
книги из ГПНТБ / Козелкин В.В. Основы инфракрасной техники учебник
.pdfгде /ф выражается в А;
е — заряд электрона (1,6-10-19 К );
h — постоянная Планка (6,625-10-34 Вт-с2); Ф — поток в Вт.
На использовании внешнего фотоэффекта основана работа фотоэлементов, фотоэлектронных умножителей, электронно-опти ческих преобразователен и телевизионных передающих трубок.
§4.4. ПРИЕМНИКИ С ВНУТРЕННИМ ФОТОЭФФЕКТОМ
1.Принцип действия и устройство
Вприемниках с внутренним фотоэффектом используют три основных явления, вызываемых излучением: фотопроводимость, фотогальванический и фотомагнитоэлектрпческий эффекты.
Наиболее широко в приборах ИК-техники используется явле ние фотопроводимости. На этом явлении основана работа при емников, получивших название фоторезнсторов, а также фотодио
дов и фототрнодов (фототранзпсторов).
ФОТОРЕЗИСТОРЫ
Фоторезисторы — это полупроводниковые приемники лучи стой энергии, изменяющие свою проводимость (сопротивление) при воздействии лучистого потока.
Для возникновения фотопроводимости энергия фотонов е (энергия возбуждения) принимаемого излучения должна быть больше ширины запрещенной зоны Ае материала полупроводни ка.* Математически это условие можно записать в виде
|
|
|
г>А |
he |
|
(4. 16 |
|
|
|
>-о |
|
||
|
|
|
|
|
|
|
Если это выражение сопоставить с формулой |
(4.13), |
то уви |
||||
дим, что |
предельная |
, |
обнаруживаемая фоторезистором длп- |
|||
на волны |
излучения |
he |
|
или, |
. |
|
х0 = — выражается в мкм |
если Де |
выразить в электрон-вольтах,
По формуле (4.17) всегда можно определить границу чувст вительности фоторезистора, взяв из справочника по полупровод никовым материалам значение Дв. Например, если необходимо использовать чисто германиевый приемник, то этим приемником можно фиксировать излучение с длиной волны до ?„о=1,5 мкм,
* В |
сп о м н и м , что |
то л ь к о при эт о м усл о в и и эл ек трон ы |
м |
огут п ерейти из в а |
л ентн ой |
зон ы в зо н у |
п р о в о д и м о ст и и с о зд а т ь ф о т о т о к (см . |
§ |
3 .4 ). |
ПО
так как германий |
имеет Ле = 0,825 |
эВ. Для кремниевого прием |
ника Ао = 1,1 мкм |
(Де=1,12эВ), а |
для сурьмяннстоиндиевого |
(InSb) Хо = 6,6 |
мкм (Де = 0,18 эВ при ^ = 20° С). При охлаждении |
|
InSb приемников ширина запрещенной зоны |
увеличивается дс |
|
0,23 эВ при 77 |
К, что приводит к Ао = 5,5 мкм. |
У германия, леги |
рованного цинком, наоборот, при охлаждении Де уменьшается до
0,033 эВ, что обеспечивает чувствительность этого приемника |
до |
||||||||||
/_о~40 мкм. |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
Фоторезнстор подключается ко входу усилителя по схеме на |
||||||||||
рис. 4.11. Величина снимаемого |
сигнала |
|
р |
|
|||||||
Uc определяется изменением напряже |
|
|
|
||||||||
ния на нагрузочном резисторе Ru при |
|
|
|
||||||||
изменении |
сопротивления |
Ry |
фоторезн- |
|
|
|
|||||
стора в момент |
облучения. Конденсатор |
|
|
|
|||||||
С служит разделительной емкостью, не |
|
|
|
||||||||
пропускающей |
на вход |
усилителя |
по |
|
|
|
|||||
стоянного |
тока |
от |
источника |
|
питания |
|
|
|
|||
U„. На вход усилителя поступает толь |
|
|
|
||||||||
ко |
переменная |
составляющая |
сигнала |
|
|
|
|||||
ДUс, возникающая |
за счет |
изменения |
|
|
|
||||||
RT |
приемника |
при |
приеме |
|
модули |
Р и с . 4 .1 1 . |
С х ем а п о д |
||||
рованного |
или |
импульсного |
|
сигнала. |
к лю чения |
ф о т о р е зи |
|||||
Если R„= RT, то значение |
|
|
|
|
ст о р а к у си л и т ел ю |
|
|||||
|
|
|
|
|
|
|
iU - |
- f |
* |
(4. |
18) |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
Относительное изменение сопротивления Д/?т/^т вычисляется |
||||||||||
|
|
|
^р |
D |
D |
|
|
|
|
|
|
из соотношения —L= —---- |
—, где Rcв — сопротивление в осве- |
R-r Rt
щенном состоянии.
В некоторых случаях применения фоторезисторов требуется знать кратность изменения сопротивления, т. е. отношение Rt/Rcb- В этом случае в справочных данных приводятся значения Rcв при освещенности фотослоя в 200 лк. Например, кратность из менения сопротивления отечественных сернистокадмиевых фоторезисторов типа ФС-К составляет 140, а селенистокадмиевых —
500.
Устройство и конструкция фоторезпсторов зависят от режима работы: без охлаждения пли с охлаждением. В зависимости от этого фоторезисторы подразделяют на неохлаждаемые и охлаж даемые.
Чувствительными элементами фоторезистора служат поликристаллическпе или монокристаллические химические соедине ния. К полпкристаллическим соединениям, применяемым для изготовления неохлаждаемых и охлаждаемых фоторезисторов, относятся: сульфид свинца PbS, селенид свинца PbSe и теллурид свинца РЬТе, от которых получили название сернистосвинцовые,
ш
селеннстосвшщовые и теллуристосвинцовые фоторезисторы. Для изготовления неохлаждаемых фоторезнсторов применяют суль фид кадмия CdS (сернистый кадмий) и селеипд кадмия CdSe (селенистый кадмии).
Технология изготовления фоточувствительных слоев из суль фида, селеинда и теллурида свинца представляет собой сложный и трудоемкий процесс. Фоточувствнтельные слои на основе солей свинца PbS, PbSe и РЬТе изготовляются в виде тонких пленок этих соединений, наносимых на стеклянные пли кварцевые под-
Р и с . 4 .12 . У ст р о й ст в о |
н е о х л а ж д а е м ы х ф о т о р е зн ст о р о в : |
||
о—сгрнпстосвинцового: |
6—селенистосвиицового |
типа |
СФ-1; |
/—«чувствительный слой: |
2—подложка; <3—колпачок; |
4—бу |
|
синка; 5—корпус: 6—электроды; 7—контакты; |
S—эпоксидная |
||
заливка; |
9—окно; 10—вкладыш |
|
|
ложки осаждением пз химического раствора этих солей (хими ческий метод) пли испарением в вакууме (физический метод). Толщина пленки (слоя) 0,5—2 мкм, размеры от 0,3X0,3 мм до 10X10 мм. После нанесения слоев в вакуумной установке на них напыляются путем золочения электрические контакты (эле ктроды) и слои поступают на очувствление. Операция очувствле ния происходит при определенной для каждого соединения тем пературе. Затем фотослои соответствующее время выдерживают ся (стабилизируются) п поступают на сборку. Конструктивное оформление фоторезнсторов самое разнообразное и зависит от места установки и типа аппаратуры, для использования в кото рой они предназначены. На рис. 4.12, а показано устройство неохлаждаемого сернистосвинцового фоторезпетра. Фоточувствительный слой /, нанесенный на кварцевую подложку 2, прпклеи-
112
вается к коваровому колпачку (корпусу) 3. Электроды 6, к кото рым подводится питающее напряжение, припаиваются к золо тым контактам 7 фотослоя. Один из электродов 6 («плюсовой») изолируется от корпуса с помощью «бусинки» 4. Второй элект род («минусовой») припаивается к корпусу. На колпачок наде вается наружная оправа (корпус) 5 с входным окном 9, который служит одновременно и фильтром, отрезающим ненужную часть спектра ИК-нзлученпя. В точках а—а колпачок и оправа свари ваются по окружности, после чего внутренняя часть колпачка за ливается эпоксидной смолой 8.
На рис. 4.12. о показано устройство более совершенного неохлаждаемого селенпстосвпнцового фоторезистора типа СФ4. Конструкция этого фоторезпетора разработана с использовани ем корпуса стандартного транзистора П-14. Фотослой 1, нанесен
ный на подложку 2, приклеивается к |
вкладышу |
(ножке) |
10. |
|
Электроды в выводятся наружу через изоляторы |
(бусинки) |
4. |
||
Вкладыш сверху закрывается корпусом |
5 с входным окном 9. |
|||
Корпус и ножка по окружности в местах б—б |
свариваются |
в |
||
вакуумной установке. |
|
|
|
|
Из монокрпсталлических приемников наибольшее применение |
||||
в ПК-технике получили сурьмяннстоиндиевые |
фоторезнсторы |
InSb (антнмонид индия). Антнмонид индия имеет при комнатной температуре Ае = 0,18 эВ, что обеспечивает Яо = 6,6 мкм. При ох лаждении ширина запрещенной зоны увеличивается до 0,23 эВ, вследствие чего }.0 уменьшается до 5,5 мкм [см. формулу (4.17)]. Антнмонид индия выращивается в виде монокристаллов, которые разрезаются на пластины соответствующих размеров. Пластины шлифуются п анодным травлением доводятся до толщины около 10 мкм. Для подачи напряжения к пластине припаиваются инди евые электроды. Высокая чувствительность обеспечивается чисто той материала и высокой подвижностью носителей заряда, кото рыми в аптпмонпде индия служат дырки. Фоторезнсторы из антимонида индия чаще всего используют при глубоком охлаж дении до 77 К. При этой температуре фоторезнсторы способны фиксировать Фп~6-10~10 Вт/Гц'г п имеют Дт=Л0 кОм, т ^ 2 мс, напряжение шума £/ш~ Ю-8 В, обладают высокой стабильностью п надежностью п выдерживают большую облученность.
Кроме фоторезпеторов из антимонида индия, изготовляются фотовольтаические п фотомагнптные приемники, о которых будет рассказано ниже.
Для работы в области длин волн 8—40 мкм из монокрпстал лических соединений используется так называемый легирован ный германий.
Легирование состоит в добавке к германию примеси из золо та (Аи), цинка (Zn) пли меди (Си) во время выращивания мо нокристалла. За счет добавок (легирования) примесей в герма нии уменьшается энергия Ае, что приводит к увеличению Яо. Так, легирование германия золотом (обозначается G e: Аи) увеличи-
ИЗ
вает границу чувствительности до 9 мкм (Де<;0,15 эВ), порог чувствительности при охлаждении до 77 К составляет в макси
муме (Хтах=5 мкм) примерно 5,б-10_12Вт/Гц'/= |
при <7п=1 |
мм2. |
||
В германии, легированном цинком (Ge:Zn), |
Ае= 0,33 эВ, |
что |
||
обеспечивает чувствительность приемника |
до 40 мкм. |
Однако |
||
при этом для достижения высокой чувствительности |
требуется |
|||
охлаждение до температуры жидкого гелия |
(4,4 К). |
При этом |
Фп = 10-11 Вт/Тц'/2 при Яшах~36 мкм. Постоянная времени леги рованного германия не превышает 0,01 мкс.
Добавка меди (Ge : Си) обеспечивает прием излучений с дли ной волны до 30 мкм с Фп= 4-10~12 Вт/Гц' = при Лтах = 20 мкм и рп=1 мм2. Работает такой приемник также при температуре жидкого водорода или гелия.
Германий, легированный Zn или Си, требует глубокого ох лаждения до температуры 4—20 К, что существенно усложняет конструкцию приемников.
ФОТОГАЛЬВАНИЧЕСКИЕ ( ФОТОВОЛЬТАИЧЕСКИЕ) ПРИЕМНИКИ
Существует и вторая разновидность приемников с внутрен ним фотоэффектом — это так называемые вентильные, или фо тогальванические, приемники. Принцип действия этих приемни
ков заключается в следующем |
(рис. 4.13). Если взять два мате |
||||||||||
риала |
с разной проводимостью, |
например |
полупроводники |
с |
|||||||
|
|
|
|
р- и «.-проводимостями, |
то при |
||||||
|
|
|
|
их соединении образуется |
топкий |
||||||
|
|
|
|
запирающий слон р—«-перехода. |
|||||||
|
|
пл |
р@® |
Этот слой |
обладает |
большим |
со |
||||
|
|
противлением и свойством одно |
|||||||||
|
|
е ь ? 0 © |
|||||||||
|
|
©^1 ® © |
сторонней проводимости. В по |
||||||||
|
|
лупроводниковых |
фотоприем |
||||||||
|
|
|
|
никах |
он выполняет |
роль |
венти |
||||
|
|
|
|
ля, |
поэтому такие приборы иног |
||||||
|
|
|
|
да называют вентильными. Из-за |
|||||||
Р и с. 4 .13 . С х ем а |
ф о т о га л ь в а н и ч е |
этого |
слоя в нормальном термо |
||||||||
ск ого |
(в ен т и л ь н о го ) прием ни к а: |
динамическом |
состоянии |
элек |
|||||||
А, |
Б — электроды: п, р —полупроводники |
троны |
е |
из |
/г-полупроводника, |
||||||
с |
п- и |
р-проводимостями; Ф—поток |
а дырки д из р-полупроводнпка |
||||||||
|
излучения; 3—запирающий слой |
||||||||||
|
|
|
|
не |
могут |
перемещаться навстре |
|||||
|
|
|
|
чу друг другу. |
|
|
|
|
При облучении одного из полупроводников, например с «- проводимостыо, его электроны, поглощая энергию излучения, пе рейдут в возбужденное состояние, получив избыток энергии. Если мощность излучения достаточно велика, то энергия возбужден ных электронов увеличится настолько, что они преодолеют со противление запирающего слоя и начнут перемещаться в сторону положительного заряда, т. е. в р-полупроводник. Положитель-
114
пые заряды-дырки этого полупроводника, не получив дополни тельной энергии, не могут преодолеть сопротивление запираю щего слоя и перейти в «-полупроводник. Следовательно, в «-по лупроводнике из-за ухода электронов возникнет избыток дырок— положительных зарядов, а в правой части вследствие притока электронов — избыток отрицательных зарядов. Между электро дами А п Б появится разность потенциалов, или фото-э.д.с.*. Ес ли в цепь электродов А и Б включить нагрузку, то в цепи по явится ток. Приемники, преобразующие лучистую энергию в электрическую без приложения напряжения, называют фото гальваническими пли фотовольтаическими.
Примером фотовольтаического приемника служит приемник из антпмоиида индия (InSb); « — /7-переход в InSb получают пу тем диффузии или вплавления в монокристалл антимонида ин дия цинка или кадмия. 'Фотогальванические приемники из InSb обладают высокой чувствительностью и мало инерционны. Так,
например, при |
охлаждении до 77 К |
можно получить |
Фп = 4,3х |
X 10~10 Вт/Г'ц1/2 |
при 5,3 мим, тг-^1 мкс. Приемник способен за |
||
регистрировать |
разность температур |
окружающей |
среды до |
0.1° С. |
|
|
|
ФОТОДИОДЫ И ФОТОТРАНЗИСТОРЫ |
|
|
|
Фо т о д и о д |
(Фд) — это фотогальванический приемник, об |
ладающий свойством односторонней проводимости при воздей ствии лучистой энергии.
Фотодиод, включенный в цепь без приложения к электродам А и Б напряжения, работает в вентильном режиме. При прило жении напряжения к электродам А и Б в прямом направлении (плюс на электроде Б, минус на А) электрическое поле р—«-пе рехода увеличивается н условия перехода зарядов из освещен ного слоя облегчаются, вследствие чего ток резко возрастает.
При изменении полярности ток становится равным нулю. Фо тодиод в этом случае работает в фотодиодном режиме.
На рис. 4.14 показаны схемы включения фотодиода при раз личных режимах и получающиеся при этом вольт-амперные ха рактеристики, т. е. зависимости тока i от внешней разности по тенциалов U на «—/з-переходе.
На рис. 4.14, а видно, что при Ф= 0, т. е. когда фотодиод не освещается, кривая изменения тока проходит через начало ко ординат, т. е. тока, создаваемого излучением, нет. Точки пере сечения кривых с осью токов соответствуют режиму короткого замыкания (/?„■-=0), а при пересечении с осью напряжений — режиму холостого хода (У?„ = оо). Рабочий режим выбирается ис ходя из максимальной мощности Р, выделяющейся в цепи на
грузки |
Ru. Зная Р и задавшись |
величиной тока t't |
или напря |
* Ф ак тически ф о т о -э .д .с . в о зн и к а ет в |
р е зу л ь т а т е в ст р еч н о го |
д в и ж е н и я э л е |
|
к тр он ов |
и ды р ок . |
|
|
115
жения U1, которые нужно получить на выходе ФД, можно нан-
и~ |
о |
тп /?„, так как Я = |
,1ЛИ Я = /1/т’|Г |
*М1
Ф о т о т р и о д (фототранзнстор) ФТ представляет собой по лупроводниковый приемник, состоящий из трех чередующихся
Р ис. 4 .14 . С х ем а вкл ю чен ия ф о т о д и о д о в и п ол ь т -ам п ер н ы е х а рак тери сти к и :
а —'В вентильном режиме; С—в фотодиодном
областей проводимости р и п: р—п—р или п—р—п. Как и в по лупроводниковом транзисторе, фототриод имеет коллектор, эмит тер и базу. База обычно служит приемной площадкой излуче ния. Работает фототриод по принципу обычного полупроводни-
Р н с. 4 .15 . У сл о в н о е |
о б о зн а ч ен и е |
( а ); сх ем а |
к он стр ук ц и и |
( б ); сх ем а в к л ю ч е |
ния (в) ф о |
т о т р н о д а ; Б — |
б а за ; Э — |
эм и тт ер ; К — |
к о л л ек то р |
116
нового триода, в котором роль управляющего тока выполняет попадающее на базу излучение. На рис. 4.15 показаны условное обозначение, принципиальная схема конструкции и схемы вклю чения фототриода.
Ф о т о м а г и и т о э л е к т р н ч е с к и е (ФМЭ) приемники ос нованы на использовании эффекта Холла, который заключается в следующем. Если однородную полупроводниковую пластинку (рис. 4.16) поместить в магнитное поле с напряженностью Н, на правленной по оси х, и пропустить че рез нее ток /, направление которого перпендикулярно направлению маг нитного поля, то между точками А и Б, симметрично расположенными на плоскостях а и б, возникнет разность потенциалов
U = Cx ± j - , |
(4.19) |
1 де Сх |
постоянная |
Холла, I дли- |
4.16. К п р и н ц и п у |
ра |
||||
на пластинки. |
потенциалов |
возникает |
боты ф о т о м а гн п т о эл ек тр п - |
|||||
Разность |
ч еск о го |
п ри ем н и к а |
|
|||||
в результате |
воздействия |
магнитного |
|
тока |
i |
вдоль |
||
поля на движение электронов; при направлении |
||||||||
осп у |
электроны под |
воздействием магнитного |
поля |
отклоня |
ются вверх и заряжают отрицательно верхнюю плоскость пла
стинки относительно нижней. Если |
вместо |
пропускания тока |
|
переднюю поверхность |
кристаллической пластинки, например, |
||
из сурьмянистого индия |
(InSb), |
облучить |
ИК-излучением, то |
в поверхностном слое образуются электроны и свободные дыр ки, которые начнут диффундировать внутрь кристалла. Под воз действием магнитного поля электроны и дырки начнут откло няться в противоположные стороны: электроны вверх, а дырки вниз. Между поверхностями а и б возникнет фотомагнитная э. д. с. Магнитное поле создается постоянным магнитом, внутрь которого помещают чувствительный слой. Фотомагнитоэлектрический приемник, так же как и вентильный фотодиод, не требу ет для работы источника питания, что является большим досто инством этого типа приемников. Работают ФМЭ приемники без охлаждения.
2.Параметры и характеристики приемников
Вприборах инфракрасной техники приемник облучается или постоянным потоком излучения, или прерывистым, когда излу чение поступает на приемник отдельными «порциями», последо
вательно следующими друг за другом. Достигается это с по мощью устройств, которые периодически, по определенному за кону, закрывают доступ излучения к приемнику. Изменение по
117
тока излучения от максимума до минимума называется модуля цией. Частота, с которой поступают «порции» излучения на приемник, называется частотой модуляции и обозначается че рез /„.
Все приемники излучения с внутренним фотоэффектом неза висимо от принципа их действия и устройства можно охаракте ризовать рядом общих параметров и характеристик.
ПАРАМЕТРЫ
Параметр — это величина, единственное значение которой характеризует определенное свойство приемника. Параметр мо жет быть измерен непосредственно или вычислен по данным из мерений других величин. Основными параметрами приемников лучистой энергии являются:
—внутреннее сопротивление RT\
—постоянная времени (инерционность) т;
—уровень шумов и ш\
—интегральная чувствительность 5;
—порог чувствительности Фг;
—обнаружнтельная способность D* пли «нормированный» порог чувствительности.
Фотоэлектронные приемники характеризуются еще величиной
темпового тока. |
п р и е м н и к а •— это |
В н у т р е н н е е с о п р о т и в л е н и е |
|
сопротивление чувствительного элемента |
(слоя) при отсутствии |
облучения.
Иногда для оценки приемников используют кратность изме нения сопротивления, которая равна отношению величины /?т к сопротивлению приемника при определенной освещенности и тем пературе 20+5° С. Величина сопротивления приемника опреде ляет требования к входной схеме усилителя сигналов, снимае мых с приемника.
От сопротивления слоя зависит уровень шумов приемника. Гемновое сопротивление у большинства полупроводниковых при емников нестабильно по времени и сильно изменяется в зависи мости от окружающих условий. Например, на рис. 4.17 показана зависимость темнового сопротивления сернистосвинцовых фото резисторов от температуры слоя. Из рисунка видно, что при ох лаждении слоя от комнатной температуры (293 К) до темпера туры твердой углекислоты (195 К) внутреннее сопротивление изменяется почти в 6 раз, а при охлаждении до температуры жидкого азота (77 К) 7?т увеличивается в 100 раз. Изменение Rr сильно сказывается на изменении сигнала, снимаемого с при
емника.
Шу м ы п р и е мн и к о в . Если приемник подсоединить к ис точнику питания, то в цепи приемника, состоящей из последова тельно соединенных источника питания Un и приемника /?т, все
118
гда будут существовать колебания (флюктуации) напряжения. Хаотические сигналы с переменной амплитудой и частотой, слу чайно возникающие в цепи приемника, называются шумами. Ве личина шумов оценивается обычно среднеквадратичным значени ем его амплитуды. Основными видами шумов являются следую щие.
Т е п л о в ы е шумы, которые вызываются хаотическим теп ловым движением свободных электронов. В результате такого движения число электронов, перемещающихся в одном направ лении, не равно числу электронов, движущихся в противоположном направлении; разница создает на
пряжение шума Ur. Величина теп ловых шумов может быть найдена по известной из электроники фор муле Найквиста
U, 4Ш ?тд /, (4. 20)
где k — постоянная Больцмана,
равная 1,38-10-23 |
ДжХ |
X град-1 = 1,38-10-23 |
ВтХ |
Хс/град; |
|
Т— температура слоя в граду сах Кельвина;
Л/ — полоса частот, |
в которой |
|
|
замеряют флюктуации; |
Р и с . 4 .1 7 . Г р а ф и к и зм ен ен и я |
||
UT измеряется в вольтах. |
Rт сер н и с т о с в н н ц о в о го ф о |
||
Т о к о в ы е |
шу м ы |
вызываются |
т о р е зи с т о р а в за в и си м о ст и |
о т т ем п ер а т у р ы сл о я |
|||
изменением |
сопротивления цепи |
|
приемника при протекании темнового тока, возникающего вследствие теплового движения электронов и их рекомбинации с положительными носителями (дырками); на эти шумы накла дываются шумы контактов электродов. Напряжение токовых шумов Ui можно найти из соотношения
|
|
|
(4.21) |
где |
— постоянная для |
каждого типа приемников; для сер |
|
|
нистосвинцовых |
фотосопротивлений |
10-114-10-12; |
/ — частота настройки усилителя.
Зависимость £/,- от размеров чувствительного слоя определяется следующим соотношением:
ц |
kJV |
(4. 22)• |
|
1 |
аЧз |
||
|
|||
• где ко — постоянная, зависящая от материала |
чувствительного |
||
слоя, пропорциональная примерно 1// |
(поэтому иногда |
119