Добавил:
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:

книги из ГПНТБ / Немошкаленко В.В. Теоретические основы рентгеновской эмиссионной спектроскопии

.pdf
Скачиваний:
14
Добавлен:
25.10.2023
Размер:
13.63 Mб
Скачать

300 Глава 3. Структура энергетических вон е кристаллах

вычислялась в работе [241]. Кристаллический потенциал определял­ ся обычным способом [43] по атомным функциям [41 ]. Использовался

обменный потенциал У£бМ. Радиусы сфер выбирались так, чтобы сферы ближайших атомов-соседей касались и в точке касания значения потенциалов для обоих центров кристалла совпадали. Постоянное значение потенциала вне атомных сфер принималось

Рис. 105. Плотность состояний электронов в валентной зоне сплава P-CuZn.

равным общему значению потенциала в точке их касания. Вычис­ ления показали, что ширина зоны, соответствующей Зс(-состояниям цинка, равна 0,05 рид и локализована у дна валентной зоны. Ши­

рина зоны,

соответствующей Sd-состояниям меди, больше 0,2

рид.

В кристалле P-CuZn 4s- и

4р-состояниям цинка и 4s- и 4р-состоя-

ниям меди

соответствует

широкая зона — 0,6 рид, подобная

зо­

нам свободных электронов. В нижней d-зоне зарядовая плотность определяется гармоникой с I = 2 в сфере цинка, а в верхней d-зоне она содержит примесь других гармоник. Плотность состояний, вычисленная в работе [241], представлена на рис. 105. Узкий пик на рисунке соответствует 3 d -3 0 H e цинка, а широкий — 3d-30ne меди. Незначительное отличие Ферми-поверхности от Ферми-по- верхности свободных электронов подтверждается эксперименталь­ ными измерениями эффекта де Гааза — ван Альфена [241], а ве­ личина плотности состояний на уровне Ферми — измерениями низкотемпературной удельной теплоемкости [242].

P-NiA). Энергетические зоны и плотность состояний электронов сплава p-NiAl вычислены в работе [243] методом ППВ. Основное

Сплавы переходных металлов

301

Рис. 106. Плотность состояний электронов в валентной зоне и зоне проводимости сплава Э -NiА1.

Рис. 107. Плотность

состояний

элект­

Рис. 108. Плотность

состояний элект­

ронов в валентной зоне и зоне

прово­

ронов в валентной зоне и зоне про­

димости упорядоченного (—} и неупо­

водимости упорядоченного (—) и неупо­

рядоченного (---------

) сплавов

VMn.

рядоченного (---------

) сплавов TiFe.

Рис. 109. Плотность

состояний элек-

Рис. 110. Плотность состояний элек­

тронов в валентной зоне и зоне проводи-

тронов в валентной зоне и зоне прово-

мостн сплава

ScCo.

димости упорядоченного (—) и неупоря­

 

 

доченного (-------- ) сплавов NiMn.

302 Глава 3. Структура энергетических зон в кристаллах

отличие в энергетической зонной структуре сплавов fl-NiAl и P-CuZn заключается в том, что ЗсРзоны никеля в сплаве p-NiAl расположены ближе к уровню Ферми, чем Зй-зоны цинка в сплаве p-CuZn, и узкие ЗсРзоны в сплаве (i-NiAl не наблюдаются вблизи дна валентной зоны. Плотность состояний электронов в валентной зоне и зоне проводимости, вычисленная в работе [243], представлена на рис. 106. Анализ зарядовой плотности [244] показал, что заряд на уровне Ферми определяется в основном s- и р-электронами алю­ миния.

VMn, TiFe, ScCo, NiMn. В работе [245] рассчитаны энергети­ ческая зонная структура упорядоченных сплавов VMn и TiFe методом функции Грина и плотность состояний в валентной зоне и зоне проводимости неупорядоченных сплавов VMn, TiFe методом когерентного потенциала. Плотности состояний электронов в ва­ лентной зоне и зоне проводимости упорядоченного и неупорядочен­

ного

сплавов VMn весьма близки (рис. 107),

а

соответствующие

плотности состояний упорядоченного и неупорядоченного

спла­

вов

TiFe заметно отличаются (рис. 108). Это

 

объясняется

тем,

что

потенциалы ванадия и марганца в сплавах

VMn меньше отли­

чаются друг от друга, чем потенциалы титана

и железа в спла­

вах

TiFe,

 

 

 

Вработе [245] вычислена также плотность состояний электронов

ввалентной зоне и зоне проводимости сплава ScCo (рис. 109),

вработе [246] — плотность состояний электронов упорядоченного

инеупорядоченного сплавов NiMn (рис. 110). Расчет плотности состояний упорядоченных сплавов выполнен методом, предложен­ ным в работе [246], а неупорядоченных — методом когерентного потенциала. Характерной особенностью плотности состояний элек­ тронов в упорядоченном и неупорядоченном сплавах NiMn явля­ ется низкая плотность состояний на уровне Ферми (плотность состояний чистого никеля на уровне Ферми высокая).

ДИЭЛЕКТРИКИ И ПОЛУПРОВОДНИКИ

Алмаз. Алмаз является сравнительно простым кристаллом с точки зрения его электронной структуры, поэтому именно на нем обычно апробируются методы расчета энергетических зон. Энерге­ тические зоны алмаза вычислялись различными методами: ОПВ [247], псевдопотенциала [248—251], ППВ [252], сильной связи [253], дискретным вариационным [254] (последний отличается от метода сильной связи вычислением интегралов перекрытия). Ре­ зультаты, полученные в работах [252—254], хорошо согласуются. В работе [254] вычислена зависимость ширины запрещенной зоны при прямых и непрямых переходах, а также ширины валентной зоны от параметра а в обменном потенциале Va (рис. 111). Как

Диэлектрики и полупроводники

303

оказалось, эта зависимость несущественна, так как при изменении

а от 0,67 (У*бмШ) До единицы (У^м) изменение указанных величин составляет менее 6% (минимум зоны проводимости достигается

в направлении Д в точке х = —— (0,8; 0; 0)). Плотность состоя­

ний электронов в валентной зоне и зоне проводимости алмаза вычислялась при а = 0,76 (рис. 112), так как в этом случае теоре-

зоны (— • —) от фактора а в об-

в валентной зоне и зоне проводимости ал-

менном потенциале алмаза.

маза.

тическое значение ширины запрещенной зоны при непрямых пере­ ходах 5,47 эв совпадает с экспериментальным.

Кремний. Энергетические зоны кремния вычислялись методами псевдопотенциала [255—257], ОПВ с введением эмпирических по­ правок [74, 247, 258] и самосогласованным методом ОПВ [259]. Результаты, полученные в последней работе, представляют интерес особенно потому, что позволяют оценить, какой точности можно достичь при последовательном теоретическом вычислении структуры энергетических зон. Для определения потенциала электронная плотность вычислялась в четырех и шести точках к зоны Бриллюэна. Суммарная электронная плотность находилась при помощи весовых множителей, пропорциональных объемам областей зоны Бриллюэна, наиболее близких к рассматриваемой точке. Макси­ мальное отличие в вычисленных значениях энергии при этих двух аппроксимациях к электронной плотности составляет 0,03 эв. Поэтому молено ограничиться вычислением электронной плотности в шести точках. Для получения наиболее точного решения урав­ нения Шредингера с заданным кристаллическим потенциалом необходимо использовать большое число ОПВ. В работе [259] использовалось 259 ОПВ. При увеличении числа ОПВ от 229 до

259

энергия состояний

Г1!, Г25' и Г

2-

изменяется меньше чем на

0,01

эв, a Г 15 — меньше

чем на 0,02

эв.

Однако такие вычисления

энергетических зон очень громоздки.

В

ряде случаев молено рас­

электронов в валентно» зоне кремния, вычисленные в работах
[260] (---- ) и [257] (-------- ).

304 Глава 3. Структура энергетических зон в кристаллах

считать энергетические зоны в широкой области энергий более простым способом, но для этого следует использовать эксперимен­ тально определенные параметры. Обычно такие расчеты проводят методом лсевдопотенциала, а экспериментальные значения пара­ метров находят из оптических спектров. Однако, поскольку оп­ тические методы исследования позволяют с большой точностью

определить энергетическую струк­ туру в зоне проводимости и в облас­ ти, близкой к вершине валентной зоны, может оказаться, что най­ денных по оптическим данным форм­ факторов псевдопотенциала недоста­ точно для описания Е (к) глубоколежащпх состояний валентной зоны. Для более точного определения форм­ факторов псевдопотенциала можно воспользоваться рентгеноспектраль­ ными данными, так как метод рент­ геновской спектроскопии позволяет провести исследование энергетических зон по всей ширине валентной зоны. Используя одновременно рентгеноспектральные и оптические данные, можно достаточно полно определить структуру и валентной зоны, и зоны проводимости. В работе [260] энер­ гетические зоны рассчитаны на осно­ ве оптических и рентгеноспектраль­ ных данных. Для определения форм-

факторов псевдопотенциала находился минимум величины

<д = 3 ( £ ( - ^ ) 2,

I

где Eh Е\ — соответственно экспериментальное и найденное после k итераций положение особых точек энергетических зон. Величина ак раскладывалась в ряд в окрестности выбранных значений форм­

факторов V°i по ДУг = Vt включительно до членов второго порядка. Система условных уравнений для коэффициентов при АЙ, решалась по способу наименьших квадратов. После определе­ ния коэффициентов разложения находился минимум функции вто­ рого порядка по AVt, что и дало возможность определить вели­ чины Vt.

Рентгеновская эмиссионная /<ф-полоса монокристалла крем­ ния получена на рентгеновском спектрографе с фокусировкой по

методу

Иоганна. Экспериментальный результат, приведенный

на рис.

113, хорошо согласуется сданными Лойгера [261], но на

Диэлектрики и полупроводники

305

рис. 113 наплыв В более четко выражен. Данные об энергетическом положении наплывов В, С, D, Е, F, а также точек А и G, опреде­ ляющих низкоэнергетическую и высокоэнергетическую границы

Т а б л и ц а 6

 

 

Е, эв

 

С о с т о я н и е

э к с п е р и м е н ­

р а с ч е т н ы е

р а с ч е т н ы е

 

т а л ь н ы е д а н ­

 

д а н н ы е [2 6 0 ]

д а н н ы е [2 5 9 ]

 

н ы е [2 6 0 ]

 

 

 

А Г1И B - L a'D С—Lju

1Q

CJ

Е - х 40

F- Ц 'о

о - г и '„

0

0

0

3.2

2,3

2,2

5.8

5,3

5,0

8,5

8,6

8,2

9,6

9,7

9,0

10,6

11,1

10,6

12,6

12,6

11,7

спектра (см. рис. 113), использованы при вычислении структуры энергетических зон и плотности состояний. Положение точек А и G определялось прямолинейным отсеканием низкоэнергетического и высокоэнергетического хвостов. Ь ц ш -полосы не дают [2621 дополнительной информации о структуре зон.

Рис. 114. Структура энергетических зон кремния по основ­ ным направлениям симметрии.

В интерпретации особенностей ДР-спектра кремния с точки зрения зонной структуры использовались сведения об энергиях

нескольких

оптических

переходов

[2561:

Е (Г|5С— Г25'0) = 3,4,

Е (L\c -

U-v) =

3,2,

Е (Х,е - Х4в)

=

4,1,

Е (L3c -

Ц>0) = 5,3

за.

Определялись

 

формфакторы

псевдопотенциала: V5 (3)

=

= —0,233,

V* (8) =

0,045,

Vs (11) =

0,080

рид. В табл. 6. при­

ведены

значения

энергии

в

валентной

зоне

кремния

(полученные

306 Глава 3. Структура энергетических зон в кристаллах

рентгеноспектральным методом), по которым определялись формфак­ торы псевдопотенциала, значения энергии, полученные после под­ гонки формфакторов, и результаты работы [259]. Рассчитанные по основным направлениям симметрии энергетические зоны представ­ лены на рис. 114. Для определения плотности состояний расчет проводился в 1638 точках к 1/48 части зоны Бриллюэна, т. е. в 61 776 точках всей зоны (см. рис. 113).

Рис. 115. Плотность состояний электронов в валентной зоне н зоне проводимости германия.

В работе [257] плотность состояний вычислена методом псев­ допотенциала (см. рис. 113). Формфакторы псевдопотенциала Анималу — Хейне исправлялись таким образом, чтобы можно было получить экспериментальные значения электронных масс и ширины запрещенной зоны (1,1 эв). Результаты, полученные в работах

[257]и [260] при использовании совершенно различных эксперимен­ тальных данных, согласуются.

Германий. Энергетическая зонная структура германия рассчи­ тывалась методами псевдопотенциала [256] и ОПВ [258]. В работе

[258]было использовано 229 ОПВ, в процесс самосогласования включались остовные волновые функции. Как видно на рис. 115, плотность состояний электронов германия очень похожа на плот­

ность состояний электронов кремния.

P-SiC. Энергетическая зонная структура соединения (3-SiC вычислялась нами при помощи метода псевдопотенциала. Для определения формфакторов псевдопотенциала использовались дан­ ные об энергетическом положении наплывов С, D, Е, F, а также точек А и д , определяющих низкоэнергетическую и высокоэнерге­ тическую границы эмиссионных полос (определялись прямолиней­ ным отсеканием). На рис. 116 в точках Gn В зафиксирована ширина верхней подзоны валентной зоны кристалла. Эмиссионные К- и

Диэлектрики и полупроводники

307

Lu.ш-полосы кремния в соединении (З-SiC приведены по данным работ [261, 262]. Для привязки зоны проводимости к валентной зоне дополнительно использова­ лись сведения об энергиях не­

скольких

оптических

перехо­

дов

[263]:

Е {Х\с — Г 15с() = 2,4,

 

 

 

 

 

О

5

10

15

Е, S3

 

 

 

 

 

 

 

 

Рис. 116. Рентгеновские эмис­

 

Рис.

117. Рентгеновск ие эмис­

 

сионные

 

Ln jjj-

и /СР-спектры

 

сионные Ln ItI- н ТСР-спект-

 

кремния

и

плотность состоянии

 

ры алюминия

и плотность

 

валентных электронов

в

крис­

 

состояний валентных электро­

 

 

 

 

 

талле

p-SiC.

 

 

 

нов в кристалле AlSb.

 

Е (L3c -

L3„) =

2,7,

Е (Х3с -

Х5о) =

8,3,

Е (Г15с — Г 15^) =

7,8,

Е (L\c

L3v) =

6,0,

 

Е (Г|с — Г)5с)

= 4,6 эв.

Использованные

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Та б л ица 7

в

расчете

значения

 

 

 

 

 

 

 

 

 

E t эв

 

энергии

 

валентных

со-

 

Состояние

 

экспери­

расчетные

расчетные

стоянии,

полученные

 

 

ментальные

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

данные

данные

данные

 

 

 

Та блица

8

 

 

 

 

 

 

[2 6 1 ,

2 6 2 ]

 

 

[2 6 4 ]

 

 

 

 

 

 

 

 

 

0

 

 

0

0

 

1К |2

 

1/S

уЛ

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

B

~

L

iv

 

 

8,1

 

8,8

8,8

 

 

 

 

 

 

c

~

x

i v —

 

 

9,7

10,0

 

 

3

— 0,230

0,084

W\u

 

 

 

 

 

4

 

0

0,171

D

-

K

l v -

 

 

 

 

 

 

 

 

8

 

0,149

0

 

 

 

 

 

 

 

12,3

1 2 ,0 — 12,6

 

11

 

0,316

— 0,235

 

 

 

 

 

 

14,3

14,3

14,0

 

12

 

0

0,213

 

 

 

 

 

 

 

16

 

0,151

0

 

 

 

 

 

 

 

16,1

16,1

16,2

 

 

 

r - L s v

 

 

 

19

—0,082

0,055

G

~

r

l5v

 

 

18,1

17,6

17,1

 

20

 

0

0,005

308 Глава 3. Структура энергетических зон в кристаллах

рентгеноспектральным методом, приведены в табл. 7. Как оказа­ лось, для описания зонной структуры кристалла достаточно опре­ делить 11 формфакторов псевдопотенциала. Из табл. 7 видно, что экспериментальные и расчетные значения энергии согласуются. Согласуются вычисленные значения энергии также с результатами расчета энергетических зон в кристалле (5-SiC, выполненного самосогласованным методом ОПВ [259]. Рассчитанная по найден­ ным значениям формфакторов псевдопотенциала (табл. 8) плот­ ность состояний приведена на рис. 116. Из сопоставления резуль-

Рис.

118.

Рентгеновские

эмиссионные

Рис. 119. Рентгеновский

эмнссион-

Z-H ш -

и

/CP-спектры фосфора и

плот-

ный /CP-спектр галлия и

плотность

ность состояний валентных

электронов в

состояний валентных электронов в

 

 

кристалле 1пР.

 

кристалле GaAs.

татов

работы [265] с

нашими

данными видно, что рентгеновские

эмиссионные спектры можно использовать для уточнения форм­ факторов псевдопотенциала кристалла p-SiC. Экспериментальное значение энергетического расстояния Г 16 — Х 3 равно 8,4 эв, полу­ ченное нами — 7,8 эв, а в работе [265] — 11 эв.

На основе оптических данных выполнен расчет энергетических зон кристалла BN [266]. Полученное значение ширины валентной зоны — 27,5 эв — заметно отличается от экспериментального — 22,0 эв [267]. Для уточнения результата в расчете следует исполь­ зовать рентгеноспектральные данные.

AlSb, InP, GaAs, ZnSe. При расчете плотности состояний элект­ ронов в валентной зоне кристаллов, AlSb, InP, GaAs, ZnSe нами использовались формфакторы псевдопотенциала, найденные в ра­ ботах [256] (AlSb, InP), [268] (GaAs), [2691 (ZnSe). Рентгеновские эмиссионные полосы в этих соединениях были исследованы в рабо­

тах

[261, 270] (/(- и Ац.ш-полосы

алюминия в AlSb),

[271—273]

(К-

и Ап.ш-полосы фосфора в InP),

[274] (/(-полосы галлия в GaAs

и цинка в ZnSe). На рис. 117— 120 видно, что плотность

состояний

Диэлектрики и полупроводники

309

в соединениях AlSb, InP, GaAs и ZnSe имеет сходную структуру. Как и в кристалле fl-SiC, валентная зона состоит из двух подзон, разделенных энергетическим интервалом. В нижней подзоне нахо­ дятся преимущественно s-состояния, в верхней — у вершины ва­ лентной зоны больше примеси p-состояний, а у дна заметна примесь s-состояний. Вычисленные и наблюдаемые в эмиссионных спектрах наиболее ясно выраженные особенности изменения плот­ ности состояний для кристаллов AlSb, InP, GaAs согласуются по

- I ._____ I

|

1 I

 

L A

 

Г

А Х

 

О

5

10

Е , э в

 

 

 

Рис. 120. Рентгеновский эмиссион­

Рис. 121.

Структура

 

энергети­

ный /бР-спектр

цинка и

плотность

ческих

зон кристалла

ВР

по

состояний валентных электронов

в

основным

направлениям

сим­

 

кристалле ZnSe.

 

 

 

метрии.

 

 

 

энергетическому

положению.

В

кристаллах (3-SiC, AlSb, InP ин­

тенсивность излучения

в области энергии,

попадающей

в

запре­

щенную зону между двумя подзонами, не обращается в нуль.

Ширина

максимума С в К- и Ац,in-полосах

алюминия в AlSb,

CL — в

Ац.ш-полосе фосфора в InP заметно превышает энергети­

ческую

ширину нижней подзоны валентной

зоны. Наблюдаемые

эффекты уширения, по-видимому, обусловлены шириной внутрен­ него уровня (энергетическое расстояние между неразрешенными в электронном спектре Ап- и Аш-переходами составляет примерно 1 эв), Оже-переходами, несовершенством кристаллической решетки. В К- и Ац.ш-полосах фосфора кристалла InP расстояние между максимумами Вк и Вl равно 0,7 эв. Это, вероятно, связано, с ошиб­ кой в совмещении К -и Ац,ш-полос, допущенной в работе [271].

Сравнение рассчитанных плотностей состояний с рентгенов­ скими эмиссионными спектрами позволяет оценить роль вероят­ ности перехода, по-разному изменяющей плотность состояний в К- и Ац.ш-полосах.

ВР. Энергетическая зонная структура кристалла ВР рассчи­ тана в работах [98, 99] методом ОПВ. Как видно на рис. 121, верхняя

Соседние файлы в папке книги из ГПНТБ