
книги из ГПНТБ / Немошкаленко В.В. Теоретические основы рентгеновской эмиссионной спектроскопии
.pdf300 Глава 3. Структура энергетических вон е кристаллах
вычислялась в работе [241]. Кристаллический потенциал определял ся обычным способом [43] по атомным функциям [41 ]. Использовался
обменный потенциал У£бМ. Радиусы сфер выбирались так, чтобы сферы ближайших атомов-соседей касались и в точке касания значения потенциалов для обоих центров кристалла совпадали. Постоянное значение потенциала вне атомных сфер принималось
Рис. 105. Плотность состояний электронов в валентной зоне сплава P-CuZn.
равным общему значению потенциала в точке их касания. Вычис ления показали, что ширина зоны, соответствующей Зс(-состояниям цинка, равна 0,05 рид и локализована у дна валентной зоны. Ши
рина зоны, |
соответствующей Sd-состояниям меди, больше 0,2 |
рид. |
|
В кристалле P-CuZn 4s- и |
4р-состояниям цинка и 4s- и 4р-состоя- |
||
ниям меди |
соответствует |
широкая зона — 0,6 рид, подобная |
зо |
нам свободных электронов. В нижней d-зоне зарядовая плотность определяется гармоникой с I = 2 в сфере цинка, а в верхней d-зоне она содержит примесь других гармоник. Плотность состояний, вычисленная в работе [241], представлена на рис. 105. Узкий пик на рисунке соответствует 3 d -3 0 H e цинка, а широкий — 3d-30ne меди. Незначительное отличие Ферми-поверхности от Ферми-по- верхности свободных электронов подтверждается эксперименталь ными измерениями эффекта де Гааза — ван Альфена [241], а ве личина плотности состояний на уровне Ферми — измерениями низкотемпературной удельной теплоемкости [242].
P-NiA). Энергетические зоны и плотность состояний электронов сплава p-NiAl вычислены в работе [243] методом ППВ. Основное
302 Глава 3. Структура энергетических зон в кристаллах
отличие в энергетической зонной структуре сплавов fl-NiAl и P-CuZn заключается в том, что ЗсРзоны никеля в сплаве p-NiAl расположены ближе к уровню Ферми, чем Зй-зоны цинка в сплаве p-CuZn, и узкие ЗсРзоны в сплаве (i-NiAl не наблюдаются вблизи дна валентной зоны. Плотность состояний электронов в валентной зоне и зоне проводимости, вычисленная в работе [243], представлена на рис. 106. Анализ зарядовой плотности [244] показал, что заряд на уровне Ферми определяется в основном s- и р-электронами алю миния.
VMn, TiFe, ScCo, NiMn. В работе [245] рассчитаны энергети ческая зонная структура упорядоченных сплавов VMn и TiFe методом функции Грина и плотность состояний в валентной зоне и зоне проводимости неупорядоченных сплавов VMn, TiFe методом когерентного потенциала. Плотности состояний электронов в ва лентной зоне и зоне проводимости упорядоченного и неупорядочен
ного |
сплавов VMn весьма близки (рис. 107), |
а |
соответствующие |
|
плотности состояний упорядоченного и неупорядоченного |
спла |
|||
вов |
TiFe заметно отличаются (рис. 108). Это |
|
объясняется |
тем, |
что |
потенциалы ванадия и марганца в сплавах |
VMn меньше отли |
||
чаются друг от друга, чем потенциалы титана |
и железа в спла |
|||
вах |
TiFe, |
|
|
|
Вработе [245] вычислена также плотность состояний электронов
ввалентной зоне и зоне проводимости сплава ScCo (рис. 109),
вработе [246] — плотность состояний электронов упорядоченного
инеупорядоченного сплавов NiMn (рис. 110). Расчет плотности состояний упорядоченных сплавов выполнен методом, предложен ным в работе [246], а неупорядоченных — методом когерентного потенциала. Характерной особенностью плотности состояний элек тронов в упорядоченном и неупорядоченном сплавах NiMn явля ется низкая плотность состояний на уровне Ферми (плотность состояний чистого никеля на уровне Ферми высокая).
ДИЭЛЕКТРИКИ И ПОЛУПРОВОДНИКИ
Алмаз. Алмаз является сравнительно простым кристаллом с точки зрения его электронной структуры, поэтому именно на нем обычно апробируются методы расчета энергетических зон. Энерге тические зоны алмаза вычислялись различными методами: ОПВ [247], псевдопотенциала [248—251], ППВ [252], сильной связи [253], дискретным вариационным [254] (последний отличается от метода сильной связи вычислением интегралов перекрытия). Ре зультаты, полученные в работах [252—254], хорошо согласуются. В работе [254] вычислена зависимость ширины запрещенной зоны при прямых и непрямых переходах, а также ширины валентной зоны от параметра а в обменном потенциале Va (рис. 111). Как
Диэлектрики и полупроводники |
303 |
оказалось, эта зависимость несущественна, так как при изменении
а от 0,67 (У*бмШ) До единицы (У^м) изменение указанных величин составляет менее 6% (минимум зоны проводимости достигается
2я
в направлении Д в точке х = —— (0,8; 0; 0)). Плотность состоя
ний электронов в валентной зоне и зоне проводимости алмаза вычислялась при а = 0,76 (рис. 112), так как в этом случае теоре-
зоны (— • —) от фактора а в об- |
в валентной зоне и зоне проводимости ал- |
менном потенциале алмаза. |
маза. |
тическое значение ширины запрещенной зоны при непрямых пере ходах 5,47 эв совпадает с экспериментальным.
Кремний. Энергетические зоны кремния вычислялись методами псевдопотенциала [255—257], ОПВ с введением эмпирических по правок [74, 247, 258] и самосогласованным методом ОПВ [259]. Результаты, полученные в последней работе, представляют интерес особенно потому, что позволяют оценить, какой точности можно достичь при последовательном теоретическом вычислении структуры энергетических зон. Для определения потенциала электронная плотность вычислялась в четырех и шести точках к зоны Бриллюэна. Суммарная электронная плотность находилась при помощи весовых множителей, пропорциональных объемам областей зоны Бриллюэна, наиболее близких к рассматриваемой точке. Макси мальное отличие в вычисленных значениях энергии при этих двух аппроксимациях к электронной плотности составляет 0,03 эв. Поэтому молено ограничиться вычислением электронной плотности в шести точках. Для получения наиболее точного решения урав нения Шредингера с заданным кристаллическим потенциалом необходимо использовать большое число ОПВ. В работе [259] использовалось 259 ОПВ. При увеличении числа ОПВ от 229 до
259 |
энергия состояний |
Г1!, Г25' и Г |
2- |
изменяется меньше чем на |
|
0,01 |
эв, a Г 15 — меньше |
чем на 0,02 |
эв. |
Однако такие вычисления |
|
энергетических зон очень громоздки. |
В |
ряде случаев молено рас |
304 Глава 3. Структура энергетических зон в кристаллах
считать энергетические зоны в широкой области энергий более простым способом, но для этого следует использовать эксперимен тально определенные параметры. Обычно такие расчеты проводят методом лсевдопотенциала, а экспериментальные значения пара метров находят из оптических спектров. Однако, поскольку оп тические методы исследования позволяют с большой точностью
определить энергетическую струк туру в зоне проводимости и в облас ти, близкой к вершине валентной зоны, может оказаться, что най денных по оптическим данным форм факторов псевдопотенциала недоста точно для описания Е (к) глубоколежащпх состояний валентной зоны. Для более точного определения форм факторов псевдопотенциала можно воспользоваться рентгеноспектраль ными данными, так как метод рент геновской спектроскопии позволяет провести исследование энергетических зон по всей ширине валентной зоны. Используя одновременно рентгеноспектральные и оптические данные, можно достаточно полно определить структуру и валентной зоны, и зоны проводимости. В работе [260] энер гетические зоны рассчитаны на осно ве оптических и рентгеноспектраль ных данных. Для определения форм-
факторов псевдопотенциала находился минимум величины
<д = 3 ( £ ( - ^ ) 2,
I
где Eh Е\ — соответственно экспериментальное и найденное после k итераций положение особых точек энергетических зон. Величина ак раскладывалась в ряд в окрестности выбранных значений форм
факторов V°i по ДУг = Vt — V° включительно до членов второго порядка. Система условных уравнений для коэффициентов при АЙ, решалась по способу наименьших квадратов. После определе ния коэффициентов разложения находился минимум функции вто рого порядка по AVt, что и дало возможность определить вели чины Vt.
Рентгеновская эмиссионная /<ф-полоса монокристалла крем ния получена на рентгеновском спектрографе с фокусировкой по
методу |
Иоганна. Экспериментальный результат, приведенный |
на рис. |
113, хорошо согласуется сданными Лойгера [261], но на |
306 Глава 3. Структура энергетических зон в кристаллах
рентгеноспектральным методом), по которым определялись формфак торы псевдопотенциала, значения энергии, полученные после под гонки формфакторов, и результаты работы [259]. Рассчитанные по основным направлениям симметрии энергетические зоны представ лены на рис. 114. Для определения плотности состояний расчет проводился в 1638 точках к 1/48 части зоны Бриллюэна, т. е. в 61 776 точках всей зоны (см. рис. 113).
Рис. 115. Плотность состояний электронов в валентной зоне н зоне проводимости германия.
В работе [257] плотность состояний вычислена методом псев допотенциала (см. рис. 113). Формфакторы псевдопотенциала Анималу — Хейне исправлялись таким образом, чтобы можно было получить экспериментальные значения электронных масс и ширины запрещенной зоны (1,1 эв). Результаты, полученные в работах
[257]и [260] при использовании совершенно различных эксперимен тальных данных, согласуются.
Германий. Энергетическая зонная структура германия рассчи тывалась методами псевдопотенциала [256] и ОПВ [258]. В работе
[258]было использовано 229 ОПВ, в процесс самосогласования включались остовные волновые функции. Как видно на рис. 115, плотность состояний электронов германия очень похожа на плот
ность состояний электронов кремния.
P-SiC. Энергетическая зонная структура соединения (3-SiC вычислялась нами при помощи метода псевдопотенциала. Для определения формфакторов псевдопотенциала использовались дан ные об энергетическом положении наплывов С, D, Е, F, а также точек А и д , определяющих низкоэнергетическую и высокоэнерге тическую границы эмиссионных полос (определялись прямолиней ным отсеканием). На рис. 116 в точках Gn В зафиксирована ширина верхней подзоны валентной зоны кристалла. Эмиссионные К- и
Диэлектрики и полупроводники |
307 |
Lu.ш-полосы кремния в соединении (З-SiC приведены по данным работ [261, 262]. Для привязки зоны проводимости к валентной зоне дополнительно использова лись сведения об энергиях не
скольких |
оптических |
перехо |
|
дов |
[263]: |
Е {Х\с — Г 15с() = 2,4, |
|
|
|
|
|
О |
5 |
10 |
15 |
Е, S3 |
|
|
|
|
|
|
|
|
Рис. 116. Рентгеновские эмис |
|
Рис. |
117. Рентгеновск ие эмис |
||||||||||||
|
сионные |
|
Ln jjj- |
и /СР-спектры |
|
сионные Ln ItI- н ТСР-спект- |
||||||||||
|
кремния |
и |
плотность состоянии |
|
ры алюминия |
и плотность |
||||||||||
|
валентных электронов |
в |
крис |
|
состояний валентных электро |
|||||||||||
|
|
|
|
|
талле |
p-SiC. |
|
|
|
нов в кристалле AlSb. |
|
|||||
Е (L3c - |
L3„) = |
2,7, |
Е (Х3с - |
Х5о) = |
8,3, |
Е (Г15с — Г 15^) = |
7,8, |
|||||||||
Е (L\c |
L3v) = |
6,0, |
|
Е (Г|с — Г)5с) |
= 4,6 эв. |
Использованные |
||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Та б л ица 7 |
в |
расчете |
значения |
||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
E t эв |
|
энергии |
|
валентных |
со- |
||
|
Состояние |
|
экспери |
расчетные |
расчетные |
стоянии, |
полученные |
|||||||||
|
|
ментальные |
|
|
|
|
|
|
||||||||
|
|
|
|
|
|
данные |
данные |
данные |
|
|
|
Та блица |
8 |
|||
|
|
|
|
|
|
[2 6 1 , |
2 6 2 ] |
|
|
[2 6 4 ] |
|
|
|
|||
|
|
|
|
|
|
0 |
|
|
0 |
0 |
|
1К |2 |
|
1/S |
уЛ |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
B |
~ |
L |
iv |
|
|
8,1 |
|
8,8 |
8,8 |
|
|
|
|
|
|
|
c |
~ |
x |
i v — |
|
|
9,7 |
10,0 |
|
|
3 |
— 0,230 |
0,084 |
||||
W\u |
|
|
|
|
— |
|
4 |
|
0 |
0,171 |
||||||
D |
- |
K |
l v - |
|
|
|
|
|
|
|
|
8 |
|
0,149 |
0 |
|
|
|
|
|
|
|
12,3 |
1 2 ,0 — 12,6 |
— |
|
11 |
|
0,316 |
— 0,235 |
|||
|
|
|
|
|
|
14,3 |
14,3 |
14,0 |
|
12 |
|
0 |
0,213 |
|||
|
|
|
|
|
|
|
16 |
|
0,151 |
0 |
|
|||||
|
|
|
|
|
|
16,1 |
16,1 |
16,2 |
|
|
|
|||||
r - L s v |
|
|
|
19 |
—0,082 |
0,055 |
||||||||||
G |
~ |
r |
l5v |
|
|
18,1 |
17,6 |
17,1 |
|
20 |
|
0 |
0,005 |
308 Глава 3. Структура энергетических зон в кристаллах
рентгеноспектральным методом, приведены в табл. 7. Как оказа лось, для описания зонной структуры кристалла достаточно опре делить 11 формфакторов псевдопотенциала. Из табл. 7 видно, что экспериментальные и расчетные значения энергии согласуются. Согласуются вычисленные значения энергии также с результатами расчета энергетических зон в кристалле (5-SiC, выполненного самосогласованным методом ОПВ [259]. Рассчитанная по найден ным значениям формфакторов псевдопотенциала (табл. 8) плот ность состояний приведена на рис. 116. Из сопоставления резуль-
Рис. |
118. |
Рентгеновские |
эмиссионные |
Рис. 119. Рентгеновский |
эмнссион- |
|
Z-H ш - |
и |
/CP-спектры фосфора и |
плот- |
ный /CP-спектр галлия и |
плотность |
|
ность состояний валентных |
электронов в |
состояний валентных электронов в |
||||
|
|
кристалле 1пР. |
|
кристалле GaAs. |
||
татов |
работы [265] с |
нашими |
данными видно, что рентгеновские |
эмиссионные спектры можно использовать для уточнения форм факторов псевдопотенциала кристалла p-SiC. Экспериментальное значение энергетического расстояния Г 16 — Х 3 равно 8,4 эв, полу ченное нами — 7,8 эв, а в работе [265] — 11 эв.
На основе оптических данных выполнен расчет энергетических зон кристалла BN [266]. Полученное значение ширины валентной зоны — 27,5 эв — заметно отличается от экспериментального — 22,0 эв [267]. Для уточнения результата в расчете следует исполь зовать рентгеноспектральные данные.
AlSb, InP, GaAs, ZnSe. При расчете плотности состояний элект ронов в валентной зоне кристаллов, AlSb, InP, GaAs, ZnSe нами использовались формфакторы псевдопотенциала, найденные в ра ботах [256] (AlSb, InP), [268] (GaAs), [2691 (ZnSe). Рентгеновские эмиссионные полосы в этих соединениях были исследованы в рабо
тах |
[261, 270] (/(- и Ац.ш-полосы |
алюминия в AlSb), |
[271—273] |
(К- |
и Ап.ш-полосы фосфора в InP), |
[274] (/(-полосы галлия в GaAs |
|
и цинка в ZnSe). На рис. 117— 120 видно, что плотность |
состояний |

Диэлектрики и полупроводники |
309 |
в соединениях AlSb, InP, GaAs и ZnSe имеет сходную структуру. Как и в кристалле fl-SiC, валентная зона состоит из двух подзон, разделенных энергетическим интервалом. В нижней подзоне нахо дятся преимущественно s-состояния, в верхней — у вершины ва лентной зоны больше примеси p-состояний, а у дна заметна примесь s-состояний. Вычисленные и наблюдаемые в эмиссионных спектрах наиболее ясно выраженные особенности изменения плот ности состояний для кристаллов AlSb, InP, GaAs согласуются по
- I ._____ I |
| |
1 I |
|
L A |
|
Г |
А Х |
|
||
О |
5 |
10 |
Е , э в |
|
|
|
||||
Рис. 120. Рентгеновский эмиссион |
Рис. 121. |
Структура |
|
энергети |
||||||
ный /бР-спектр |
цинка и |
плотность |
ческих |
зон кристалла |
ВР |
по |
||||
состояний валентных электронов |
в |
основным |
направлениям |
сим |
||||||
|
кристалле ZnSe. |
|
|
|
метрии. |
|
|
|
||
энергетическому |
положению. |
В |
кристаллах (3-SiC, AlSb, InP ин |
|||||||
тенсивность излучения |
в области энергии, |
попадающей |
в |
запре |
щенную зону между двумя подзонами, не обращается в нуль.
Ширина |
максимума С в К- и Ац,in-полосах |
алюминия в AlSb, |
CL — в |
Ац.ш-полосе фосфора в InP заметно превышает энергети |
|
ческую |
ширину нижней подзоны валентной |
зоны. Наблюдаемые |
эффекты уширения, по-видимому, обусловлены шириной внутрен него уровня (энергетическое расстояние между неразрешенными в электронном спектре Ап- и Аш-переходами составляет примерно 1 эв), Оже-переходами, несовершенством кристаллической решетки. В К- и Ац.ш-полосах фосфора кристалла InP расстояние между максимумами Вк и Вl равно 0,7 эв. Это, вероятно, связано, с ошиб кой в совмещении К -и Ац,ш-полос, допущенной в работе [271].
Сравнение рассчитанных плотностей состояний с рентгенов скими эмиссионными спектрами позволяет оценить роль вероят ности перехода, по-разному изменяющей плотность состояний в К- и Ац.ш-полосах.
ВР. Энергетическая зонная структура кристалла ВР рассчи тана в работах [98, 99] методом ОПВ. Как видно на рис. 121, верхняя