книги из ГПНТБ / Слабкий Л.И. Методы и приборы предельных измерений в экспериментальной физике
.pdfдатчика, который пропорционален смещению центра массы подве са относительно некоторого положения равновесия (дна по тенциальной ямы) и скорости его изменения. В качестве датчика сигнала ошибки применяется обычно либо индуктивный, либо ем костный датчик, являющийся составной частью колебательного контура, питаемого от генератора высокой частоты (1—10 Мгц). Расстройка этого контура при изменении параметров датчика и соз дает сигнал ошибки, который усиливается и подается для питания катушки-соленоида. Кроме этого сигнала, пропорционального Дх
(смещению), обычно берется сигнал, пропорциональный Дх, кото
рый получают путем дифференцирования сигнала U (Дх) на RC- цепочке. Этот сигнал U (Дх), с опережением по фазе, также пода ется на сетки ламп, управляющих током соленоида.
На рис. 58—60 приведены некоторые практические схемы маг нитных подвесов [4—8].
Отметим, что такого рода схемы обладают довольно узким диа пазоном устойчивой работы и требуют тщательной настройки и конт роля всех напряжений. Типичные неустойчивости — это либо воз никновение вынужденных колебаний объекта подвеса, либо его плавное опускание (подъем). Обычно целесообразно применять ре
гулировку не только по усилению сигналов U (Дх) и U (Дх), но и изменять частоту генератора, его амплитуду и т. д. В некоторых случаях целесообразно применение добавочных (дифференциальных)
обмоток на соленоидах для прямого получения сигналов U (Ах) и
даже U (Дх). Весьма существенным является также выбор материа лов для сердечника соленоида и объекта подвеса; наиболее под ходит для этой цели мягкое железо типа АРМКО, либо магнитодиэлектрики с малыми потерями на гистерезис и малой # с.
Система регистрации крутильных колебаний таких весов мо жет быть как радиотехнической, так и оптической, причем в каче стве «возвращающей пружины» может быть использован заряжен
ный |
дифференциальный конценсатор. |
||
Магнитный подвес может быть осуществлен и без применения |
|||
электронной |
следящей системы, |
а именно, на основе использова |
|
ния |
свойств |
сверхпроводников |
как идеальных диамагнетиков. |
На |
рис. 61 показаны различные конфигурации магнитных полей |
||
вблизи сверхпроводящей сферы, создаваемых двумя витками с то ком, а на рис. 62 и 63 — конструктивные элементы такого подвеса с использованием постоянных магнитов. На рис. 64 показан сверх проводящий шар, висящий в поле двух катушек с током. Вся си стема помещена в дьюар с жидким гелием (см. [76] в разд. 5).
6 Л. И. Слабкпй |
161 |
|
0,76см |
Рис. 63. Конструкция постоянных магнитов для |
криогенного подвеса |
а — магнитная система с полюсными наконечниками; |
б — система без полюсных нако- |
нечннков |
|
Рис. 64. Сфера из сверхпроводника, свободно «парящая» в магнитном поле, соз данном системой катушек с током
Г л а в а 2
ИЗМЕРЕНИЕ МАЛЫХ ЛИНЕЙНЫХ ПЕРЕМЕЩЕНИЙ
В настоящее время известно довольно много различных ус тройств как оптических, так и радиотехнических (например, диф ференциальные трансформаторы, потенциометрические датчики и т. д.)> которые позволяют измерять достаточно малые относитель ные перемещения каких-либо двух макроскопических тел. Их чув ствительность, однако, невелика — предельно регистрируемые та кими датчиками смещения составляют единицы или доли микрона.
Однако в целом ряде случаев требуется измерять значительно меньшие величины смещений, например порядка ІО-8 см (1 А) и даже ІО-11 см или еще меньше. Для этих целей могут быть исполь зованы либо специальные оптические датчики, либо емкостные дат чики, к описанию которых мы перейдем несколько ниже. Покажем, что столь малые смещения, в принципе, также хорошо измеримы, как и большие. Это никак не «противоречит» атомарной струк туре поверхностей, смещение которых друг относительно друга подлежит измерению, поскольку интегральная (средняя) геомет рическая плоскость практически не испытывает заметных флуктуа ций. Покажем это.
Оценка для величины среднеквадратической флуктуации длины жесткого стержня с коэффициентом жесткости % для собственных колебаний в области частот до резонанса может быть найдена по следующей формуле:
(Д І2)7’ = к -1 (F2)7*, |
(4.5) |
где величина силы F'2 определяется флуктуационной теоремой Найк виста
|
Р = 4^Г Я Д /. |
(4.6) |
|
Здесь А/ — полоса |
пропускания измерительной |
системы; Я — |
|
коэффициент трения, |
определяемый |
как |
|
|
Я = - рпез- |
-, |
(4.7) |
|
Ѵмех |
|
|
где Шез — собственная (основная) |
резонансная |
частота стерж |
|
ня для его продольных колебаний; т* — эффективная масса стерж
ня; QMex — его механическая добротность. |
|
L = 10 см |
|
Для случая тонкого бронзового стержня длиной |
|||
(т* = 1 г, Q„ex — 102, Ш ез ~ 5,53-10* рад-с-1, |
Я |
~ |
5,53 ДО2) |
при температуре Т = 300° К и полосе частот А/ = |
1 |
гц |
находим |
AL = ('ДГ2)7* ~ 3,15-ІО“ 18 см.
Таким образом, даже при Д/ = 1 гц среднеквадратическая ампли туда флуктуации положения торца стержня значительно меньше,
163 |
6 * |
чем ІО“1'2 см, а тем более — характерного атомного размера, рав ного ~ 1 0 -8 см.
В следующих параграфах будет дано описание различных ем костных датчиков и проведена оценка их влияния на измеритель ные системы.
§1. Емкостные датчики
иих предельная чувствительность
На рис. 65 приведена электрическая схема емкостного датчика, в котором для увеличения стабильности его работы применена мо стовая схема включения, двух контуров — измерительного L 1C1
.Рис. 65. Мостовая схема для регистрации малых изменений измерительной ем кости датчика смещений, подключенного к контуру L2C2
и контура сравнения L 2C2. В качестве источника питания такого моста использован кварцевый генератор, который обеспечивает более высокую стабильность работы всей схемы, чем в случае схе мы рис. 56, так как, во-первых, его частотная стабильность весь ма высока (Асо/со ~ 10_6 н- ІО-7 ) и, во-вторых, наличие дифферен циальной схемы включения контуров обеспечивает почти полную независимость амплитуды выходного напряжения от нестабиль ности параметров их катушек. При этом, однако, сохраняются ам плитудные флуктуации, что ограничивает реальную чувствитель ность такой схемы величиной регистрируемого смещения ALml„ ~
~(10~8 -г- Ю- 9 ) см для А/ ~ 0,1 -f- 1 гц.
Величина выходного сигнала для емкостного датчика при оп
тимальной настройке на склон резонансной кривой измеритель ного контура равна, как известно:
А£Увых = 0,5UoQan -Щ- -= 0,5UoQgj, |
, |
(4.8) |
164
где Uо — фактическое напряжение на контуре; Q3iII — добротность контура; d — расстояние между пластинами емкостного датчика.
Из этой формулы следует, что для уменьшения регистрируемой величины Лd необходимо максимально уменьшать d, С/ВЬ1Х и уве личивать Uо и Q3JI. Здесь, однако, есть свои ограничения, которые не позволяют изменять эти параметры неограниченно. Дело в том, что увеличение напряжения U0 на контуре приводит к увеличению силы притяжения между пластинами датчика — конденсатора, что не всегда допустимо. Кроме того, флуктуация величины ІІ0 также может привести к неприятным последствиям.
Условие малости влияния параметра ІІа на измерительную систему типа дифференциальных весов можно записать в виде
(4.9)
где С — емкость датчика; d Q— расстояние между его пластинами. Если же применена система компенсации этой силы электростати ческого взаимодействия, то данное условие заменится следующим:
б |
с и і |
CUl |
6U0 |
(4.10) |
2d0 |
|
Uo « { F L ^ , |
||
|
|
|
где бU0/U 0— относительная нестабильность высокочастотного на пряжения на контуре. Так, если С — 10 пф, d0 ~ 10-2 см, U0 = ■= 3 В и 2 (бU0/U о) = 2 -10_ 5, то б (CU0/2d0) ~ 10~ в Н, в то вре
мя как величина (Емех)'/г при Т = 300° и. А/ = 1 гц значительно ниже. Таким образом, такой датчик не позволит измерить предель ные значения колебаний весов, определяемых флуктуационной
силой (Емех)І/г- Дело, однако, будет обстоять еще хуже, если учесть влияние емкостного датчика на динамические свойства колебатель ной системы, амплитуду колебаний которой он измеряет.
Следуя [9], будем различать два типа настройки датчика от носительно высокочастотного питающего генератора:
а) |
со |
генератора > |
со 0 = |
1/-/LC (правый склон резонансной |
|
кривой |
контура); |
|
|
__ |
|
б) |
со |
генератора С |
со 0 = |
1 у |
LC (левый склон) |
(здесь L и С — индуктивность |
и емкость измерительного контура |
||||
емкостного датчика).
В случае работы на левом склоне имеет место внесение добавоч ного затухания в измерительную систему (например, в случае ве сов происходит увеличение декремента затухания механических колебаний при одновременном увеличении их периода), причем затухание тем больше, чем больше величина высокочастотного на пряжения Uc на контуре.
При работе на правом склоне, наоборот, наблюдается раскачка механических колебаний системы, в которую включен емкостной датчик, и чем больше величина,0 С, тем сильнее уменьшается ре зультирующий декремент затухания. Уже при значении Uc = (2 -ь
165
Ч- 3) В в системе типа крутильных весов (ѵкр ~ 9 -ІО-3 гц, со0 ~ ~ 10_ 5 радje) нарастание амплитуды колебаний происходит даже при очень малых начальных амплитудах.
Причина этого явления заключается в том, что ввиду возникно вения между пластинами измерительного конденсатора сил элект ростатического взаимодействия в систему вносится некоторая диффе
ренциальная жесткость Ах, которая |
определяется как |
|
|
дРэл |
|
(4.11) |
|
dd |
' |
||
|
где Fэл — электрическая сила; dd — изменение зазора измеритель ного конденсатора в процессе колебаний механической системы.
Поскольку сила F3J1 и напряжение на контуре Uc равны:
|
|
|
|
Fэ |
си\ |
|
oll2. |
|
|
|
|
|
(4.12)' |
|||||
|
|
|
|
2d0 |
|
Bml0 |
|
|
|
|
|
|||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||
и |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
О |
\о |
|
2 |
1 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
—‘/я |
|
|
|
||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
(V).ген \ " |
+ |
со |
|
(4.13) |
||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
“ 5 |
/ |
~ s S ~ |
J |
|
||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
"0<2эл |
|
|
|
|
|||
(£/„ — напряжение |
генератора) |
и |
учитывая, |
что при |
оптималь |
|||||||||||||
ной |
настройке |
величина |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
_ |
I |
I |
ß |
|
|
|
(4.14) |
||
|
|
|
|
|
|
|
CÜg |
|
|
|
2<3эл |
|
|
|||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||
и ß ~ |
1 (при этом Ua ~ |
0,707 (УтаХ), получим для малых отклоне |
||||||||||||||||
ний у от величины d0 [9]: |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||
|
Fэл — |
|
16яdg |
|
|
|
|
|
|
І |
~4~ |
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
+ |
4ß3 (ß — 1) |
п 3 |
(_у_ |
|
|
(4.15) |
||||||
|
|
|
|
|
|
(1 + ß*)» |
Уэл [ d0 |
|
|
|||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||
причем знаки + |
|
и — |
соответствуют |
правому и левому |
скло- |
|||||||||||||
нам резонансной |
кривой. |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||
|
В линейном приближении величина Ах будет равна: |
|
|
|||||||||||||||
|
Ах = |
дРэл |
|
.—1 дРт |
= |
+ |
UIQL° |
|
|
(4.16) |
||||||||
|
ди |
|
ао |
дх |
|
16ЯС^ |
|
8яdg |
||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||
(t/G — значение |
амплитуды |
|
колебаний |
на контуре при ß = |
±1), |
|||||||||||||
т. |
е. вносимая жесткость будет иметь разный знак (такой же, |
как |
||||||||||||||||
знак ß) при настройке на правый (ß ~ |
+1) или на левый (ß ~ |
|
—1) |
|||||||||||||||
склоны |
резонансной кривой. |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||
|
Например, для |
механической системы с параметрами т = 4 г, |
||||||||||||||||
т 0 = |
12 |
с, хэкв = |
1,3-ІО-3 НІсм |
при |
напряжении |
Uc = |
6 |
В, |
||||||||||
Qaji = |
50, 6 = 4 см2 и d0 = |
0,15 см величина Дх = 0,5- ІО-5 НІсм, |
||||||||||||||||
т. |
е. |
соизмерима с хЭкв- |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||
166
Условие возникновения нарастающих колебаний в механиче ской системе с емкостным датчиком можно получить следующим образом. Поскольку установление процесса колебаний в контуре при его расстройке происходит за некоторое конечное время, то внесение добавочной жесткости в систему происходит с задерж кой.
Поэтому уравнение крутильных колебаний будет иметь вид
тэкву + Ну + (%экв ± Ахх)и = 0, |
(4.17) |
причем характерное время запаздывания т равно
т = - ^ - ~ 1 0 - 5 с |
(4.18) |
(здесь Н — коэффициент трения).
Для правого склона (знак + перед Дх) область, в которой .бу дет иметь место самовозбуждение, определяется условием
|
|
Я г /< | Дхтг/|, |
|
(4.19) |
|
т. е., с |
учетом малости колебаний, можно |
написать |
для условия |
||
самовозбуждения |
|
|
|
|
|
|
|
Н = Дхт 4 - ^ Д х тт, |
|
(4.20) |
|
|
|
|
У |
|
|
а минимальное значение напряжения Uc на контуре, |
приводящее |
||||
к «раскачке», будет |
равно |
|
V. |
|
|
|
|
Uо, min ' |
шмехотэкв8^ 0 |
(4.21) |
|
|
|
ЯмехСГПЗэп |
|
||
|
|
|
|
|
|
Оценка величины |
{УСіт1п Для рассматриваемой системы дает |
||||
UCimln |
23 В, в то время как экспериментально наблюдается рас |
||||
качка уже при 2-^3 В. Это объясняется тем, что при неоптимальной
настройке (например, для ß ^ 2) |
и амплитуде колебаний ~ 1 0 -3 |
||
см необходимо учитывать нелинейные члены, так |
как при |
этих |
|
условиях именно они являются |
определяющими; |
кроме |
того, |
вследствие различных флуктуаций всегда имеют место некоторые начальные колебания весов, что способствует их раскачке.
Эффекты, аналогичные рассмотренному, могут иметь место в различных электромеханических системах, в частности в магнит ных подвесах, вызывая неустойчивость системы подвеса.
Возвращаясь теперь к чувствительности емкостного датчика, можно сказать, что несмотря на принципиальную возможность измерять радиотехническими средствами весьма малые смещения
(например, для б/вых ~ |
ІО-8 В, dü = 10_3 см, Uй ~ |
20 В, Q3n~ |
~ 103, Admin^lO-14 см), |
реальный учет взаимного |
влияния дат |
чика и колебательной системы приводит к значительно меньшим величинам допустимой чувствительности. Так, по данным [13, 14],
167
чувствительность емкостного датчика была доведена до ІО-11 см, однако реализация такой чувствительности, с учетом всего сказан ного, не является очень простым делом, особенно для систем с ма лой жесткостью.
§ 2. Оптические датчики малых смещений
Рассмотрим некоторые типы оптических датчиков для регистра ции малых перемещений, основанных на прерывании светового потока
вфокусе линзы, в также растровые и интерференционные датчики
идатчики, в которых используются газовые лазеры.
Рис. 66. Оптическая схема датчика малых смещений
На рис. 66 приведена схема оптического датчика с предельной
чувствительностью ~ 10 -в |
см. |
~ 1 0 -2 |
|
При чувствительности |
фотосопротивления, равной |
||
АІлм-В, и напряжении на нем U — ІО2 В величина тока |
/ (в А) |
||
равна падающему световому потоку (в лм). |
|
||
Так, для схемы рис. |
66 при L= ІО2 см, F = 1 см и лампе в 25 се |
||
на фотосопротивление |
(ФС) (без учета потерь в окуляре) |
падает |
|
—2,5-10~3 лм, что вызывает ток / = 2,5-10-3 А. Используя галь ванометр с чувствительностью 10-10 A/дел (~ 10 - 5 В/дел), можно сравнительно просто заметить изменение потока на 2,5-10- 7 его величины, а поскольку размер изображения нити накала в фокаль ной плоскости окуляра равен ~ 1 0 -2 см, то перемещение лезвия — экрана — на 10-2 см полностью перекроет весь световой поток. Таким образом, регистрируя изменение этого потока на 2,5-ІО-7 его величины, можно тем самым измерить смещение лезвия экрана на 2,5-10"9 см.
В действительности, однако, этого не удается достичь по следую щим причинам. Во-первых, при квазистатических (медленных) измерениях в сильной степени сказываются собственные шумы и
нестабильности в работе фотосопротивления — дрейф |
иногда мо |
жет достигать 10~8 А в минуту и даже больше. Кроме |
того, неста |
бильность температурного режима источника света — лампы — также создает значительный шум (эффект «провисания» нити, за висящий от ее температуры); температурные шумы фотосопротив ления и другие причины приводят к тому, что реальная чувствитель ность данной схемы, как правило, не превышает ~ 1 0 -в см (для
168
отдельно взятого измерения) и может быть повышена лишь путем применения статистической обработки большого числа измерений.
Другим возможным вариантом оптического датчика является так называемый оптический рычаг [10—12], схема которого при ведена на рис. 67. Измеряя смещение фраунгоферовой дифрак ционной картины от решетки Gx на величину, малую по сравнению с шириной главного максимума, можно обнаружить весьма малые угловые смещения зеркала М. Так, при полном исключении всех температурных флуктуаций минимальное значение изменения све-
Рис. 67. Схема оптического датчика угловых смещений с применением растровых ре шеток и оптического ры чага
5 — источник света; Р — фото умножитель; М — зеркало, G Jt G 2 — растровые решетки
тового потока в точке Р определяется исключительно флуктуация ми полного числа фотонов в этом потоке. По данным [11] удается различать угловые смещения зеркала на Дер ~ 10-10 рад, что со ответствует линейным смещениям ІО-12 см (за счет использова ния светового рычага). Такая чувствительность, однако, кажется слишком завышенной. В самом деле, даже если ограничиться толь ко одними фотонными шумами, то при потоке фотонов на приемник
(ФЭУ), равном Ns фотонов в секунду, среднее число вырываемых
ими фотоэлектронов будет составлять за то же время qNs, где q — квантовый выход для данного ФЭУ. Флуктуация этого числа фото
электронов будет равна (qNs)'/*, а минимально обнаружимая раз ница для двух сравниваемых фотоэлектронных токов составит
(qNs)~'/°- за 1 с.
Величина qNs, выраженная через мощность падающего свето вого потока W, площадь окна ФЭУ о, длину волны X и квантовый выход q, равна [10]
qNs = |
\WWo%*q |
(4.22) |
|
h24 |
|
(h -т- постоянная Планка; c0 — скорость света). Поэтому, если пер вичный световой поток, падающий на ФЭУ, равен 10-7 в/п (1 лмім3 при X = 0,55 мкм), то при значении q = 0,1 и а = 1 см2величина
qNs равна примерно 2,5 ПО11. Следовательно, минимально обна ружимая разница составит {qNß)~'^ = 2 -10~6 относительно пол
169
ного сигнала, что при коэффициенте оптического рычага К = Ю2,
периоде решетки ~ 1 0 -3 см и размере зеркала |
а ~ |
0,5 см составит |
|||||||||
А 1 0 _3-ІО-2 • 10~° |
~ 1 0 -11 см. |
Учитывая, |
что |
фактически до |
|||||||
стижимая точность в измерении ДW/W за счет случайных ошибок |
|||||||||||
вряд ли превышает 10_і—ІО-5 , найдем, |
что предельно обнаружи |
||||||||||
ваемое смещение будет ~ |
10-9 —10-10 |
см. |
|
|
|||||||
Для оптических датчиков интерференционного типа, в случае |
|||||||||||
только фотонного шума, имеется информация о фазе ср лучей. |
|||||||||||
При начальном |
потоке |
N квант/с флуктуация фазы ср равна |
|||||||||
Дер = ЛГ-Vs |
и, |
следовательно, |
|
|
|
|
|
||||
|
|
|
|
|
|
ДІѴ Дер = |
1. |
|
|
(4.23) |
|
Поэтому |
для ФЭУ с квантовым выходом q, работающим в ре |
||||||||||
жиме ничтожно малого темнового тока, флуктуация фазы есть |
|||||||||||
|
|
|
|
Дер = |
NZn'*2— {qN)~'!~, |
|
(4.24) |
||||
что соответствует разности |
хода |
лучей, равной |
|
||||||||
|
|
|
д , = |
т |
г А' Р |
- 4 г ^ ѵ'- |
|
<4-2б> |
|||
Полагая |
здесь, |
как |
и |
ранее, |
Л/Эл = qN = |
1010 электроніе, |
|||||
получим Дер = |
ІО- 5 , т. е. величина |
предельно обнаружимого сме |
|||||||||
щения AI будет равна ~ 1 0 ~ в X ~ |
5- ІО-11 см при затрате времени |
||||||||||
на наблюдение |
t = |
1 |
с. |
|
|
|
|
|
|
|
|
Рассмотрим, наконец, тип оптического датчика, основанного на применении газового лазера (ОКГ).
Оптический резонатор конфокального типа, состоящий из двух зеркал и настроенный на склон своей резонансной кривой от носительно линии изучения газового лазера, полностью эквивален тен рассмотренному выше емкостному датчику, выходной сигнал которого равен
Д^вых — 0 ,5 (/0<2эл а0 |
|
(4-26) |
||||||
Однако здесь величина Q = |
^ |
щ |
|_ 2п (%id)* |
(# — коэффициент |
||||
отражения, /і — порядок интерференции) |
[15] |
в |
области оптиче |
|||||
ских частот может составлять (106-^107) |
и больше, а значение d0 |
|||||||
есть просто XI2. Поэтому |
|
|
|
|
|
|
|
|
ÄdmJn~ 2 |
Фвых |
' |
dо |
^ |
Дф |
% |
|
|
|
|
Фо |
Q |
~ |
ф |
Q |
|
|
(Ф — световой поток). |
Подставляя |
сюда значения |
ДФ/Ф = ІО-5 , |
|||||
X = 5 -10- 5 см и Q — |
10 е, |
получим |
|
|
|
|
||
Д^тіп = 5- 10_1в СМ.
Эта оценка, однако, сделана в предположении «абсолютной» ста бильности частоты ОК.Г, в то время как в действительности ста
170
