Добавил:
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:

книги из ГПНТБ / Шефтель И.Т. Терморезисторы. Электропроводность 3[[i]]d[[ i]]-окислов. Параметры, характеристики и области применения

.pdf
Скачиваний:
62
Добавлен:
25.10.2023
Размер:
17.29 Mб
Скачать

190 ЭЛЕКТРОПРОВОДНОСТЬ СИСТЕМ ОКИСЛОВ [ГЛ. IV

температурную зависимость а и стремление к насыщению при низких температурах, не наблюдавшееся на опыте.

Формулы типа (4.36) и (4.38) принципиально не позволя­ ют понять изломов в ходе кривых а = ср (ИТ) и участков, на которых а = const. Далее непонятно, почему измене­ ния характера температурной зависимости а для ряда материалов практически не отражаются на температурной зависимости электропроводности. Кроме того, реакция (4.37) приводит к одновременному образованию в окта­ эдрах разновалентных ионов марганца и никеля. Для со­ гласования расчетов с экспериментом приходится прене­ брегать возможностью обмена электроном между разновалентными ионами никеля. Таким образом, предположе­ ние, что температурная зависимость а обусловлена только зависимостью концентрации носителей от температуры, не позволяет понять многие экспериментальные факты.

По-видимому, для обсуждаемых материалов нельзя пренебрегать вкладом в термо-э.д.с, возникающим из-за движения носителей заряда, в связи с чем первые два чле­ на в формуле (2.28) должны быть существенными. На это указывает также и то, что коэффициент Ъ в формуле (4.5) составляет для однофазных материалов 1/10—1/20 от АЕ для электропроводности в согласии с оценкой, приве­

денной в [63], о которой говорилось в

§ 2.3 при

обсужде­

нии формулы (2.28). Такой подход

позволяет

предполо­

жить, что соотношение разновалентных катионов одного и того же металла в решетке «марганцевых» полупровод­ ников в первую очередь определяется режимом термиче­ ского синтеза. С непостоянством этого режима могут быть связаны некоторые различия в температурных зависимо­ стях а и а отдельных образцов из-за дефектов, образую­ щихся в кристаллической решетке, и возможного образо­ вания примесных кристаллических фаз. Реакции типа (4.34) и (4.37), по-видимому, должны требовать значитель­ ной энергии активации, в связи с чем вероятность их осу­ ществления будет малой, и температурной зависимостью распределений типа (4.26) в первом приближении можно пренебречь. Тогда гиперболическая зависимость а от температуры должна определяться вторым членом в фор­ муле (2.28). В этом случае, как уже указывалось в § 2.3, знаки носителей заряда и а могут не совпадать, так как в формулу (2.28) входят члены с разными знаками.

§ 4.4]

РОЛЬ

ВАЛЕНТНЫХ СОСТОЯНИЙ КАТИОНОВ

191

Приведенные

соображения, а также роль марганца

в проводимости марганцевых полупроводников подтвер­ ждаются сравнением электропроводности и термо-э.д.с.

таких соединений со структурой типа

кубической шпине­

ли как 1ЛМп2 04 и N i M n 2

0 4 , которые

имеют

качественно

идентичные зависимости

о = / (1/Т)

и

а

=

ф (1/Т)

(рис. 52). Как показали Викхэм и Крофт

[176],

шпинель

L i M n 2 0 4 можно представить в виде

 

 

 

 

L i + [ M n 3 + M n 4 + ] ОГ.

 

 

(4.40)

Валентные состояния ионов марганца в (4.40) были экспе­ риментально подтверждены [233] (см. рис. 58). В октаэдрических позициях (4.40) находятся только разновалентные ионы марганца, и здесь не приходится говорить о тем­ пературной зависимости данного распределения. Поэтому электрические свойства L i M n 2 0 4 и N i M n 2 0 4 (см. формулу (4.33)) должны определяться только реакциями элект­ ронного обмена между Мп0 кТ и Мн0 кТ . Непонятным, од­ нако, остается, почему энергии активации электропровод­

ности M n [ N i M n ] 0 4 и L i [ M n 2 ] 0 4 одинаковы, хотя в октапозициях литий-марганцевой] шпинели нет ионов никеля.

При предположении существования в никель-марганце­ вых полупроводниках только одного типа носителей заря­

да

не удается достаточно просто понять сложный ход

кривых а = ф {UT).

Наличие хотя бы двух типов носите­

лей уже позволяет

объяснить

незначительные

изломы

в

зависимостях l g о* = f (1/Т)

(если имеются две

экспо­

ненты с близкими параметрами) и температурные

зависи­

мости а. Как указывалось в § 2.3, существование не­ скольких видов носителей может быть вызвано наличием в решетке различных типов энергетически эквивалентных мест для ионов М п о к т в зависимости от числа ближайших к нему ионов других металлов или дефектов (например, пустых узлов в катионной или анионной под решетках).

В заключение укажем, что даже на уровне модельных представлений для Зй-окислов сложного состава не удает­ ся получить полную ясность в возможных качественных представлениях о механизме электропроводности. Остается ряд невыясненных и дискуссионных вопросов. Необходи­ мо проведение комплексных физико-химических исследо­ ваний и электрических измерений на хорошо синтезиро­ ванных монокристаллах. Дополнительные трудности

192

ЭЛЕКТРОПРОВОДНОСТЬ СИСТЕМ окислов

[ГЛ. I V

связаны с тем, что теория электропроводности^ З^-окислах еще мало разработана для больших концентраций носи­ телей заряда. Например, когда количества разповалеитных катионов в эквивалентных местах решетки примерно равны, остается неясным, что следует понимать под элек­ тронной и дырочной электропроводностью.

Был рассчитан эффективный заряд атомов металла в простых окислах марганца и показано, что он увеличи­

вается при повышении степени окисления

[233]. Для МпО

этот заряд равен 1,2, для М п 2 0 3 — 1,4

и

М п 3 0 4 — 1,7.

Ионность химической связи в этих окислах

(рассчитанная

как отношение эффективного заряда к формальной валент­ ности) уменьшается, а следовательно, ковалентная состав­ ляющая возрастает при увеличении степени окисления.

По

данным [233] ионность связи для МпО составляет

~

60%, М п 2 0 3 ~ 47% и Мп0 2 ~ 4 2 % . Изменение приро­

ды химической связи также должно оказать влияние па электропроводность, хотя ковалентность еще не учитыва­ лась при рассмотрении электрических свойств окислов марганца, кобальта, никеля и меди.

Г Л А В А V

ПОВТОРНАЯ ТЕРМООБРАБОТКА КАК СПОСОБ РЕГУЛИРОВАНИЯ ЭЛЕКТРОПРОВОДНОСТИ ПОЛУПРОВОДНИКОВ В СИСТЕМЕ

ОКИСЛОВ МАРГАНЦА, КОБАЛЬТА, НИКЕЛЯ И МЕДИ

В § 4.1. было показано, что двойные и особенно трой­

ные «марганцевые» системы окислов обеспечивают значи­ тельно лучшую воспроизводимость электрических харак­

теристик полупроводниковых

материалов в сравнении

с простыми окислами типа M e x

O v , но все же часто она еще

недостаточна. Для создания терморезисторов с возможно

меньшим разбросом по величинам сопротивления и его

температурного коэффициента, в соответствии с современ­ ными требованиями техники, крайне важно разработать

способы тонкого управления величиной электропроводно­ сти полупроводника. В работах [45, 214], по-видимому,

впервые было предложено использовать для решения

этой задачи физико-химическпе процессы, протекающие

в реальных поликристаллических полупроводниках слож­ ного состава при различных температурах. Ниже будут рассмотрены основные результаты исследований, прове­

денных в указанном направлении.

§ 5.1. Тердшческая устойчивость «марганцевых» полупроводников в вакууме

Для полупроводниковых материалов, применяемых

при изготовлении терморезисторов, очень существенна их

термическая стабильность, так как T P предназначены для работы при повышенных температурах и могут использо­

ваться в различных газовых средах, а также в вакууме.

7 II. Т. Шефтел|,

194 УПРАВЛЕНИЕ а ПОВТОРНОЙ ТЕРМООБРАБОТКОЙ [ГЛ. "V

Актуальность этого вопроса для «марганцевых» полупро­ водников ясна также из того, что структура многих из

них

только метастабильна при

комнатной температуре

(гл.

I I I ) .

 

Температурная зависимость

электропроводности «мар­

ганцевых» полупроводников малочувствительна к изме­ нениям их стехиометрического состава (§ 4-3). Рассмот­ рим влияние термообработки образцов в вакууме на элект­

ропроводность

и кристаллическую структуру, которая

может привести не только к изменениям

стехиометрии,

но и к более

значительной термической

диссоциации

материала. Основной комплекс исследований про­ водился на медно-марганцевых оксидных полупровод­ никах [239].

Кристаллическая структура медно-марганцевых полу­ проводников после термообработки в вакууме ~ 10~4 мм рт. ст. при различных температурах приведена в табл. 13. Данные рентгеноструктурного анализа хорошо согласу­ ются с результатами микроскопического исследования. Из диаграммы фазового равновесия системы окислов меди и марганца (§ 3.2) следует, что при медленном охлажде­ нии твердые растворы могут частично распадаться. В свя­ зи с этим часть образцов закаливалась от температуры

обжига (1080 °С) и

вжигания серебряных контактов

(840 °С — 20 мин),

а часть — медленно охлаждалась.

Результаты, полученные на медленно охлажденных н зака­ ленных образцах, оказались качественно одинаковыми. Это позволяет рассмотреть данные только для медленно охлажденных образцов. Измерения знака термо-э.д.с. по­ казали, что после термообработки в вакууме все материалы сохранили дырочную проводимость.

Электропроводность измерялась двух- и четырехэлектродным (компенсационным) методами. Температурная за­ висимость электропроводности материалов, приведена на рис. 60Рис. 61 отражает влияние термообработки в ва­

кууме на величины

о 2 5

(при 25 °С) и энергию

активации

электропроводности

АЕ,

рассчитанную по измерениям а

в примерном диапазоне от 300 до 500 °К.

 

Термообработка

в вакууме при 700—900 °С

приводит

к термической диссоциации материала (табл. 13): струк­ тура шпинели переходит в структуру креднерита с мень­ шим содержанием активного кислорода. Было устаиовле-

§ a.ll СТОЙКОСТЬ МАРГАНЦЕВЫХ СОСТАВОВ В ВАКУУМЕ

195

Т а б л и ц а

13

Кристаллическая структура медно-маргапцевых полупроводников после термообработки в вакууме

Номер состава

Величина атомного отноше­ ния Cu/Mn

Режим

Состап кристаллических фаз до

термообработки')

дап 11 ым реитгеиострукту рного

анализаг)

5

1,33

Воздух,

 

840 °С —

Хорошо сформированная струк­

 

 

20 мин,

медленное

тура

 

креднерита

 

CuiMn-iOs

 

 

охлаждение

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Вакуум,

 

700°С

Структура

креднерпта3 )

 

 

 

Вакуум,

 

800°С

Структура

креднерита 3 )

 

 

 

Вакуум,

 

860 °С

Структура

креднерита

 

 

 

 

Вакуум,

 

920 °С

Структуры креднерита л М113О4

11

0,5

Воздух,

 

840 °С —

Структуры

кубической шпине­

 

 

20 мин,

медленное

ли

С11МП2О4,

креднерита и

 

 

охлаждение

 

примесь

Моз04

 

 

 

 

 

Вакуум,

 

700 °С

Структуры

 

креднерпта

и

 

 

Вакуум,

 

830 °С

МпзО.13)

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Структуры креднерита и МП3О4

15

0,25

Воздух,

 

840 °С —

Структуры

МпзСч

п

кубиче­

 

 

20 мин,

медленное

ской

шпинели

С11МП.2О4

 

 

 

охлаждение

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Вакуум,

 

700 °С

Структуры

М113О4

п деформи­

 

 

Вакуум,

820 °С

рованного

креднерпта3 )

 

 

 

Структуры

МщСч

и деформи­

 

 

 

 

 

 

рованного

кредперпта

 

 

 

 

Вакуум,

 

920 "С

Структуры

МпзО.1

н деформи­

 

 

 

 

 

 

рованного

креднерита

 

 

J )

Время

прогрева

с

вакууме при каждой

из

указанных

температур — 3 ч, охлаждение образцов — закалкой.

 

 

 

2 )

Кристаллические

фазы перечисляются

в порядке

количе­

ственного содержания

 

их в материале.

 

 

 

 

 

 

3 )

Рентгенографически

установлено

для поверхности

об­

разцов.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

но, что ниже 600 °Сэта реакция не протекает даже в ваку­ уме ( — Ю - 4 ммртп. ст.), не говоря уже о воздушной среде. Процесс диссоциации начинается с поверхностных слоев образцов.

Прогрев в вакууме при 600 °С приводит к аномальному для оксидного дырочного полупроводника увеличению электропроводности (рис. 60 и 61). Детальнее это явление,

7*

to

Рис. 60. Температурные зависимости электропроводностей составов 5 (см. табл. 9) (а), И (б) и 15 (в)

после термообработки в вакууме при различных температурах.

1 — после прокалки на воздухе при 840 °С; после прогрева в вакууме; 2— при 600 °С; 3,4 — при 700 "С; s, в — при 800 °С для состава 5, при 830 °С для состава 11 и при 820 °С для состава 15; 7,8— при 860 "С. Точки четырехэлск-

тродныс измерения, кресты — двухзлектродные измерения.

§ 5.1] СТОЙКОСТЬ МАРГАНЦЕВЫХ СОСТАВОВ В ВАКУУМЕ 197

связанное с изменениями структуры материала, а также с изменением соотношения металл-кислород в межкри­ сталлических прослойках, обсуждается в § 5.2 и 5.3.

\ 1

VV

\ \

\

-

\

 

 

\"

 

 

10'

 

 

 

 

 

 

V

^ \

х\

 

ч\

 

l\\

5\\

 

\

\\

\\ \ \

 

\

 

\

 

\ X,

 

\

 

 

 

 

яг

 

\/5

 

 

 

 

0,5

 

/

а/!

 

 

feci

4

 

03

 

 

\

\

0,2

 

 

 

\

0,7

Воздух Вакуум

Вакуум Вакуум

вакуцм Газобоя среда'-

800

600

700

800

900

7°, С

гомин

медленное

охлаждение

Рис. 61. Влияние термообработки при различных температурах в вакууме на величины электропроводности (при 25 °С) и энергии ак­ тивации ДЯ для составов (см. табл. 9) 5, 11 и 15 (диаграмма).

Кружки — четырехэлектродные измерения; кресты — двухэлектродные измерения.

Существенно подчеркнуть, что результаты измерений элекгропроводности после такой термообработки как двухэлектродным (ст2 ), так ичетырехэлектродным ( 0 4 ) методами практически совпадают.

Повышение температуры прогрева в вакууме до 700 °С, как правило, приводит к резкому различию 0 2 и сг4. Эти результаты свидетельствуют о различии свойств поверх-

198

УПРАВЛЕНИЕ а ПОВТОРНОЙ ТЕРМООБРАБОТКОЙ 1.ГЛ. V

постных и глубинных слоев образцов из-за термической диссоциации материала, связанной с потерей кислорода, которая начинается, как уже указывалось, с поверхности образцов. Такая термообработка вызывает значительное увеличение АЕ и уменьшение электропроводности. В § 4.4

указывалось, что электро-

проводиостг

креднерита

C u 2 M n 2 0 5 ,

в

отличие

от

шпинели

C u M n 2 0 4 ,

по-

видимому,

в

 

основном

зависит от

отклонении

его

состава

от стехпометричес-

кой

формулы.

 

Интенсив­

ность

 

процесса

возраста­

ет сувеличением

темпера­

туры прогрева. Вследствие

этого

 

после

термообра­

ботки

в

вакууме

при

800—900 °С сильно умень­

шается

не

только

о 2 ,

но и

ст4,

а величины а 2

„ ,„„ пп ло„ спп ™п оппЪ ст4

начинают сближаться

 

/00

200 300 400 .ПО 600 700 800

4

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

ггс

 

ДРУГ с другом.

 

с

диа­

Рис. 62.

Влияние

прогрева

прп

В

соответствии

различных температурах

в ваку­

граммой

равновесия

на

уме

порядка 1СП4

мм рт.

ст.

на

величину сопротивления образцов

воздухе

кристаллических

медно-кобальто-маргавцевых ок­

фаз

в

системе

M n 3 _ K C o K 0 4

сидных полупроводников.

 

(рис.

23) составы

с х <

1,5

Составы материалов (Си : Со

: Мп) в

со

структурой

шпинели

ат.%;

i — 36 : 14 : 50; 2— 30 : 30 : 40;

должны

диссоциировать

3

30 : 22 : 48;

4 — 20

: 40 : 40;

5— 7 : 45 : 48; 6 — 3 : 40 : 57.

 

и переходить

в

твердые

 

 

 

 

 

 

растворы типа МеО

толь­

 

 

 

 

 

 

ко при

температурах

вы­

ше ~1200 °С. Было установлено, что

для этих

составов

даже термообработка в вакууме 10~4

мм рт. ст. при 900—

1000 °С не приводит к диссоциации

шпинели

и

переходу

ее в соединение типа МеО. В результате

такой

термооб­

работки

наблюдается

аномальное

для

оксидного

ды­

рочного

полупроводника

увеличение электропроводнос­

ти (так же как и для медно-марганцевых

материалов

пос­

ле прогрева их в вакууме

при

600 °С) [45]. Например,

для

кобальто-марганцевых

составов

9

«

 

0,39)

§ 5.1]

СТОЙКОСТЬ МАРГАНЦЕВЫХ

СОСТАВОВ В ВАКУУМЕ

199

и 11 ( i л

0,33) (табл. 9) величины а 2 0 (при 20

°С) составля­

ли соответственно 1,6-10- 4

и

5• 1 0 - 5 ом-1-см'1.

После

прогрева в вакууме образцов

состава 9 при 900 °С —

1 ч и

состава 11 при 1000° С — 1 ч

величины сг20

соответственно

увеличились до 4,4• Ю - 4 и 31 - Ю - 3 ом^-слГ1.

Измерения

двух-

и

четырех электродным

методами

давали

прак­

тически идентичные результаты. Знак термо-э.д.с. до и после термообработки в вакууме соответствовал дырочной электропроводности.

Характер влияния термообработки в вакууме на электропроводность медно-кобальто-марганцевых полупро­ водников зависит от их катионного состава (рис. 62). Вре­ мя прогрева при каждой температуре, указанной на рис. 62, 1 ч. На рис. 62 отложены усредненные значения коэф­ фициента изменения сопротивления, определявшиеся по измерениям 5—10 образцов каждого состава. Этот коэффи-

циент равен - ~ , где В2о и -^го величины сопротив­

ления до и после термообработки.

Исследовались составы с постепенно уменьшающимся содержанием меди, увеличивающимся содержанием ко­ бальта и примерно постоянным количеством марганца (рис. 62). На концентрационном треугольнике они зани­ мают различные положения от медно-марганцевой до ко- бальто-маргаицевой стороны. Сопротивления измерялись двухэлектродиым методом.

Из рнс. 62 следует, что при температурах примерно до 600 °С термообработка в вакууме приводит к уменьше­ нию величин сопротивления образцов, так же как и для двух ранее рассмотренных групп материалов. При более высоких температурах такая термообработка вызывает значительное увеличение сопротивления образцов составов, близких к медно-марганцевой стороне (кривая 1, рис. 62) и занимающих центральную часть концентрационного тре­ угольника (кривые 2—4), в то время как для составов, близких к кобальто-марганцевой стороне (кривые 5 и б), сопротивление уменьшается. Таким образом, по характе­ ру влияния термообработки в вакууме на электропровод­ ность медно-кобальто-марганцевых полупроводников, они в зависимости от состава приближаются к медно-маргап- цевым или кобальто-марганцевым материалам,

Соседние файлы в папке книги из ГПНТБ