книги из ГПНТБ / Балицкий А.В. Технология изготовления вакуумной аппаратуры

щается масс-спектрометрическая камера. Магнитное поле отклоняет пучок ионов и заставляет их лететь по круговым траекториям с ра­ диусами кривизны, соответствующими их массам. Таким образом, ионы разных газов здесь разделяются и, встречая на своем пути диа­ фрагму коллектора, частью проникают через щель на самый кол­ лектор, а частью задерживаются стенкой диафрагмы.

Электрическое поле, ускоряющее ионы, и магнитное поле, разде­ ляющее их на различные потоки, согласованы таким образом, что через щель на коллектор проникают только положительные ноны гелия.

Попадание попов гелия на коллектор вызывает протекание в его цепи весьма слабого электрического тока, достаточного, однако, для того, чтобы с помощью электронных блоков течеискателя не только отмечать попадание телия в прибор, но и измерять относительные ко­ личества гелия, попавшего в камеру течеискателя.

Присоединяемая к вакуумной системе течеискателя через дрос­ сельный вентиль испытываемая деталь или сосуд должны откачи­ ваться отдельным механическим вакуумным насосом. Приведя в ра­ бочее состояние течеискатель и откачав испытываемый объем отдель­ ным насосом, следует, открывая дроссельный вентиль, пустить часть откачиваемого из сосуда газа в вакуумную систему течеискателя.

Если теперь обдуть гелием испытываемый сосуд, то проникший в него через течь гелий обязательно частично попадает через дрос­ сельный .вентиль в масс-спектрометр и будет отмечен прибором.

Минимальная течь обнаруживается в том случае, когда испыты­ ваемый сосуд может быть полностью откачай вакуумной системой самого течеискателя, т. е. когда удается полностью открыть дрос­ сельный вентиль и отключить вспомогательный насос. В этом случае

втечеискатель попадает весь гелий, прошедший через течь.

Втех случаях, когда из-за большой течи в испытываемом сосу­ де невозможно полностью открыть дроссельный кран и отключить насос, чувствительность оказывается меньшей. Приблизительно она может быт оценена как 1/10 000 того количества газа, который уда­ ляется вспомогательным насосом из испытываемого сосуда.

Более подробное описание течеискателя можно найти в {Л. 46]. Техника испытаний. На рис. 14-5 показан обычный испыта­

тельный пост с масс-спектрометрическим течеискателем. Кроме те­ чеискателя, пост имеет стол для испытаний мелких деталей и неболь­ ших узлов, механический вакуумный насос для предварительной откачки, ряд мелких приспособлений: несколько слесарных струбцин разной величины; набор различных фланцев, глухих и со штуцерами для откачки; вакуумные шланги разного диаметра и несколько пе­ реходников к ним; резиновые пробки разных размеров, глухие и с отверстиями для вставки трубок; несколько зажимов для шлангов; пережимы рычажные (рис. 14-6) и .винтовые (рис. 14-7) для шлангов; 10—15 хомутиков (рис. 14-8) для крепления шлангов на трубках и баллон с гелием с натекателем и обдувателем (рис. 14-9).

Баллон для гелия обычно берется легкий, малого размера, от огнетушителя.

Вместо баллона может применяться обычная кислородная по­ душка, наполняемая гелием.

В испытываемых деталях, узлах и готовых установках при по­ мощи фланцев и пробок вакуумно-плотно закрываются все отверстия, кроме одного, через которое вакуумным шлангом испытываемый объем соединяется с течеискателем (рис. 14-10).

301

Для проверки на вакуумную плотность мелких узлов, как, напрйМер, корпусов вентилей, сильфонных узлов и т. п., выгодно приме­ нять трубчатые гребенки с вентилями на отростках и короткими ва­ куумными шлангами для присоединения детален.

В случаях серийного производства рационально применять спе­ циализированные приспособления для быстрой и надежной установки изделий на испытание.

Иногда, особенно при испытании крупных узлов и сложных уста­ новок, приходится проводить его в несколько приемов, так как обна­ руженные течи лучше всего устранять капитально н немедленно. Чем

загрязнение объема может спутать картину испытания. Стоит потерегь^альцем место очень малой течи, как она может перекрыться на минуты, а иногда и на часы, влагой и жиром, перешедшими с рук на металл, но через некоторое время течь вновь появится.

Как уже было показано, самый процесс испытания на вакуумную плотность при помощи масс-спектрометрнческих теченскателей всех типов состоит в общих чертах из одних и тех же операций. Однако испытание сверхвысоковакуумиых систем обдуванием не всегда бы­ вает достаточно надежным, так как весьма малые течи легко при этом пропустить. Поэтому целесообразно в ряде случаев использо­ вать так называемый метод гелиевой камеры.

Метод заключается в том, что испытываемая установка или узел целиком (при малых габаритах) или по частям (если размеры его велики) накрывается колпаком или мешком из сравнительно мало проницаемого для газа материала. Под колпак при испытании впус­ кается гелий. Особой герметнчитгги от таких колпаков или мешков не требуется, так как для испытания достаточно создать вокруг подозрительных участков поверхности более или менее богатую смесь гелия с воздухом на сравнительно короткое время. В атмосферном воздухе гелий присутствует в количестве 1/200 000 доли, так что даже 10%-ная смесь гелия с воздухом будет в 20 000 раз более концентри­ рованной и прнникновение гелия из нее в проверяемый объем сразу будет обнаружено течеискателем.

При испытании методом гелиевой камеры возможность пропуска течи исключается, но место ее нахождения не определяется. Следо­ вательно, нужно сначала методом гелиевой камеры определить, есть

3 0 4

СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ

1. Королев Б. И. Основы вакуумной техники. Иэд. 4-е. М., «Энергия», 1964.

2.Векшинский С. А. Новый метод металлографического исследо­ вания сплавов. М,— Л., ГоСтехиздат, 1944.

3.Машиностроение. Энциклопедический справочник. Т. 4. М.,

Машгиз, 1947.

Машгиз, 1960.

7.Эспе В. Технология электровакуумных материалов. Т. 1, М., Госэнергоиздат, 1960.

8.Смирягин А. П. Промышленные цветные металлы и сплавы.

М., Металлургиздат, 1956.

9.Справочник машиностроителя. Т. 2. М., Машгиз, 1952.

10.Неметаллические материалы (справочник). Москва — Сверд­ ловск, Машгиз, 1962.

И. Богородицкий Н. П. и др. Раднокерамика. М., Госэнергоиз­

дат, 1963.

12. Керамика и ее спаи с металлом в технике. Под ред. проф. В. А. Преснова и канд. техн. наук Н. С. Иофнса. М., Атомнздат, 1969.

13.Справочник по пластическим массам. М,, «Химия», 1967—

1969.

14.Фторопласты. Под ред. Гарбар. М, Госхимиздат, 1954.

45.Hait Р.— «Wacuum», 1967, № 10.

46.Плещенко Е. Г. Исследование газопроницаемости и газоот-

деления материалов в вакууме.— «Электроника». Вып. 8, 1962, с. 90—96.

'17. Фарк!аш И., Берри Е. Эластомерные уплотнения для боль­ ших сверхвысоковакуумных установок. Современная вакуумная тех­ ника. Пер. с англ. М., Изд-во иностр. лит., 1960, с. 121. -

18. Иванов А. А. Электровакуумная технология. М., Госэнерго­ издат, '1944.

19.Цейтлин А. В. Вакуумные пароструйные насосы. М., «Энер­ гия», 1965.

20.Грошковский Я. Технология высокого вакуума. Пер. с полыск.

М., Изд-во иностр. лит., 1957.

21.Спектор О. Ш.. Разделительная н поверхностная кислороднофлюсовая резка. М., Машгиз, 4963.

22.Таран В. Д., Калачев Ю. А. Резка нержавеющей стали стан­

дартными резаками.— «Сварочное производство», 1962, № 1, с. 34.

306

23 Васильев К. В. Газоэлектрическая резка металлом. М., Машгиз, 1963.

24.Вершинин Б. Д. Охладитель для резака УДР-2-58.— «Сва­ рочное производство», 1963, № '1, с. 141.

25.Технология электрической сварки плавлением. Под ред. акад. Б. Е. .Патона. М., Машгиз, 1962.

26.Бродский А. Я. Аргонодуговая сварка вольфрамовым элек­

тродом. М., Машгаз, 1966.

27. Чернаков Ф. А., Богданов Ф. А. Аргонодуговая сварка и ее применение. Л., Судпромгиз, '1956.

28. Берсон Л. М. Мягкая камера для сварки титана и его сплавов.— «Сварочное производство», 1962, № 10, с. 36.

29.Башенко В. В. Сварка металлов электронным лучом. — «Сва­ рочное производство», 1901, № 1, с. 34.

30.Козлов Ю. М. Электроннолучевые пушки для сварки метал­

лов в вакууме.— «Сварочное производство», 1961, № 1, с. 38.

31. Костюк В. А., Козлов Ю. М., Шувалов А. В., Герасимен­ ко А. В. Промышленные установки для сварки электронным лу­ чом.— «Сварочное производство», '1961, № 1, с. 41.

32. Казаков Н. Ф. Диффузионная сварка в вакууме. М., «Ма­ шиностроение», 1968.

33.Хренов К. К., Гурский П. И., Корниенко Ю. А. Вакуумно­ плотные швы, выполненные холодной сваркой.— «Автоматическая сварка», 1968, № 5, с. 56.

34.Хренов К. К. Холодная сварка.— «Автоматическая сварка»,

1963, № 8, с. 4—14.

35.Балакин В. И., Хренов К. К. Роль вакуума при холодной сварке.— «Автоматическая сварка», .1966, № 2, с. 7—9.

36.Лашко Н. Ф., Лашко-Авакян С. В. Пайка металлом. М., «Машиностроение», 1967.

37. Любимов М. Л. Спаи металла со стеклом. М.— Л., «Энер­ гия», 1968.

38. Батыгин В. Н. Вакуумноплотные алюмооксидные керамиче­ ские материалы. — «Электроника», Вып. 4, 1959, с. 3—15.

39. Казанцева К. Е., Кириллова Г. К., Полякова Н. Л. Вакуум­ ноплотные керамические материалы для спаев с металлами.— «Элек­ троника». Вып. 4, 1959, е. 52—59.

40. Бравинский В. Г., Иванов В. П., Метлин Г. А. Сравнитель­ ная оценка основных способов металлизации.— «Электроника». Вып. 4, 1959, с. 76—85.

41.Denton Е, Р., Rawson Н. The metallizing of high А120з cera­ mics, Transaction of the British Ceramic Society, 1960, № 2.

42.Метелкин И. И., Макаркин А. Я. Новый метод получения

металлокерамических узлов.— «Электроника». Вып. 9, 1962, с. 68.

43.Метелкин И. И., Макаркин А. Я., Афанасьев И. В. Сварка металлизированной керамики с металлами термокомпрессионным спо­ собом. — «Электроника». Вып. 10, 1961, с. 96—106.

44.Эдис Р., Пенсак Л., Скотт Н. Уплотнение из фторэластомера для высоковакуумных систем. Современная вакуумная тех­ ника. Пер. с англ. М., Изд-во иностр. лит., 1960, с. '126.

45.Шнякин Н. С., Илышев В. С. Роликовая сварка сильфон­

ных узлов из нержавеющей сталей. М., «Дом техники», '1962.

46. Ланис В. А., Левина Л. Е. Техника вакуумных испытаний. М.—Л., Госэнергоиздат, 1963.

307

47. Балковец Д. С., Орлов Б. Д., Чулочишков П. Л. Точечная м роликовая сварка специальных сталей и сплавов. М., Обороигмз, 1957.

48. Штернин Л. А., Прокофьев С. Н. Сварка трением алюминия со сталью и медью,— «Сварочное 'производство», 1961, № 11, с. 30.

49.Баранов И. Б. Холодная сварка пластичных металлов. Изд. 3-е. М.— Л., Ма'Шгиз, 1969.

50.Василевский Л. В., Сидорук В. С., Шатайло Д. В. Электро-

52.Лайнер В. И. Справочное руководство по гальваностегии. Хи­ мическое и электрохимическое полирование. М., «Металлургия», 1969.

53.Рот А. Вакуумные уплотнения. Пер. с англ. М., «Энергия»,

1971.

54.Дэшман С. Научные основы вакуумной техники. Пер. с англ.

М-, «Мир», 1964.

55. Электроды для дуговой сварки и наплавки. М., Внешторгнздат, 1966.

56.Шумский К. П. Вакуумная аппаратура и приборы химиче­ ского машиностроения. М., Машгпз, 1963.

57.Кузнецов В. И. Механические вакуумные насосы. М., Гос-

энергоиздат, 1959.

58.Лакедемонский А. В., Хряпин В. Е. Справочник паяльщика. М., «Машиностроение», 1967.

59.Вишенков С. А. Применение химического никелирования для

защиты от коррозии и повышения износостойкости деталей. — ВСНТО. 1958, № 4.

60.Лебединский М. А. Электровакуумные материалы. М.— Л., «Энергия», 1966.

61.Щиголев П. В. Электролитическое и химическое полирова­ ние металлов. М., Изд-во АН СССР, 1959.

62.Медовар Б. И. Сварка храмоникелевых аустенитных сталей.

Киев — Москва, Машгиз, 1958.

63.Коль В. Технология материалов для электровакуумных при­ боров. Пер. с англ. М., Госэнергоиздат, 1957.

64.Кулагин И. Д., Петруничев В. А., Николаев А. В. Исследо­

вание резки дуговой плазменной струей, выделенной из столба ду­ ги.— «Сварочное производство», 1961, № 5, с. 1—4.

65.Бельчук Г. А. Исследование некоторых особенностей тех­ нологии аргонодуговой сварки алюминия и его сплавов со сталыо. — «Сварочное производство», 1961, № 5, с. 8.

66.Пивоваров Г. Я. Технохнмнческне процессы электровакуум­ ного производства. М., «Энергия», 1964.

67.Александрова А. Т. и др. Технологическое оборудование

электровакуумного производства. М.— Л., Госэнергоиздат,.. 1962.

68.Липко А. И., Плисковский В. Я., Пенчко Е. А. Конструиро­ вание и расчет вакуумных систем. М., «Энергия», 1970.

69.Данилин Б. С., Минайчев В. Е. Основы конструировалия ва­

куумных систем. М., «Энергия», 1971.

70. Wheeler W. R., Carlson М. Ultra-high vacuum flanges. Tran­ sactions of the 8th Vacuum Symposium, 1962, v. 2.

308

3 1 0