 мин

0,56

0,48

0,38

0,32

0,29

0,34

5

ч 45 мин

0,58

0,50

0,39

0,32

0,30

0,37

6 Я

 

0,60

0,52

0,40

0,34

0,31

0,40

6

ч 15 мин

0,62

0,54

0,42

0,35

0,32

0,41

6

ч 30 мин

0,65

0,56

0,43

0,36

0,34

0,44

6 ч 45 мин

0,67

0,58

0,44

0,37

0,34

0,46

7

ч

 

0,69

0,59

0,46

0,38

0,35

0,48

7 ч 15 мин

0,71

0,61

0,47

0,39

0,37

0,50

7 ч 30 мин

0,74

0,63

0,49

0,40

0,38

0,52

7 ч 45 л*цн

0,76

0,65

0,50

0,40

0,39

0,54

* Время отжига 100 ч.

68

 

 

 

 

 

Т а б л и ц а 73

Окисление

силицида

молибдена (1700° С, воздух,

[32])

 

 

 

 

Привес

мг/см3

 

 

Время,

 

 

 

 

 

 

мин

1300° с *

1350° С

1300° с

1250° С*

1300° с

1350° с *

 

1 ,5

0,1 5 8

0 ,1 1 4

0 ,1 0 3

0 ,0 7 3

0 ,0 3 7

0 ,0 1 8

2

0 ,1 7 2

0 ,1 2 5

0 ,1 1 4

0 ,0 8 4

0 ,0 5 5

0 ,0 3 3

3

0 ,1 9 4

0 ,1 4 7

0 ,1 3 9

0 ,1 1 0

0,0 8 8

0 ,0 5 9

4

0 ,2 1 6

0 ,1 6 5

0 ,1 5 8

0 ,1 3 2

0 ,1 1 7

0 ,0 8 4

5

0 ,2 3 8

0 ,1 8 7

0,1 8 7

0 ,1 5 4

0 ,1 5 0

0 ,1 1 0

6

0 ,2 6 0

0 ,2 0 4

0 ,2 0 9

0 ,1 7 6

0 ,1 8 9

0 ,1 3 2

7

0 ,2 8 2

0 ,2 2 7

0 ,2 3 5

0 ,2 0 2

0 ,2 1 6

0 ,1 5 8

8

0 ,3 0 4

0 ,2 4 9

0,2 5 7

0 ,2 2 0

0 ,2 4 6

0 ,1 8 3

9

0 ,3 2 6

0,271

0 ,2 8 2

0 ,2 4 6

0 ,2 7 9

0 ,2 0 9

10

0,3 4 8

0 ,2 9 3

0 ,3 0 4

0 ,2 6 4

0 ,3 0 8

0 ,2 3 5

11

0 ,3 7 0

0 ,3 1 2

0 ,3 3 0

0 ,2 9 0

0,341

0 ,2 6 0

12

0 ,3 9 2

0 ,3 3 4

0 ,3 5 2

0 ,3 1 2

0 ,3 7 4

0 ,2 8 6

13

0,4 1 8

0 ,3 5 6

0,3 7 8

0,3 3 7

0 ,4 0 7

0 ,3 1 2

14

0 ,4 4 0

0 ,3 7 8

0 ,4 0 0

0 ,3 5 9

0 ,4 4 0

0 ,3 3 7

15

0 ,4 6 2

0 ,3 9 6

0 ,4 2 2

0,371

0 ,4 6 9

0 ,3 6 3

16

0 ,4 8 4

0 ,4 1 8

0 ,4 4 7

0 ,4 0 3

0 ,5 0 2

0 ,3 8 9

17

0 ,5 0 6

0 ,4 4 0

0 ,4 6 9

0 ,4 2 5

0 ,5 3 5

0 ,4 1 4

 

 

 

Т а б л и ц а

74

Окисление порошка силицида

молибдена (кислород,

[33])

Время, ч

Привес, %

Время

Привес,

%

 

 

 

20° С

(сутки)

100° С

 

 

 

 

 

 

1

0 ,0 1 2

1

0 ,0059

2

0 ,0 1 3 5

2

0 ,0354

3

0 ,0 1 5 0

3

0 ,1 0 0 0

4

0 ,0 1 6 0

4

0 ,1 4 7 2

6

0,0177

5

0 ,1 6 4 9

* Время отжига

100 ч.

 

 

 

5

1270

69

 

 

Продолжение табл.

74

 

Привес, %

Время

Привес,

%

Время,

н

 

 

(сутки)

100° с

 

 

20° С

 

 

8

0 ,0 1 8 7

6

0 ,1 9 4 4

10

0 ,0197

7

0 ,2 2 9 5

12

0 ,0 2 0 5

8

0 ,2 6 4 9

14

0 ,0 2 1 0

9

0 ,2 8 8 5

16

0 ,0212

10

0 ,3236

18

0 ,0 2 1 3

11

0 ,3 5 9 0

20

0 ,0215

12

0 ,3 9 4 4

22

0 ,0 2 1 5

13

0 ,4 2 3 6

24

0 ,0 2 1 6

14

0 ,4 5 9 0

26

0 ,0217

15

0 ,4 8 8 5

28

0 ,0 2 2 0

 

 

 

30

0 ,0 2 2 0

 

 

 

Т а б л и ц а 75 Окисление спеченного силицида молибдена (кислород, [33])

Время, мин

Привес, г1м9

1200° С

Сл О

О

1 0 0 0 ° с

а*

Время,

Привес, г{ма

1400° С 1200°С

а*

Время,

Привес, г,л2

1400° С 1200° С

5

5 3 ,3

7 ,6

— 2 1 ,7

50

6 5 ,3

8

,3

800

136,2

5 5 ,6

10

6 3 ,0

1 3,0

— 2 9 ,3

100

115,4

6

,7

900

137,6

5 8

,4

15

6 8 ,5

1 6,3

— 2 7 ,2

150

126,5

2 2 ,2

1000

137,6

5 9 ,8

20

7 3 ,9

1 3

,0

— 1 8 ,5

200

129,3

2 7

,8

1100

139,0

6 2

,5

25

7 7 ,2

7 ,6

—3 ,3

250

130,7

3 2 ,0

1200

13 9 ,0

6 3

,9

30

8 0 ,4

0

 

2 2 ,8

300

132,0

3 4

,7

1300

13 9 ,0

6 6

,7

35

8 4 ,8

— 1 2 ,0

2 0 ,7

350

133,4

3 8 ,9

1400

139,0

68,1

40

8 8 ,0 — 2 3 ,9

1 7 ,4

400

134,8

43

,1

1500

139,0

6 9

,5

45

9 2 ,4 — 4 0 ,2

14,1

450

134,8

4 5 ,9

1600

140,4

7 2

,3

50

9 5 ,6 — 5 5 ,4

1 0 ,9

500

134,8

4 7 ,3

1700

140,4

7 3 ,7

55

101,1

— 6 9

,6

9 ,8

600

136,2

5 0 ,0

1800

140,4

75,1

60

106,5

— 8 8

,7

9 ,8

700

136,2

5 2 ,8

1900

140.4

7 6 ,4

 

 

 

 

 

 

 

 

 

2000

140.4

7 7

,8

70

Т а б л и ц а 76

Окисление MoSi2 (воздух, [34])

Привес, лг/сл3

Время

О

<Г> О О

1

ч 30 мин

0,005

2

ч

0,007

2

ч 30 мин

0,008

3

ч

0,009

3

ч 30 мин

0,009

4

ч

0,011

4

ч 30 мин

0,011

5

ч

0,012

5

ч 30 мин

0,012

6

ч

 

 

Окисление MoSi2 (воздух, [35])

1000° с

1100° с

1200° С

0,023

0,029

0,086

0,027

0,036

0,096

0,029

0,039

0,105

0,032

0,044

0,110

0,033

0,045

0,121

0,034

0,051

0,127

0,037

0,052

0,131

0,038

0,055

0,136

0,038

0,057

0,141

0,039

0,059

0,144

Т а б л и ц а 77

Время, ч

Толщина

Время, ч

Толщина

пленки, мкм9

пленки, мкм2

20

63

60

413

25

112

65

455

30

154

70

497

35

196

75

539

40

238

80

581

45

280

85

630

50

322

90

670

55

364

95

707

 

 

100

728

 

 

5*

71

Окисление MoSi2 при различных температурах

Т а б л и ц а 78

 

по данным различных авторов

 

 

Температура, °С

Время, ч

Привес, г1см*'Ч

Литература

1095

75

—0,3-10“ 6

[36]

 

150

—0,4

 

1200

200

1,0

[37]

 

300

0,7

 

1320

50

5,0

[37]

 

100

4,0

 

1500

4,5

0 ,2 -10“ 3

[38]

 

 

0 ,4 -1 0 -3

 

1565

100

—3,67

[38]

 

135

—3,1

 

Окисление MoSi2

после

предварительного

прогрева

в расплавленном

металле

(1200° С, кислород, [33])

 

 

Привес, мг!смй

 

Состав

1 ч

3 ч

7 ч

 

MoSi,

13,9

14,9

15,4

Zn*

10,7

10,8

11,0

Sn**

15,1

15,3

15,7

11,2

11,6

11,9

Al**

20,3

28,7

35,6

*Отожжен 5 ч при 900° С. .

**Отожжен 5 ч при 1000° С.

72

Соседние файлы в папке книги из ГПНТБ