
книги из ГПНТБ / Шефтель И.Т. Терморезисторы. Электропроводность 3[[i]]d[[ i]]-окислов. Параметры, характеристики и области применения
.pdf190 ЭЛЕКТРОПРОВОДНОСТЬ СИСТЕМ ОКИСЛОВ [ГЛ. IV
температурную зависимость а и стремление к насыщению при низких температурах, не наблюдавшееся на опыте.
Формулы типа (4.36) и (4.38) принципиально не позволя ют понять изломов в ходе кривых а = ср (ИТ) и участков, на которых а = const. Далее непонятно, почему измене ния характера температурной зависимости а для ряда материалов практически не отражаются на температурной зависимости электропроводности. Кроме того, реакция (4.37) приводит к одновременному образованию в окта эдрах разновалентных ионов марганца и никеля. Для со гласования расчетов с экспериментом приходится прене брегать возможностью обмена электроном между разновалентными ионами никеля. Таким образом, предположе ние, что температурная зависимость а обусловлена только зависимостью концентрации носителей от температуры, не позволяет понять многие экспериментальные факты.
По-видимому, для обсуждаемых материалов нельзя пренебрегать вкладом в термо-э.д.с, возникающим из-за движения носителей заряда, в связи с чем первые два чле на в формуле (2.28) должны быть существенными. На это указывает также и то, что коэффициент Ъ в формуле (4.5) составляет для однофазных материалов 1/10—1/20 от АЕ для электропроводности в согласии с оценкой, приве
денной в [63], о которой говорилось в |
§ 2.3 при |
обсужде |
нии формулы (2.28). Такой подход |
позволяет |
предполо |
жить, что соотношение разновалентных катионов одного и того же металла в решетке «марганцевых» полупровод ников в первую очередь определяется режимом термиче ского синтеза. С непостоянством этого режима могут быть связаны некоторые различия в температурных зависимо стях а и а отдельных образцов из-за дефектов, образую щихся в кристаллической решетке, и возможного образо вания примесных кристаллических фаз. Реакции типа (4.34) и (4.37), по-видимому, должны требовать значитель ной энергии активации, в связи с чем вероятность их осу ществления будет малой, и температурной зависимостью распределений типа (4.26) в первом приближении можно пренебречь. Тогда гиперболическая зависимость а от температуры должна определяться вторым членом в фор муле (2.28). В этом случае, как уже указывалось в § 2.3, знаки носителей заряда и а могут не совпадать, так как в формулу (2.28) входят члены с разными знаками.
§ 4.4] |
РОЛЬ |
ВАЛЕНТНЫХ СОСТОЯНИЙ КАТИОНОВ |
191 |
Приведенные |
соображения, а также роль марганца |
в проводимости марганцевых полупроводников подтвер ждаются сравнением электропроводности и термо-э.д.с.
таких соединений со структурой типа |
кубической шпине |
||||
ли как 1ЛМп2 04 и N i M n 2 |
0 4 , которые |
имеют |
качественно |
||
идентичные зависимости |
о = / (1/Т) |
и |
а |
= |
ф (1/Т) |
(рис. 52). Как показали Викхэм и Крофт |
[176], |
шпинель |
|||
L i M n 2 0 4 можно представить в виде |
|
|
|
|
|
L i + [ M n 3 + M n 4 + ] ОГ. |
|
|
(4.40) |
Валентные состояния ионов марганца в (4.40) были экспе риментально подтверждены [233] (см. рис. 58). В октаэдрических позициях (4.40) находятся только разновалентные ионы марганца, и здесь не приходится говорить о тем пературной зависимости данного распределения. Поэтому электрические свойства L i M n 2 0 4 и N i M n 2 0 4 (см. формулу (4.33)) должны определяться только реакциями элект ронного обмена между Мп0 кТ и Мн0 кТ . Непонятным, од нако, остается, почему энергии активации электропровод
ности M n [ N i M n ] 0 4 и L i [ M n 2 ] 0 4 одинаковы, хотя в октапозициях литий-марганцевой] шпинели нет ионов никеля.
При предположении существования в никель-марганце вых полупроводниках только одного типа носителей заря
да |
не удается достаточно просто понять сложный ход |
|||
кривых а = ф {UT). |
Наличие хотя бы двух типов носите |
|||
лей уже позволяет |
объяснить |
незначительные |
изломы |
|
в |
зависимостях l g о* = f (1/Т) |
(если имеются две |
экспо |
|
ненты с близкими параметрами) и температурные |
зависи |
мости а. Как указывалось в § 2.3, существование не скольких видов носителей может быть вызвано наличием в решетке различных типов энергетически эквивалентных мест для ионов М п о к т в зависимости от числа ближайших к нему ионов других металлов или дефектов (например, пустых узлов в катионной или анионной под решетках).
В заключение укажем, что даже на уровне модельных представлений для Зй-окислов сложного состава не удает ся получить полную ясность в возможных качественных представлениях о механизме электропроводности. Остается ряд невыясненных и дискуссионных вопросов. Необходи мо проведение комплексных физико-химических исследо ваний и электрических измерений на хорошо синтезиро ванных монокристаллах. Дополнительные трудности
192 |
ЭЛЕКТРОПРОВОДНОСТЬ СИСТЕМ окислов |
[ГЛ. I V |
связаны с тем, что теория электропроводности^ З^-окислах еще мало разработана для больших концентраций носи телей заряда. Например, когда количества разповалеитных катионов в эквивалентных местах решетки примерно равны, остается неясным, что следует понимать под элек тронной и дырочной электропроводностью.
Был рассчитан эффективный заряд атомов металла в простых окислах марганца и показано, что он увеличи
вается при повышении степени окисления |
[233]. Для МпО |
|
этот заряд равен 1,2, для М п 2 0 3 — 1,4 |
и |
М п 3 0 4 — 1,7. |
Ионность химической связи в этих окислах |
(рассчитанная |
как отношение эффективного заряда к формальной валент ности) уменьшается, а следовательно, ковалентная состав ляющая возрастает при увеличении степени окисления.
По |
данным [233] ионность связи для МпО составляет |
~ |
60%, М п 2 0 3 ~ 47% и Мп0 2 ~ 4 2 % . Изменение приро |
ды химической связи также должно оказать влияние па электропроводность, хотя ковалентность еще не учитыва лась при рассмотрении электрических свойств окислов марганца, кобальта, никеля и меди.
Г Л А В А V
ПОВТОРНАЯ ТЕРМООБРАБОТКА КАК СПОСОБ РЕГУЛИРОВАНИЯ ЭЛЕКТРОПРОВОДНОСТИ ПОЛУПРОВОДНИКОВ В СИСТЕМЕ
ОКИСЛОВ МАРГАНЦА, КОБАЛЬТА, НИКЕЛЯ И МЕДИ
В § 4.1. было показано, что двойные и особенно трой
ные «марганцевые» системы окислов обеспечивают значи тельно лучшую воспроизводимость электрических харак
теристик полупроводниковых |
материалов в сравнении |
с простыми окислами типа M e x |
O v , но все же часто она еще |
недостаточна. Для создания терморезисторов с возможно
меньшим разбросом по величинам сопротивления и его
температурного коэффициента, в соответствии с современ ными требованиями техники, крайне важно разработать
способы тонкого управления величиной электропроводно сти полупроводника. В работах [45, 214], по-видимому,
впервые было предложено использовать для решения
этой задачи физико-химическпе процессы, протекающие
в реальных поликристаллических полупроводниках слож ного состава при различных температурах. Ниже будут рассмотрены основные результаты исследований, прове
денных в указанном направлении.
§ 5.1. Тердшческая устойчивость «марганцевых» полупроводников в вакууме
Для полупроводниковых материалов, применяемых
при изготовлении терморезисторов, очень существенна их
термическая стабильность, так как T P предназначены для работы при повышенных температурах и могут использо
ваться в различных газовых средах, а также в вакууме.
7 II. Т. Шефтел|,
194 УПРАВЛЕНИЕ а ПОВТОРНОЙ ТЕРМООБРАБОТКОЙ [ГЛ. "V
Актуальность этого вопроса для «марганцевых» полупро водников ясна также из того, что структура многих из
них |
только метастабильна при |
комнатной температуре |
(гл. |
I I I ) . |
|
Температурная зависимость |
электропроводности «мар |
ганцевых» полупроводников малочувствительна к изме нениям их стехиометрического состава (§ 4-3). Рассмот рим влияние термообработки образцов в вакууме на элект
ропроводность |
и кристаллическую структуру, которая |
|
может привести не только к изменениям |
стехиометрии, |
|
но и к более |
значительной термической |
диссоциации |
материала. Основной комплекс исследований про водился на медно-марганцевых оксидных полупровод никах [239].
Кристаллическая структура медно-марганцевых полу проводников после термообработки в вакууме ~ 10~4 мм рт. ст. при различных температурах приведена в табл. 13. Данные рентгеноструктурного анализа хорошо согласу ются с результатами микроскопического исследования. Из диаграммы фазового равновесия системы окислов меди и марганца (§ 3.2) следует, что при медленном охлажде нии твердые растворы могут частично распадаться. В свя зи с этим часть образцов закаливалась от температуры
обжига (1080 °С) и |
вжигания серебряных контактов |
(840 °С — 20 мин), |
а часть — медленно охлаждалась. |
Результаты, полученные на медленно охлажденных н зака ленных образцах, оказались качественно одинаковыми. Это позволяет рассмотреть данные только для медленно охлажденных образцов. Измерения знака термо-э.д.с. по казали, что после термообработки в вакууме все материалы сохранили дырочную проводимость.
Электропроводность измерялась двух- и четырехэлектродным (компенсационным) методами. Температурная за висимость электропроводности материалов, приведена на рис. 60Рис. 61 отражает влияние термообработки в ва
кууме на величины |
о 2 5 |
(при 25 °С) и энергию |
активации |
электропроводности |
АЕ, |
рассчитанную по измерениям а |
|
в примерном диапазоне от 300 до 500 °К. |
|
||
Термообработка |
в вакууме при 700—900 °С |
приводит |
к термической диссоциации материала (табл. 13): струк тура шпинели переходит в структуру креднерита с мень шим содержанием активного кислорода. Было устаиовле-
§ a.ll СТОЙКОСТЬ МАРГАНЦЕВЫХ СОСТАВОВ В ВАКУУМЕ |
195 |
Т а б л и ц а |
13 |
Кристаллическая структура медно-маргапцевых полупроводников после термообработки в вакууме
Номер состава |
Величина атомного отноше ния Cu/Mn |
Режим |
Состап кристаллических фаз до |
термообработки') |
дап 11 ым реитгеиострукту рного |
анализаг) |
5 |
1,33 |
Воздух, |
|
840 °С — |
Хорошо сформированная струк |
||||||||
|
|
20 мин, |
медленное |
тура |
|
креднерита |
|
CuiMn-iOs |
|||||
|
|
охлаждение |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
Вакуум, |
|
700°С |
Структура |
креднерпта3 ) |
|
||||||
|
|
Вакуум, |
|
800°С |
Структура |
креднерита 3 ) |
|
||||||
|
|
Вакуум, |
|
860 °С |
Структура |
креднерита |
|
|
|||||
|
|
Вакуум, |
|
920 °С |
Структуры креднерита л М113О4 |
||||||||
11 |
0,5 |
Воздух, |
|
840 °С — |
Структуры |
кубической шпине |
|||||||
|
|
20 мин, |
медленное |
ли |
С11МП2О4, |
креднерита и |
|||||||
|
|
охлаждение |
|
примесь |
Моз04 |
|
|
|
|||||
|
|
Вакуум, |
|
700 °С |
Структуры |
|
креднерпта |
и |
|||||
|
|
Вакуум, |
|
830 °С |
МпзО.13) |
|
|
|
|
|
|
||
|
|
|
Структуры креднерита и МП3О4 |
||||||||||
15 |
0,25 |
Воздух, |
|
840 °С — |
Структуры |
МпзСч |
п |
кубиче |
|||||
|
|
20 мин, |
медленное |
ской |
шпинели |
С11МП.2О4 |
|
||||||
|
|
охлаждение |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
Вакуум, |
|
700 °С |
Структуры |
М113О4 |
п деформи |
||||||
|
|
Вакуум, |
820 °С |
рованного |
креднерпта3 ) |
|
|||||||
|
|
Структуры |
МщСч |
и деформи |
|||||||||
|
|
|
|
|
|
рованного |
кредперпта |
|
|
||||
|
|
Вакуум, |
|
920 "С |
Структуры |
МпзО.1 |
н деформи |
||||||
|
|
|
|
|
|
рованного |
креднерита |
|
|
||||
J ) |
Время |
прогрева |
с |
вакууме при каждой |
из |
указанных |
|||||||
температур — 3 ч, охлаждение образцов — закалкой. |
|
|
|
||||||||||
2 ) |
Кристаллические |
фазы перечисляются |
в порядке |
количе |
|||||||||
ственного содержания |
|
их в материале. |
|
|
|
|
|
|
|||||
3 ) |
Рентгенографически |
установлено |
для поверхности |
об |
|||||||||
разцов. |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
но, что ниже 600 °Сэта реакция не протекает даже в ваку уме ( — Ю - 4 ммртп. ст.), не говоря уже о воздушной среде. Процесс диссоциации начинается с поверхностных слоев образцов.
Прогрев в вакууме при 600 °С приводит к аномальному для оксидного дырочного полупроводника увеличению электропроводности (рис. 60 и 61). Детальнее это явление,
7*
to
Рис. 60. Температурные зависимости электропроводностей составов 5 (см. табл. 9) (а), И (б) и 15 (в)
после термообработки в вакууме при различных температурах.
1 — после прокалки на воздухе при 840 °С; после прогрева в вакууме; 2— при 600 °С; 3,4 — при 700 "С; s, в — при 800 °С для состава 5, при 830 °С для состава 11 и при 820 °С для состава 15; 7,8— при 860 "С. Точки — четырехэлск-
тродныс измерения, кресты — двухзлектродные измерения.
§ 5.1] СТОЙКОСТЬ МАРГАНЦЕВЫХ СОСТАВОВ В ВАКУУМЕ 197
связанное с изменениями структуры материала, а также с изменением соотношения металл-кислород в межкри сталлических прослойках, обсуждается в § 5.2 и 5.3.
\ — 1
VV
\ \
\
- |
\ |
|
|
\" |
|
|
|
10' |
|
|
|
|
|
|
|
|
V |
^ \ |
х\ |
|
ч\ |
||
|
l\\ |
5\\ |
|
|
\ |
\\ |
\\ \ \ |
|
\ |
||
|
\ |
|
\ X, |
|
\ |
|
|
|
|
|
яг |
|
\/5 |
|
|
|
|
|
0,5 |
|
/ |
а/! |
|
|
feci
-о 4 |
|
03 |
|
|
|
\ |
\ |
0,2 |
|
|
|
|
\ |
0,7 |
Воздух Вакуум |
Вакуум Вакуум |
вакуцм Газобоя среда'- |
|||
800 |
600 |
700 |
800 |
900 |
7°, С |
гомин
медленное
охлаждение
Рис. 61. Влияние термообработки при различных температурах в вакууме на величины электропроводности (при 25 °С) и энергии ак тивации ДЯ для составов (см. табл. 9) 5, 11 и 15 (диаграмма).
Кружки — четырехэлектродные измерения; кресты — двухэлектродные измерения.
Существенно подчеркнуть, что результаты измерений элекгропроводности после такой термообработки как двухэлектродным (ст2 ), так ичетырехэлектродным ( 0 4 ) методами практически совпадают.
Повышение температуры прогрева в вакууме до 700 °С, как правило, приводит к резкому различию 0 2 и сг4. Эти результаты свидетельствуют о различии свойств поверх-
198 |
УПРАВЛЕНИЕ а ПОВТОРНОЙ ТЕРМООБРАБОТКОЙ 1.ГЛ. V |
постных и глубинных слоев образцов из-за термической диссоциации материала, связанной с потерей кислорода, которая начинается, как уже указывалось, с поверхности образцов. Такая термообработка вызывает значительное увеличение АЕ и уменьшение электропроводности. В § 4.4
указывалось, что электро-
проводиостг |
креднерита |
|||||
C u 2 M n 2 0 5 , |
в |
отличие |
от |
|||
шпинели |
C u M n 2 0 4 , |
по- |
||||
видимому, |
в |
|
основном |
|||
зависит от |
отклонении |
его |
||||
состава |
от стехпометричес- |
|||||
кой |
формулы. |
|
Интенсив |
|||
ность |
|
процесса |
возраста |
|||
ет сувеличением |
темпера |
|||||
туры прогрева. Вследствие |
||||||
этого |
|
после |
термообра |
|||
ботки |
в |
вакууме |
при |
|||
800—900 °С сильно умень |
||||||
шается |
не |
только |
о 2 , |
|||
но и |
ст4, |
а величины а 2 |
||||
„ ,„„ пп ло„ спп ™п оппЪ ст4 |
начинают сближаться |
|
/00 |
200 300 400 .ПО 600 700 800 |
4 |
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
|
|
|
ггс |
|
ДРУГ с другом. |
|
с |
диа |
||||
Рис. 62. |
Влияние |
прогрева |
прп |
В |
соответствии |
||||||||
различных температурах |
в ваку |
граммой |
равновесия |
на |
|||||||||
уме |
порядка 1СП4 |
мм рт. |
ст. |
на |
|||||||||
величину сопротивления образцов |
воздухе |
кристаллических |
|||||||||||
медно-кобальто-маргавцевых ок |
фаз |
в |
системе |
M n 3 _ K C o K 0 4 |
|||||||||
сидных полупроводников. |
|
(рис. |
23) составы |
с х < |
1,5 |
||||||||
Составы материалов (Си : Со |
: Мп) в |
со |
структурой |
шпинели |
|||||||||
ат.%; |
i — 36 : 14 : 50; 2— 30 : 30 : 40; |
должны |
диссоциировать |
||||||||||
3 — |
30 : 22 : 48; |
4 — 20 |
: 40 : 40; |
||||||||||
5— 7 : 45 : 48; 6 — 3 : 40 : 57. |
|
и переходить |
в |
твердые |
|||||||||
|
|
|
|
|
|
растворы типа МеО |
толь |
||||||
|
|
|
|
|
|
ко при |
температурах |
вы |
|||||
ше ~1200 °С. Было установлено, что |
для этих |
составов |
|||||||||||
даже термообработка в вакууме 10~4 |
мм рт. ст. при 900— |
||||||||||||
1000 °С не приводит к диссоциации |
шпинели |
и |
переходу |
||||||||||
ее в соединение типа МеО. В результате |
такой |
термооб |
|||||||||||
работки |
наблюдается |
аномальное |
для |
оксидного |
ды |
||||||||
рочного |
полупроводника |
увеличение электропроводнос |
|||||||||||
ти (так же как и для медно-марганцевых |
материалов |
пос |
|||||||||||
ле прогрева их в вакууме |
при |
600 °С) [45]. Например, |
|||||||||||
для |
кобальто-марганцевых |
составов |
9 |
(х |
« |
|
0,39) |
§ 5.1] |
СТОЙКОСТЬ МАРГАНЦЕВЫХ |
СОСТАВОВ В ВАКУУМЕ |
199 |
||||
и 11 ( i л |
0,33) (табл. 9) величины а 2 0 (при 20 |
°С) составля |
|||||
ли соответственно 1,6-10- 4 |
и |
5• 1 0 - 5 ом-1-см'1. |
После |
||||
прогрева в вакууме образцов |
состава 9 при 900 °С — |
1 ч и |
|||||
состава 11 при 1000° С — 1 ч |
величины сг20 |
соответственно |
|||||
увеличились до 4,4• Ю - 4 и 31 - Ю - 3 ом^-слГ1. |
Измерения |
||||||
двух- |
и |
четырех электродным |
методами |
давали |
прак |
тически идентичные результаты. Знак термо-э.д.с. до и после термообработки в вакууме соответствовал дырочной электропроводности.
Характер влияния термообработки в вакууме на электропроводность медно-кобальто-марганцевых полупро водников зависит от их катионного состава (рис. 62). Вре мя прогрева при каждой температуре, указанной на рис. 62, 1 ч. На рис. 62 отложены усредненные значения коэф фициента изменения сопротивления, определявшиеся по измерениям 5—10 образцов каждого состава. Этот коэффи-
циент равен - ~ , где В2о и -^го — величины сопротив
ления до и после термообработки.
Исследовались составы с постепенно уменьшающимся содержанием меди, увеличивающимся содержанием ко бальта и примерно постоянным количеством марганца (рис. 62). На концентрационном треугольнике они зани мают различные положения от медно-марганцевой до ко- бальто-маргаицевой стороны. Сопротивления измерялись двухэлектродиым методом.
Из рнс. 62 следует, что при температурах примерно до 600 °С термообработка в вакууме приводит к уменьше нию величин сопротивления образцов, так же как и для двух ранее рассмотренных групп материалов. При более высоких температурах такая термообработка вызывает значительное увеличение сопротивления образцов составов, близких к медно-марганцевой стороне (кривая 1, рис. 62) и занимающих центральную часть концентрационного тре угольника (кривые 2—4), в то время как для составов, близких к кобальто-марганцевой стороне (кривые 5 и б), сопротивление уменьшается. Таким образом, по характе ру влияния термообработки в вакууме на электропровод ность медно-кобальто-марганцевых полупроводников, они в зависимости от состава приближаются к медно-маргап- цевым или кобальто-марганцевым материалам,