
книги из ГПНТБ / Балицкий А.В. Технология изготовления вакуумной аппаратуры
.pdfновенную медь марок МО, Ml, М2 без опасения растрес кивания материала. Остальные поделочные материалы ведут себя при пайке в вакууме так же, как и при пайке в водороде. Припоями здесь также могут служить чистая медь, серебро или эвтектический серебряный припой, припой ВПр-4.
Для пайки нержавеющей стали медью и серебря ными припоями в вакууме требуется большая выдержка при температуре 1 200°С.
В вакууме можно паять нержавеющие стали и жаро
прочные сплавы |
припоем ВПр4, содержащим 28% Мп, |
||
28%'Ni, |
5%'Со, |
1% Si, 1% Fe, 0,2% В и небольшие коли |
|
чества |
(0,1—0 , 2 % ) N a , |
Li, К и Р, выполняющие роль |
|
флюса. |
Пайка |
ведется |
при температуре 1 000—1 050°С |
(температура плавления припоя 940—980°С).
Пайка может производиться не только в вакууме, но и в инертных газах, а с быстрым нагревом токами высо кой частоты — на воздухе.
На рис. 7-16 показана одна из выпускаемых промыш ленностью вакуумных печей — двухколпаковая печь типа СГВ-2,3/15Э—МЛ (СКБ-7019Б). Печь состоит из рабо чих колпаков, вакуумного блока, шкафа управления, ме ханизма подъема колпаков, трансформатора. Нагрева тели— молибденовые, теплоизоляция — экранная. Каж дый колпак имеет сверху и сбоку смотровые глазки для наблюдения за ходом процесса.
Вакуумная система печи, показанная на схеме рис. 7-17, состоит из двух механических вакуумных на сосов ВН-2МГ, двух паромасляных диффузионных насо сов Н5С-М1, двух азотных ловушек, двух вакуумных вентилей Dy=160 мм и трубопроводов с вакуумными вентилями, обеспечивающих возможность откачки рабо чих камер до заданного давления 5- 10-5 мм рт. ст. Печь снабжена программированным управлением тепловым процессом с регулируемым нагревом.
Максимальная рабочая температура в этой печи до стигает 1 500°С при затрате мощности на нагрев камеры 24 кет, при общей установочной мощности в 55 кет. Ра бочее пространство под колпаком имеет диаметр 200 мм и высоту 300 мм. Напряжение на нагревателе до 12 в, напряжение питающей сети — 380 в.
Для пайки более крупных деталей и узлов промыш ленность выпускает вакуумно-водородные печи типов ОКБ-8085 и ОКБ-8086. Их габаритный чертеж показан
191
Рис. 7-17. Схема вакуумной системы электропечи СГВ-2.3/15Э-М1.
tHK, 2 Н К — нагревательные колпаки; 1ВИ, |
2ВН — вакуумные насо |
|||||
сы ВН-2МГ; |
1ПЫ, 2ПН — паромасляные |
насосы Н5С-М1; 1ЛА, |
||||
ЗЛА — азотные ловушки; |
1ЭЗ, |
2ЭЗ — вакуумные затворы, |
Z>y =!60; |
|||
Ш В , 2МВ — мановакуумметры |
ЭКМ; IBM, |
2ВМ — вакуумные |
вен |
|||
тили с электромагнитным приводом; 5ВС, |
9ВС — сильфонные |
ва |
||||
куумные вентили, Dy =50; |
1ВС, |
4ВС — вакуумные вентили, Dy»25; |
||||
1ЛТ—4 Л Т — термопарные |
лампы |
ЛТ-2; 1ЛМ, 2ЛМ — манометриче |
||||
ские лампы ЛМ-2. |
|
|
|
|
|
|
на рис. 7-18, |
а техническая характеристика |
приведена |
в табл. 7-6. Печи эти одноколпаковые, причем колпак не поднимается, а опускается для загрузки под печи; смон тирован на двух подъемных винтах, работающих от электромеханического привода.
Вакуумная система состоит из двух '.механических ва куумных насосов ВН-1МГ и одного паромасляного диф фузионного агрегата ВА-5-4ПР с азотной ловушкой и вакуумным вентилем.
Колпак печи сверху закрыт крышкой с аварийным взрывным клапаном на случай взрыва гремучей смеси. Клапан срабатывает при внутреннем давлении 2 кгс/смг.
Печь снабжена системой газоааполиення, состоящей
192
(OOSZ)
Рис. 7-18, Общин вид электропечей ОКБ-8085 и ОКБ-8086 (габа ритный чертеж).
/ — вакуумная система; 2 — камера нагрева; 3 — силовой блок.
из блока газораспределения и высокозакуумных венти лей. Перед наполнением рабочей камеры водородом (при использовании печи в качестве водородной уста новки) производится продувка ее азотом. Система газонаполнения позволяет производить работу как с посто янной поддувкой водорода (проточный режим), так и при закрытом рабочем пространстве с постоянным под пором газа.
Вакуумные печи служат не только для пайки, но и для высококачественного отжига некоторых металлов перед их обработкой, а также металлических, графито вых деталей перед их сборкой и 'металлических деталей перед пайкой со стеклом или керамикой.
Пайка с нагревом токами высокой частоты. Беспла менный быстрый нагрев строго определенной зоны изде лия токами высокой частоты при пайке деталей пред ставляет для вакуумной техники чрезвычайно большой интерес.
1 3 — 30 8 |
193 |
Таблица 7-6
Характеристика вакуумно-водородных печей
?
Характеристика
Потребляемая мощность, кет Напряжение^питання, в
Давление, к г с /с м - : воды водорода азота
Расход на цикл, ж3:
водорода |
|
|
|
|
азота |
|
|
|
|
Расход воды, м */ч |
|
|||
Длительность |
цикла, ч |
|||
при работе |
на |
водороде |
||
при работе |
в |
вакууме |
||
Максимальная |
|
допустимая температура |
||
рабочей зоны, °С: |
||||
при |
водороде |
|
||
при |
вакууме |
|
||
Рабочая температура, °С: |
||||
при |
водороде |
|
||
при вакууме |
|
|||
Предельный |
вакуум в холодной печи, |
|||
мм p m . c m . |
|
|
||
Масса садки, |
кг |
пространства, мм: |
||
Размеры |
рабочего |
диаметр
высота Габариты печи, мм:
длина
ширина
высота
Печь ОКБ-8085
103
380/220
с нулем
Л. |
СЛ |
|
1 |
|
1,1 |
|
1,1 |
1,8
1.8
4
2,5
5
1 100
1300
900 I 100
2 -1 0 - 5
80
470
790
3 380
2 217
2 500
Печь OKB-808G
103
380/220
снулем
4—5
1,1
1,1
1,8
1,8
4
2,5
5
1600
1700
1400
1600
2-10 -6 20
310
690
3 380
2 217
2 500
Метод этот имеет ряд преимуществ перед всеми остальными способами нагрева деталей. Именно нагрев токами высокой частоты позволит технологу обеспечить высококачественную пайку различных металлов разны ми припоями.
Пайку с нагревом токами высокой частоты можно производить как в атмосфере воздуха, так и в вакууме или в восстановительной атмосфере водорода, или в за щитной атмосфере инертного газа, и, наконец, в смешан ной атмосфере (например, формиргазе, представляющем собой смесь 95%' азота и 5% водорода).
194
Панка с нагревом токами высокой частоты по харак теру нагрева приближается к сварке деталей и особенно к газодуговой сварке. Следует, однако, иметь в виду, что такая пайка выгодна для небольших деталей и осо бенно в серийном производстве. Для крупных деталей необходимы были бы очень мощные генераторы, и здесь выгоднее сваривать, а не паять.
На рис. 7-19 показан чертеж общего вида вакуумной
Рис. 7-19. Вакуумная печь с ВЧ на |
Рис. 7-20. Пайка в водо |
|
гревом. |
роде с «агревом токами вы |
|
/ — кварцевый колпак; 2 — индуктор. |
сокой частоты в |
кварцевой |
|
трубе. |
|
|
/ — кварцевая труба; 2 — изде |
|
|
лие; 3 — индуктор; |
4 — керами |
|
ческая подкладка; |
5 — столик; |
|
б — стойка. |
|
установки с ВЧ-нагревом, предназначенной для отжига и пайки небольших деталей. Установка имеет два рабо чих места, на которые устанавливаются стеклянные или кварцевые колпаки 1. Диаметр колпаков 75—80, а высо та около 250 мм. Нагрев деталей, помещенных под кол паки, осуществляется одним внешним индуктором 2.
13* |
195 |
Максимальная температура нагрева деталей (при ис пользовании стеклянных колпаков) достигает 1200°С.
Откачка рабочего колпака до давления 5-10~7 мм рт. ст. осуществляется последовательно, вначале меха
ническим |
вакуумным насосом с защитной сорбционной |
ловушкой, |
а затем магниторазрядным насосом. При |
обильном |
газовыделенпп может быть включен дополни |
тельный титановый сублимационный насос. Максималь ная электрическая мощность, потребляемая установкой, составляет 30 кет.
Возможно также производить пайку в восстанови тельной (например, формпргаз) или инертной среде, пользуясь кварцевой трубой как упрощенной печной камерой (рис. 7-20). Через трубу с небольшими скоростя ми продувается газ, в струе которого и производится пайка. Индуктор охватывает трубу снаружи, но при на добности может помещаться и вместе с паяемым изде лием внутри трубы. Этот способ пайки весьма универса
лен, так как |
в трубе в |
отличие |
от закрытой |
камеры |
можно паять |
с флюсом не боясь загрязнения |
печи, и |
||
производительность здесь |
может |
быть очень |
высокой. |
Методом папки с нагревом токами высокой частоты можно получать спаи, не достижимые при других спосо бах нагрева. Так, например, удается уверенно получить вакуумные спаи ковара или другого металла с алюми нием через слой серебра или серебряного припоя. Для этого коваровую деталь серебрят гальваническим спосо бом или покрывают серебряным припоем марки ПСр-70 пли эвтектическим, смазывают флюсом 34-А, разведен ным в спирте, и плотно вставляют в заточку алюминие вой детали на глубину не менее 5 мм. Нагрев произво дится индуктором, подобранным по коваровой детали и охватывающим ее у самого соединения с алюминием, но без захвата алюминия. Пайку можно вести на воздухе, а еще лучше в инертной среде (в аргоне или гелии). Коваровая деталь нагревается до светловишневого цвета. Нагрев выключается сразу при появлении первых при знаков оплавления кромки алюминия. Толщина алюми
ниевой |
стенки |
в |
месте спая должна |
быть |
не |
менее |
1,5 мм. |
После |
пайки детали должны |
быть обязательно |
|||
протравлены, как и при обычной пайке алюминия. |
||||||
Следует помнить, что для пайки с нагревом |
токами |
|||||
высокой частоты |
флюсы, в том числе и флюс |
34-А для |
||||
пайки алюминия, |
необходимо замешивать в виде |
каши |
196
цы на спирту. Флюсы, замешанные па поде, при данном методе пайки негодны, так как при весьма быстром на греве, что характерно и денно в этом методе, вода бур но вскипает и разбрасывает флюс, давая в результате пористый шов. Флюс накладывается на место спая пред варительно в количестве значительно меньшем, чем при нагреве пламенем горелок.
7-13. ПАЙКА ТИТАНА
Титан — химически активный металл, и пайка его имеет ряд особенностей.
При температурах папки на воздухе твердыми при поями титан покрывается слоем окисла, препятствующе го смачиванию припоями. Кроме того, образуются и нитриды (с азотом воздуха).
Большинство стандартных припоев вызывает при пай ке титана образование хрупких интер'.металлических сое динении.
Стандартные флюсы также не применимы для пайки титана, так как большинство из них образует с титаном химические соединения, которые служат помехой для пайки.
Эти особенности определяют условия, обязательные для качественной пайки титана: быстрый нагрев; при пои, не содержащие составных частей, образующих хруп кие соединения с титаном; особо тщательная защита титана от кислорода и азота воздуха; применение специ альных флюсов; пайка в защитной газовой среде высо кой чистоты; лужение деталей перед пайкой; пайка в ва кууме.
Пайку титана лучше всего вести при нагреве токами высокой частоты в высоком вакууме при давлении не выше 10~5 мм рт. ст. или в аргоне высшей очистки (сорт А).
В случае пайки в вакууме печь не должна загряз няться продуктами распада рабочих жидкостей насосов (лучшие результаты дает применение безмаслянных средств откачки), а в случае пайки в аргоне камера печи должна не продуваться аргоном, а предварительно откачиваться механическим вакуумным насосом по край ней мере до давления 10-2 мм рт. ст., а затем заполнять ся аргоном. Это необходимо во избежание перемешива ния аргона с остатками воздуха: титан при высоких тем пературах столь интенсивно соединяется с кислородом и
197
азотом, что ого применяют как насадку в очистительных устройствах для наивысшей очистки аргона и гелия.
При пайке на воздухе нагрев должен быть также на сколько возможно быстрым, а в качестве зашиты от окисления применяются специальные флюсы, состав ко торых приведен в табл. 7-7 [Л. 36].
Если пет возможности вести нагрев токами высокой частоты, то следует применять кислородо-ацетиленовое
Таблица 7-7
Химический состав флюсов для пайки титана, массовая концентрация, %
Номер флюса
LiC! AgCI КС1 L iF N aF NaCi M gCla CuCl KHFj SrCl KF
1 |
— |
10 |
3 6 |
9 |
|
45 |
|
|
|
|
|
2 |
— |
— |
2 2 |
— |
48 |
3 0 |
— |
— |
— |
.------ |
|
3 |
5 0 |
— |
— |
_ |
|
2 __ |
------- |
1 |
_ |
1 |
46 |
4 |
2 |
6 |
4 6 |
4 8 |
— |
_ |
------- |
_ |
_ |
— |
_ |
5 |
— |
— |
33 |
30 |
— |
— |
— |
_ |
37 |
— |
— |
22 |
|
|
|
||||||||
6 |
— |
— |
— |
— |
48 |
30 |
— |
— |
— |
— |
|
|
|
|
|
|
пламя тли аргоно-дуговую горелку с вольфрамовым электродом. При этом рекомендуются флюсы № I, 3, 5 и 6. Флюсы, указанные в табл. 7-6, применяются и при пайке в аргоне или гелии, если используют газы не очень высокой чистоты.
Пайка титана мягкими припоями производится после лужения оловом путем прогрева металла под слоем хло ристого олова при 400 °С. При этом обильно выделяется белый дым (ПСЦ), так что эту операцию необходимо производить в вытяжном шкафу. Вторым методом луже ния титана является погружение его в расплавленное олово при температуре 620 °С не менее чем на 15 мин.
Обязательным условием для всех видов пайки слу жит предварительная механическая или химическая очистка поверхности титана от окислов и нитридов, кото рая производится непосредственно перед папкой или лужением.
Глава восьмая
ПАЙКА МЕТАЛЛОВ СО СТЕКЛОМ И КЕРАМИКОЙ
8-1. ВОЗМОЖ НОСТЬ ПОЛУЧЕНИЯ ВАКУУМНО-ПЛОТНОГО СПАЯ
Получение вакуумно-плотного спая двух ме таллов, которые являются кристаллическими вещест вами, более или менее близкими ‘(в большинстве случа ев) по температурам плавления, требует соблюдения ря да обязательных условий т высокой квалификации рабо чего. Тем более вакуумно-плотная пайка металла со стеклом или с керамикой, резко отличающимися от ме талла структурой, тепловыми свойствами, химическим составом и механическими свойствами, требует особого внимания и неуклонного соблюдения ряда технологиче ских требований.
При высокой температуре стекло пластично, а при остывании становится хрупким. Поэтому для возможно сти спаивания стекла с металлом важно, чтобы стекло и металл имели близкие тепловые свойства. Иначе стекло при остывании спая как материал менее прочный, буду чи деформируемо спаянным с ним металлом, не вы держивает возникающих в спае напряжений и растрески вается или отделяется от металла.
Спаи металла и стекла с равными или очень близки ми температурными коэффициентами линейного расши рения называются согласованными и являются наиболее надежными. Спаи, в которых металл и стекло значитель но различаются по тепловым свойствам, называются напряженными или несогласованными. В конструкциях согласованных спаев нет надобности прибегать к особым ухищрениям, чтобы сохранить их целостность при осты вании и в дальнейшей их работе.
'Несогласованные надежные спаи возможно осущест вить только в том случае, если металлическая часть сое динения задумана -и выполнена так, чго она без опасных для стекла напряжений будет поддаваться тем деформа циям, которые будет претерпевать стеклянная часть в результате остывания или нагрева.
Большая часть сортов технического стекла имеет тем пературный коэффициент линейного расширения в пре-
I9?
делах |
от |
3 • I О-6 |
до 10-10-6 мм/(мм-°С). Для стекла |
||
этот коэффициент |
закономерно |
зависит |
от химического |
||
состава |
и |
может |
быть вычислен |
исходя |
из температур |
ных коэффициентов линейного расширения входящих в состав стекла окислов и их относительного количества.
Температурный коэффициент линейного расширения стекла с повышением температуры возрастает. При этом ом сначала растет медленно, а в области 450—550°С кривая роста имеет для большинства сортов резкий пе релом кверху. Поэтому нужно обращать внимание на то, к какой температуре относится данное значение коэффи циента.
Стекло способно принимать закалку, т. е. переходить в напряженное состояние при быстром охлаждении. Эти температурные напряжения в стекле остаются и после окончательного остывания и нередко служат причиной растрескивания его при самых незначительных внешних воздействиях и даже, на первый взгляд, без видимых
причин.
При медленном охлаждении затвердевшего стекла в определенных режимах остывания или при повторном нагревании до 450—550°С с последующим медленным охлаждением явления закалки, т. е. термические напря жения, снимаются и стекло приобретает нормальные ме ханические свойства.
Присутствие в стекле температурных напряжений можно определить при помощи полярископа — прибора, действующего по принципу использования явления двой ного лучепреломления в напряженном стекле.
с |
Многое из |
этого можно сказать и о спаях металла |
керамикой, |
за исключением закалки, способность |
|
к |
которой у |
керамики, по-видимому, выражена ме |
нее отчетливо п не может определяться с помощью по лярископа.
Вакуумная плотность спаев металла со стеклом зави сит также от состояния поверхности металла и степени насыщенности его газами или содержания в нем элемен тов, способных образовывать газ в процессе пайки со стеклом или при остывании спая.
Существует несколько гипотез, по-разному толкую щих природу спаивания металла со стеклом [Л. 37]. На наш взгляд, наибольшей убедительностью обладает окисная гипотеза. Стекло представляет собой сплав окис лов различных металлов, и нам кажется весьма вероят
но