Добавил:
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:

книги из ГПНТБ / Немошкаленко В.В. Теоретические основы рентгеновской эмиссионной спектроскопии

.pdf
Скачиваний:
14
Добавлен:
25.10.2023
Размер:
13.63 Mб
Скачать

320 Глава 4. Одноэлектронное и многоэлектронное приближения

числа точек явно недостаточно итакое приближение было бы грубым, применялся интерполяционный метод, при помощи которого была рассчитана плотность состояний N (Е) [297]. На рис. 132 приве­

Рис.

131, Эмиссионная

11(-

са натрия:

полоса калия:

 

-----. •••—рассчитанные соответственно без учета н с учетом ширины остовного уровня и Оже-расшнрення уровней в валентной по­ лосе и О—экспериментальная [295]/ (^-кри­ вые; ----------- — рассчитанная плотность состоянн й.

-----♦ .— рассчитанные соответствен­ но без учета и с учетом ширины ос­ товного уровня и Оже-расшнрення уровней в валентной полосе и О — экспериментальная [296] / (Я)-кри- вы е;--------—рассчитанная плотность

состояний.

дены

результаты

расчета

распределения интенсивности в

К- и

7,и,ш-полосах

алюминия.

Рассчитанная форма полосы весь­

ма существенно отличается от соответствующих экспериментальных кривых [149]. На рис. 132 показан вклад валентных электронов

Рис. 132. Рассчитанное распределение интенсивности:

а — в К-, б — в Ljj Ш “Полосах алюминия;----------— вклад s-электронов, ••• — вклад ^-электронов.

s- и d-симметрии в интенсивность L u,m -полосы. Как видно, он существен, хотя алюминий и не является переходным элементом. Согласие с экспериментом может быть улучшено, если учесть ап­ паратурные искажения, конечную ширину внутреннего уровня и Оже-расширение уровней в валентной полосе. На рис. 133, 134 сопоставлены размытые рассчитанные и экспериментальные кри­ вые. Они согласуются значительно лучше, хотя в /(-полосе и исчез­

Одноэлектронное приближение

821

ла тонкая структура, отображающая особенности Ван Хова в струк­ туре N (£)-кривой алюминия.

Распределение интенсивности в эмиссионных К- и /.п.ш-поло- сах кремния рассчитано в работе [299]. Зонная структура вычисля­ лась двумя методами: полуэмлирическим методом псевдопотен­ циала, успешно использовавшимся в работах [256, 260], и к •р-ме- тодом, который впервые был применен для расчета зонной структуры кремния в работе [300]. Первый метод применим к кристаллам высокой симметрии, так как име­ ется достаточная информация о значениях энергии особых точек зон в них из оптических и рентге­ новских данных (см. гл. 3). Вто­ рой метод относится к группе рас­ четов энергий и матричных эле­ ментов «из первых принципов» при

Рис.

133. Эмиссионная

/(-полоса

 

11,

 

 

алюминия:

 

 

 

 

 

лоса алюминия:

 

•••

— рассчитанная

с

учетом ширины

1 — рассчитанная с

учетом'ширины

остовного уровня

и

Ожс-расшнрения

остовного уровня н Оже-расшнрення

уровней в валентной полосе,

--------------

уровней в валентной

полосе, 2,

3 —

 

экспериментальная [261].

 

экспериментальная,

полученная

в

работах соответственно [298, 150].

помощи ОПВ в точке Г. Этот метод довольно прост и применим 1299] для расчета зонной структуры и рентгеновских эмиссионных полос полупроводников и диэлектриков.

В работе [299] базисными функциями служили блоховские функции для 15 зон при к = 0, найденные методом ОПВ. Сдвиги внутренних уровней считались параметрами, определяемыми из условия наилучшего согласия энергетических зон валентных элект­ ронов с экспериментальными данными, например с результатами, полученными методом циклотронного резонанса [301]. В качестве волновых функций остовных электронов использовались атомные волновые функции. Рассчитанный энергетический спектр электронов в валентной зоне кремния согласуется с данными других расчетов. Полученные результаты использовались для расчета матричных

И 3-2023

322 Глава 4. Одноэлектронпое и многоэлектропное приближения

элементов вероятности перехода между валентной зоной и внутрен­ ними уровнями.

Для расчета распределения интенсивности в /С- и L -полосах кремния использовался метод, описанный в работах [302,

рассчитанная / — к • р — ОПВ-методом и 2, 3 — с учетом

ширины

остовного уровня и Оже-расшнрення уровней в валентпой

полосе с

Г 0 и 2Г0, ^ — экспериментальная [261].

 

303]. В этом методе неприводимый сегмент первой зоны Бриллюэна делится на кубические ячейки, в пределах которых вероятность перехода принимается приблизительно постоянной. В центре каждой ячейки диагонализируется к • р-матрица и определяются

рассчитанная / — к • р — ОПВ-методом и 2, 3 — с учетом шир1гны остовного уровня и Оже-расширення уровней в валентной полосе о Г0 н 2Г0, 4 — экспериментальная [305],

значения энергии и вероятность перехода. В работе [299] вычислены 240 точек в неприводимом сегменте зоны Бриллюэна и показано, что этот результат существенно не отличается от результата, полу-

Одноэлектронное приближение

323

ченного всего для 90 точек. В случае £ц,ш -полосы кремния спинорбитальное расщепление 2р-уровня не учитывалось. По данным О. А. Ершова и А. П. Лукирского [304], величина его составляет 0,6 эв. На рис. 135, 136 приведены рассчитанные и размытые на ширину внутреннего уровня и Оже-расширение уровней в валент­ ной полосе К- и Ln.iii -полосы кремния.

Бинарные соединения и сплавы. Расчет рентгеновских эмиссион­ ных полос компонентов бинарных соединений — более сложная задача, чем расчет рентгеновских эмиссионных полос рассмотрен­ ных легких элементов. Примером может служить бинарное соеди-

Рис. 137. Зависимость квадрата модуля матричного элемента вероятности перехода от волнового вектора для бора Р (к)в.

пение BN. Из эксперимента известно, что рентгеновские эмиссион­ ные полосы бора и азота существенно отличаются по форме, хотя они и возникают в результате перехода электронов из валентной зоны этого кристалла на внутренние уровни одной и той же симмет­ рии. Однозначный ответ на вопрос о том, с чем связано это отличие, мог дать только последовательный расчет зонной структуры и рент­ геновских эмиссионных полос соединения. Такие расчеты в 10° точках зоны Бриллюэна выполнены в работах [88, 89].

Для вычисления квадратов модулей матричных элементов ве­ роятностей перехода использовалась известная формула (351). Интеграл (351) отличен от нуля лишь в небольшой области в окрест­ ности центра г, так как волновые функции остовных электронов бора и азота в соединении BN локализованы. Величины (351) для бора и азота, усредненные по всем ориентациям поликристаллов, представлены на рис. 137 и 138. Величины р„ (к) для бора и азота существенно отличаются. Это связано главным образом с разным поведением волновой функции ф„к в окрестности ядер бора и азота. Различие в остовных функциях тем больше сказывается на вели­

чинах р ‘п (к ), чем больше отличаются компоненты соединения по атомным номерам.

11*

324 Глава 4. Одноэлектронное и многоэлектронное приближения

При переходах электронов из невырожденной зоны на остовные уровни бора величины р® (к) для одной и той же энергии близки. При переходах из вырожденной части валентной зоны р'п (к) су­ щественно отличаются для разных направлений и между собой. Величину p nL (к) можно рассматривать как меру зависимости зон­ ной волновой функции от к. Для вычисления интенсивности I 1(Е)

Рис.

138. Зависимость квадрата моду­

Рис. 139. Рассчитанное (-----------

)

ля

матричного элемента

вероятности

и экспериментальное [306] (----

) рас­

перехода от волнового

вектора для

пределения интенсивности в /(-по­

 

азота Р (k)N.

лосе бора в кристалле

BN.

в эмиссионной полосе бора достаточно определить р„‘ (к) для раз­ ных зон и суммировать те из них, энергии зон которых попадают в интервал

E < £ i < E l +

dE.

В результате получается величина

/‘ (Е) dE. Величины р п1 (к)

вычислялись аналогично Еп (к) для произвольной точки к, так как

Ра (к + К) = Рп (к),

Pn(Ps к) = рп (к),

Рп (— к) = р‘„ (к).

При расчете /‘ (Е) использовались те же точки к, что и при вычис­ лении N [Е). Результаты расчета распределения интенсивности

представлены на рис. 139 и 140. Кривые /‘ (Е) бора и азота отли­ чаются как в вырожденной, так и в невырожденной частях валент­

ной зоны. Хорошо воспроизводятся на кривых I 1(Е ) особенности Ван Хова в плотности состояний.

Следует отметить, что исследовавшийся кристалл BN содержал примесь BN с ГПУ решеткой, и именно этим объясняется [306] наличие в спектре максимума С'. Иной характер носило влияние примеси углерода. Эмиссионная полоса углерода в третьем порядке дифракции накладывалась на низкоэнергетическую часть полосы азота в четвертом порядке. Поэтому полоса азота была заметно ис­

Одноэлектронное приближение

325

кажена (см. рис. 140, фон на экспериментальной

кривой азота

вычесть не удалось).

 

В экспериментальных полосах бора и азота обнаружено еще одно существенное отличие. Оно заключается в том, что в спектре бора фиксируется дополнительный максимум А, которого нет в спектре азота [306). Этот максимум, как стало ясно из сопостав­ ления теоретически рассчитанной и экспериментальной рентгенов-

Рис. 140. Рассчитанное (-----------

) и

экспериментальное [306J ^-----

) рас­

пределения интенсивности

в

/<-полосе азота в кристалле

BN.

ских эмиссионных полос, связан с переходами электронов из невы­ рожденной подзоны кристалла BN на остовные уровни бора, что в свою очередь объясняется меньшей вероятностью перехода электро­ нов из невырожденной подзоны на остовный уровень у азота, чем

убора.

Вэкспериментальных полосах нет четкой границы между интен­ сивностями, связанными с переходами из вырожденной и невырож­ денной частей валентной зоны. Это может быть обусловлено несо­ вершенством кристалла-анализатора, наличием фона непрерывного

излучения, Оже-расширением, размывающим состояния у дна зоны.

Для рассчитанной рентгеновской эмиссионной полосы азота характерен узкий пик, ширина которого на половине высоты (0,4 эв) совпадает с искажениями, вносимыми прибором и шириной внутреннего уровня. В экспериментальной полосе азота в соедине­ нии BN интенсивность этого пика значительно меньше рассчитан­ ной. Однако наложение полосы углерода затрудняет наблюдение.

В работе 1307] рассчитывались рентгеновские эмиссионные полосы компонентов сплава магний — алюминий. Оба интерметал­ лические соединения этой системы сплавов — AlaMg2 и Al12Mgl7 —

326 Глава 4. Одноэлектронное и многоэлектронное приближения

имеют сложную кристаллическую структуру. Поэтому в работе [307] для упрощения расчета был выбран гипотетический сплав А1о,5 Mgo.5 с ОЦК решеткой. И хотя этот сплав не имеет аналога в реальной системе сплавов, полученные результаты позволяют объяс­ нить принципиальное различие в форме Ащш-полос алюминия и магния, наблюдавшееся в работах [308, 309]. Структура валентной полосы и волновые функции вычислялись при помощи секуляриого уравнения в приближении плоских волн. Удовлетворительная сходимость была достигнута при 17 плоских волнах. В работе [307] предполагалось, что Ан.ш-полоса алюминия описывается выражением

/ai (£) = 2 1'Фк ('ai) Г б (к) — Е — Е Рпа,],

к

где суммирование проводится по всем занятым состояниям. Анало­ гичное выражение использовалось при вычислении /мЁ (Е). По­ скольку распределение интенсивности Ац.ш-полос магния и алюми­ ния вычислялось в весьма грубом приближении, согласие с экспе­ риментом можно считать удовлетворительным. Экспериментальные кривые свидетельствуют о значительной интенсивности Ац.ш-по- лосы алюминия и существенном уменьшении интенсивности Ац,ш-полосы магния в области малых значений энергии. Экспе­ риментальная ширина Ац.ш-полос алюминия и магния составляла соответственно 0,80 и 0,61 рид. При расчете получены оценки 0,72 и 0,50 рид. Как видим, согласие также удовлетворительное.

Расчеты распределения интенсивности в рентгеновских эмиссионных полосах переходных металлов

Рентгеновские эмиссионные полосы переходных металлов хо­ рошо изучены [289]. Вместе с тем экспериментальные результаты по распределению интенсивности в рентгеновских эмиссионных полосах некоторых переходных металлов, полученные в разных работах, не совпадают. Расхождения в тонкой структуре при интер­ претации полос приводят к существенно различным моделям их электронной структуры. Поэтому принципиальное значение имеет интерпретация наблюдавшейся тонкой структуры рентгеновских эмиссионных спектров. А правильная интерпретация может быть достигнута при помощи расчетов распределения интенсивности в рентгеновских эмиссионных полосах переходных металлов.

Элементы первого большого периода. Рентгеновские эмиссион­ ные полосы переходных металлов первого большого периода рас­ считаны в работах [310—314]. Наиболее последовательно рассчита­ ны методом функции Грина К-, Е- и М-полосы ванадия, хрома,

Одпоэлектронпое приближение

327

железа с ОЦК решеткой и кобальта, никеля и меди с ГЦК решеткой [314]. В построении кристаллических потенциалов использовалась схема, предложенная в работе [315], и самосогласованные волновые функции [41]. В качестве исходных электронных конфигураций принимались электронные конфигурации свободных атомов. Об­ менный потенциал учитывался по Слейтеру. Матричные коэффи­ циенты вероятности перехода рассчитывались в дипольном прибли­

жении. В работе [316] показано,

что вероятность квадрупольных

переходов d

Is в формировании /(-полосы на один-два порядка

меньше вероятности дипольных

переходов

v is . Эти данные

подтверждены экспериментально. Поэтому дипольное приближение для расчета распределения интенсивности в /(-полосе должно быть

вполне удовлетворительным.

Аналогичные соображения приме­

нимы к L- и 44-полосам,

так как в этих случаях можно пренебре­

гать переходами s ->

и s

3р.

Энергия и волновые функции валентных электронов вычислены в 1028 и 2048 точках зоны Бриллюэна соответственно для металлов с ОЦК и ГЦК решетками. В рассматриваемой работе [314] построе­ ны не только плотности состояний N (Е ), но и парциальные плот­ ности состояний Ns (£), Np (Е ) и Nd (Е ) с шагом 0,02 рид. Для по­ лучения гистограммы плотности состояний применялась процедура смещения начала отсчета [224]. Шаг плотности состояний состав­ лял 0,004 рид. Построение парциальных плотностей состояний позволило оценить числа заполнения электронами соответствую­ щей зоны. Однако, как отмечалось выше, для сравнения с экспе­ риментальной теоретически рассчитанная форма полосы должна быть размыта на Оже-эффект для электронов валентной полосы и полосы проводимости и ширину внутреннего уровня. С учетом этих двух эффектов выражение, использовавшееся в работе [314], имеет

вид

 

£ср

 

 

+СО

 

 

 

/; (Е) ~ V3

dE"

Р(Е") Nl+ l(E') dE'

Г Г (Е — Е") 1

\{Е' - £")] 1

 

 

 

 

1 1+ [ Р

J Я 1+

У(Е') 1

где Р (Е) — матричный элемент радиального фактора вероятности перехода, Nt (Е) — парциальная плотность состояний, (3 — полу­ ширина остовного уровня, у (Е) — полуширина Оже-расширения валентного уровня для данной энергии Ё. В приближении, приня­ том в работе 1294],

у(Е) = Г0^/

Е - Е0 у

Ер Е0)

 

где £„ — энергия дна валентной зоны, Г0 — полуширина Ожерасширения уровня у дна валентной зоны. В соответствии с сооб­ ражениями, высказанными в работе [294], параметр Г0принимался равным 2 эв для всех рассматриваемых переходных элементов.

328 Глава 4. Одноэлектронное и многоэлектронное приближения

Использование в расчетах распределения интенсивности в рент­ геновских эмиссионных полосах металлов постоянного параметра Г0 и принятого закона изменения у (Е) является грубым приближе­ нием. Однако более строгий учет Оже-эффекта возможен лишь при многоэлектронном подходе к интерпретации рентгеновских эмис­ сионных спектров. Вместе с тем следует отметить, что, хотя пара­ метр Г0 и был выбран большим, связанное с ним размытие изменило

[318—320] (...) и рассчитанные [314] (----- ) /(-полосы вана­ дия, хрома, железа, кобальта, никеля и меди.

форму полосы не намного. В работе 1314] это показано на примере /(-полосы хрома. Как предполагают авторы этой работы, такое изменение формы полосы может быть обусловлено низкой плотно­ стью состояний (в основном s-состояний) у дна валентной зоны, где Оже-эффект наибольший.

На рис. 141— 143 приведены рассчитанные К-, L- и М-полосы ванадия, хрома, железа, кобальта, никеля и меди. Все они имеют гростую форму. Тонкая структура наблюдается лишь у К-полос ванадия, хрома, меди и L-полосванадия, хрома. Отсутствие тонкой структуры в распределении интенсивности в рентгеновских эмис­ сионных полосах большинства переходных металлов первого боль­ шого периода может быть обусловлено значительной шириной остовного уровня, которая размывает все особенности, связанные со структурой плотности состояний N (Е ). Особенно велика ширина 2р- и 3/7-уровней. Кроме того, она возрастает с увеличением атом­ ного номера элемента. Этим, возможно, и объясняется тот факт, что тонкая структура наблюдается только у элементов начала

Одноэлектронное приближение

329

периода. Наилучшее согласие рассчитанной и экспериментальной полос наблюдается у хрома (рис. 144). Обращает на себя внимание отсутствие второго низкоэнергетического максимума, наблюдавше-

пр. ед

 

/

 

7,

 

1/

 

 

 

г /

 

 

 

-" *—

1L

4

L *

 

Сг

A

 

 

 

 

 

 

 

у

I

 

Ее

 

—^

1

 

 

Cu

f \

 

ю

О 5

ю

Е,эб

Рис.

142. Экспериментальные

[321

323]

(-----------) и

рассчитанные [314]

(—)Дц-полосы ванадия, хрома, желе­ за, кобальта, никеля и меди.

V

//

ed.

, 'f \

 

 

i ^ j

пр.

 

 

 

 

7,

cr

A

 

 

/J

 

 

//

 

 

//

 

 

//

 

 

 

Fe

p

 

\\

\\

—■___!_ \\.

О5 Ю

Рис.

143.

Экспериментальные

[324]

(---------

) и

рассчитанные [314] (

----- )

Л4[ц-полосы

ванадия, хрома, железа,

кобальта, никеля и меди.

гося в работе [326]. Сравнение расчетной и экспериментальных /(-полос хрома позволяет считать более достоверным результат, приведенный в работе [325].

Хорошее согласие расчетной и экспериментальной /(-полос наблюдается также у меди. Однако при вычислении /(-полос эле­ ментов конца периода необходимо учитывать и квадрупольные

переходы, так как вклад этих

 

переходов

составляет

примерно

 

10%

общей интенсивности полосы.

 

В /(-полосе

никеля

он

приводит

 

к появлению дополнительного вы­

 

сокоэнергетического

максимума, а

 

в /(-полосе меди изменяет соотно­

 

шение интенсивностей двух наблю­

Рнс. 144. Экспериментальная [325]

дающихся максимумов.

 

(----- ) и рассчитанная [313](--------- )

Заканчивая рассмотрение рас­

/(-полоса хрома.

чета

рентгеновских

эмиссионных

 

полос методом функции Грина, отметим, что парциальные плотности состояний Np (Е) и Nd (Е ) по форме в основном похожи. Этим и

объясняется наблюдавшееся совпадение

тонкой

структуры

у /(-

и L-полос ванадия и хрома [326].

nd> полученные в работе

Значения чисел заполнения п$, пр и

[314], хорошо согласуются с приведенными в

работе [289].

Для

никеля, кобальта и железа величины nd составляют соответственно

8,75; 7,64; 6,20 [314] и 8,6; 7,5; 6,0 [289]. Некоторое расхождение

Соседние файлы в папке книги из ГПНТБ