книги из ГПНТБ / Локальные методы анализа материалов
..pdfбора, однако для бора она в семь раз ниже, чем для
кремния. Самое |
существенное- |
это то, что |
зависимость |
|||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
интенсивности |
ион иой |
||||||
|
|
|
|
|
|
|
эмиссии |
от |
концентра |
|||||
|
|
|
|
|
|
|
ции |
бора |
носит |
линей |
||||
|
|
|
|
|
|
|
ный |
характер |
[46]. |
|||||
|
|
|
|
|
|
|
Отдельные |
измере |
||||||
|
|
|
|
|
|
|
ния |
удалось |
осущест |
|||||
|
|
|
|
|
|
|
вить |
при |
уровне |
кон |
||||
|
|
|
|
|
|
|
центрации |
бора |
поряд |
|||||
t |
5 |
10 |
15 |
20 |
25 |
30 |
ка |
50 |
на |
|
10е. |
При |
||
непрерывном |
распыле |
|||||||||||||
|
|
Глубина, ft л» |
|
|
||||||||||
|
|
|
|
нии |
поверхности |
|
крем |
|||||||
Рис. 110. Кривая изменения кон |
|
|||||||||||||
ниевого |
образца |
мож |
||||||||||||
центрации бора в зависимости от |
но было |
зарегистриро |
||||||||||||
глубины |
проникновения |
в |
кремний |
|||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
вать |
изменение |
|
пика |
||||
П В + и затем |
по |
калибровочной |
концентрационной |
кри |
||||||||||
вой и по известной скорости распыления построить кри вую изменения концентрации бора в зависимости от глу бины (рис. ПО). Скорость распыления составляла около 80 мкм/ч, т. е. примерно 200 монослоев в секунду.
Исследование диффузионных процессов при помощи стабильных изотопов
Одним из наиболее выжных применений микроанали
заторов является |
изучение диффузии и самодиффузии |
с использованием |
стабильных изотопов. При этом может |
использоваться как техника послойного локального изо топного анализа путем распыления исследуемой поверх ности в направлении диффузии, так и метод получения изображений сечений образца с диффузионным слоем.
Этими методами в работах [41, 42] была изучена са модиффузия кислорода в окиси урана стехиометрическо-
го состава U O 2 . |
. Использовали монокристальные, поли |
||||||
кристаллические |
и спеченные образцы U 0 2 |
с |
естествен |
||||
ным содержанием |
изотопа 1 8 0 . На |
исследуемую |
поверх |
||||
ность методом вакуумного напыления наносили |
тонкий |
||||||
слой окисла U O 2 , |
обогащенного |
стабильным |
изотопом |
||||
1 8 0 и затем образцы подвергали диффузионному |
отжигу. |
||||||
При послойном изотопном анализе образцы помеща |
|||||||
ли в микроанализатор и |
бомбардировали |
поверхность, |
|||||
насыщенную 1 8 0 , |
|
пучком |
ионов Аг+ с энергией |
10 кэв. |
|||
Первоначально определяли положения и интенсивность пиков ионов 1 8 0 ~ и 1 6 0 ~ (использовались отрицательные ионы, интенсивность которых в этом случае намного вы ше, чем положительных). Затем выводили первичный пучок на свежий участок образца и распыляли поверх ность в течении длительного времени, записывая пооче
редно на |
осциллографе максимальную интенсивность |
пиков 1 е О |
и 1 8 0 до тех пор, пока отношение интенсив- |
ностей не становилось соответствующим естественной рас пространенности изотопов кислорода. По известной ско рости распыления и зависимости интенсивности от време ни представлялось возможным построить диффузионные кривые проникновения 1 8 0 в образцы [41].
Эти измерения можно провести и иным способом: об разец разрезают по плоскости, содержащей направление диффузии, и в микроанализаторе, настроенном на пики соответствующих ионов, наблюдают градиенты концент рации непосредственно на изображении диффузионного слоя либо регистрируют локальную интенсивность вто ричной ионной эмиссии вдоль направления диффузии.
В работе [42] представлены ионные изображения, по лученные для массовых чисел 16 и 18 на образцах двуокиси урана в виде монокристаллов или спеченных с различ ным размером зерна (100 и 2 мкм) соответственно. Сле дует отметить, что скорость распыления, т. е. число атомов, удаленных с поверхности в единицу времени, и, естественно, выход вторичных ионов зависят от кристал лографической ориентировки каждого зерна по отноше нию к направлению первичного пучка. Однако эта зави симость не влияет на локальное отношение 1 8 0 / 1 6 0 . Микрофотометрирование снимков распределения 1 8 0 позволяет оценить глубину диффузии и характер распре деления, а следовательно, получить возможность опреде лить коэффициент диффузии. Анализ фотоснимков по зволяет проследить также за диффузией по границам зерен.
Можно проследить за распределением 1 8 0 путем изме рения электронного тока, соответствующего вторичным ионам, эмиттированным участком диаметром 2 мкм. С этой целью электроны пропускают через отверстие в флюоресцирующем экране диаметром 2М мкм (где М-увеличение в плоскости экрана) на сцинтиллятор, свя занный световодом с фотоумножителем для измерения электронного тока. Перемещая образец в направлении
диффузии и измеряя интенсивность 1 8 0 и 1 6 0 , получают кривые распределения концентрации 1 8 0 .
Вычисленные по этим измерениям значения коэффи циента самодиффузии кислорода в двуокиси урана хоро
шо согласуются и составляют 5- Ю - 1 0 |
см2/сек |
при 1250° С. |
|||||||||||
|
|
СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ |
|
|
|
|
|||||||
1. |
C a s t a i n g |
R, |
S 1 о d z і а п |
G. |
Compt. |
Rend. |
Acad. Sci., |
||||||
1962, v. 225, p. 1893. |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
2. |
С a s t а і n g |
R., |
S 1 о z і a n |
G. J. Microskopie, 1962, v. 1, № 6, |
|||||||||
p. 395. |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
3. |
S 1 о d z і a n G. Ann. Phys., |
1964, v. 9, p. 591. |
|
|
|
|
|||||||
4. |
P o u b e r o l |
J. M . e. a. Y-th International Congress on |
X-ray |
||||||||||
Optics |
and Microanalysis, |
Berlin—Heydelberg—N. Y., |
1969, p. |
311. |
|||||||||
5. |
С о 11 e M., Ann' Phys., |
1938, v. 10, p. 333. |
|
|
|
|
|||||||
6. |
C o g g e s h a l l |
N., |
J. |
Appl. Phys., |
1947, v. |
18, |
p. |
835. |
|
||||
7. |
C r o s s W. G. Rev. |
Sci. Instr., |
1951, v. 22, |
p. 717. |
|
||||||||
8. |
C a s t a i n g |
R. |
Focusing ol |
Charged |
particles, |
1967, |
v. 2, |
||||||
p.265.
9.С a m а с M., Rev. Sci. Instr., 1951, v. 22, p. 197.
10: |
С a s t а і n g |
R., |
H e n г у |
L., Compt. Rend., |
1962, v. 255, |
p. 76. |
|||||||||||
11. |
C a s t a i n g |
R., |
H e n r y |
L., J. Microskopie, |
1964, v. 3, p. 133. |
||||||||||||
12. |
Г а б о в и ч |
M . Д. Плазменные |
источники |
понов. |
Изд-во |
||||||||||||
«Наукова думка», |
1964. |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||
13. |
Sep t i e r |
A., |
Focusing |
of |
Charged |
Particles, |
N.—Y., |
1967, |
|||||||||
v. 2, p. 123. |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
14. |
L o n g |
J. V. P. Brit. J. Appi. Phys., 1965, v. 16, p. 1277. |
|
||||||||||||||
15. |
L i e b l e H . Journ. |
Appl. |
Phys., 1967, |
v. 38, |
p. |
5277. |
|
||||||||||
16. |
A n d e r s e n |
C. |
A. J. Mass |
Spectrometry |
|
and |
Ion |
Phys., |
|||||||||
1969, v. 2, p. 61. |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
17. |
C o u t e e |
R., a. o. Optik, |
1967/1968, v. 26, № 5, p. 574. |
|
|||||||||||||
18. |
К у ш п и р Ю. M . и др. Изобретения, образцы |
и |
товарные |
||||||||||||||
знаки, |
1966, № |
15, с. 81. |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
19. |
S a s a k i |
N . J. Electron |
Microscopy, 1968, v. 17. № |
1, p. 16. |
|||||||||||||
20. |
S a s a k i |
N. J. Appl. Physics, |
1948, v. 19, p. |
1050. |
|
|
|||||||||||
21. |
S a s a k i |
N.. |
M i t a n i |
I<. |
Proc. |
Imp. Acad. |
Tokyo, |
1943, |
|||||||||
v. 19, p. 156. |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
22. |
B e r n a r d |
|
R.. |
G o u t t e |
R. |
Compt. |
Rend. |
Ac. Sci., |
1958, |
||||||||
v. 246, p. 2597. |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
23. |
C a s t a i n g |
R., |
J o u f f r e y |
В., |
S l o d z i a n |
C. |
Compt. |
||||||||||
Rend. Ac. Sci., 1960, v. 251, p. 1010. |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||
24. |
Z a h n U. Rev. Sci. Instrum., 1963, v. 34, p. I . |
|
|
|
|
|
|||||||||||
25. |
L i n s |
S. |
J., |
|
P a u l |
M . C. |
Rev. |
Sci. |
Instrum, |
1964, |
v. 35, |
||||||
p.1084.
26.Б а г p о в H. 1-І. и др. ПТЭ, 1969, № 4.
27.D a 1 у N. R. Rev. Sci. Instr., 1963, v. 34, p. 1116.
28. |
A l m e n |
O , |
B r u c e G. NucI |
Instrum. Meth., 1961, v. 2, |
p. 257. |
|
|
|
|
29. |
К а м и н с к и й |
M . Атомные и |
ионные столкновения на по |
|
верхности металла. Изд-во «Мир», 1967. |
|
|||
30. |
S h e l t e n |
J. Z. Naturforsch., 1968, v. 23, p. 109. |
||
31. |
Ф о г е л ь |
Я- M . УФН, 1967, № 91, p. 75. |
||
32. |
К о з л о в |
В. Ф. и др. ФТТ, 1968, № 10, с. 3713. |
||
33. |
Кинетика |
и катализ, 1964, N° 5. |
|
|
|
34. |
Ш в а ч к о В. И. и др. ФТТ, 1965, № 7, с. 1945. |
|
|
|
|||||||||||||
|
35. |
Р ы б а л к о |
|
В. Ф. и др. Изв. АН |
|
СССР, серия |
физическая, |
|||||||||||
1969 т 23 с 36 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
36.' |
Р ё к о в а Л . П. ЖТФ, |
1968, № 28, с. 331. |
|
|
|
||||||||||||
|
37. |
В а с и л ь е в |
|
М. |
А. |
и |
др. |
В |
сб. |
«Металлофизика», |
|
1970, |
||||||
вып. 32, |
с. 148. |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
38. |
Ч е р е п и и В. Т. и др. ДАН УРСР, |
|
1970, № 2, с. 141. |
|
|
||||||||||||
|
39. |
Ч е р е п |
и и |
|
В. Т. и др. ПТЭ, 1970, № |
2, с. 181. |
|
|
|
|||||||||
|
40. |
Ч е р е п |
и и |
|
В. Т. и др. В сб. «Металлофизика», |
выи. 32, 1970, |
||||||||||||
с. |
143. |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
41. |
С о п t a m і n |
P., |
S 1 о d z і a n G. Compt. Rend. Acad. Sci. C, |
||||||||||||||
1968, v. 267, p. 805. |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
42. |
С о n t a m і n |
P., |
S 1 о d z і a n |
G. Appl. Phys. |
Letters, |
1968, |
|||||||||||
v. |
13. № |
12, p. 416. |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
43. |
R о 1 P. К. a. o. Physica, |
1960, v. 26, p. 1009. |
|
|
|
||||||||||||
|
44. |
H e n n e q u і n |
J. |
F. Compt. |
Rend. |
Acad. Sci., |
1967, |
v. 264, |
||||||||||
p. |
1127. |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
45. |
J о у e s |
P., |
|
H e n n e q u i n |
J. |
F. |
J. |
Physique, |
1968, |
v. 29, |
|||||||
p. 483. |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
46. |
B a r r i n g t o n |
A. E. a. o. J. vacuum |
Sci. and Technol., |
1966. |
|||||||||||||
v. 3, № 5, p. 239. |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
47. |
B e s k e |
H. E. Z. Naturforschg., |
1964, |
v. 19, p. |
1627. |
|
|
||||||||||
|
48. |
B l a i s e |
G., |
S 1 о d z і a n G. Compt. Rend. Acad. Sci. Paris, |
||||||||||||||
1968, v. 266, p. 1525. |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
49. |
J o y e s |
P., |
C a s t a i n g |
R. Compt. |
|
Rend. Acad. Sci. Paris, |
|||||||||||
1966, v. 263, p. 384. |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
50. |
H e n n e q u i n |
J. F. Rev. Phys. app., |
1966, v. 1, p. 273. |
|
|||||||||||||
|
51. |
S l o d z i a n |
|
G., |
H e n n e q u i n |
J. |
|
F. |
Compt. Rend. |
|
Acad. |
|||||||
Sci. Paris, 1966, v. 263, p. 1246. |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||
|
52. |
С a s t а і n g |
R., |
H e n n e q u i n |
J. |
F. |
Compt. |
Rend. |
|
Acad. |
||||||||
Sci. Paris, 1966, v. 262, p. 1008. |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||
|
53. |
H e n n e q u i n |
J. |
F., |
J о у e s |
P., |
|
C a s t a i n g |
R. |
Compt. |
||||||||
Rend. Acad. Sci. Paris, |
1967, v. 265, p. 312. |
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||
|
54. |
W a l t h e r |
V., |
H i n t e n b e r g e r |
IT. Z. Naturforschg., |
1963, |
||||||||||||
v. 18, p. 843. |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
55. |
H e n n e q u i n |
J. F. J. Physique, |
1968, v. 29, p. 957. |
|
|
||||||||||||
|
56. |
J о у e s P. J. Physique, |
1968, v. 29, p. 774. |
|
|
|
||||||||||||
|
57. |
М а р т ы |
и е м к о |
Ю. В. ФТТ, 1965, № 6, с. 1581. |
|
|
|
|||||||||||
|
58. |
L e h m a n n |
|
С. Nucl. |
Instrum. and |
|
Meth., 1965, |
v. 38, |
p. 263. |
|||||||||
59.М а р т ы и e и к о Ю. В. ФТТ, 1965, т. 6, с. 2827.
60.G о u t te R. а. о. J. Microscopie, 1964, v. З, p. 473.
61. |
Г л а з е р В. Основы |
электронной |
оптики. |
Гостехтеориздат, |
||||||
1957. |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
62. |
К е л ь м а м |
В. М., |
Я в о р С. Я. Электронная |
оптика, 2-е |
||||||
изд. Изд-во АН СССР, 1963. |
|
|
|
|
|
|
|
|||
63. |
С а у л и т |
В. |
Р., П о п о в и ч |
М. А. Вестник |
ЛГУ, |
серия |
||||
физ.-химии, 1962, № 10. |
|
|
|
|
|
|
|
|||
64. |
М б l i e n s |
t e d |
t G., |
H u b i g |
W., |
Optik, |
1958, |
v. |
15, |
p. 225. |
65. |
A p и ф о в |
У. А. Взаимодействие атомных |
частиц |
с поверх |
||||||
ностью твердого тела. Изд-во «Наука», 1968. |
|
|
|
|
||||||
66. |
Б р о н ш т е й н |
И. М., Ф р а й м а н |
Б. С. Вторичная |
элект |
||||||
ронная эмиссия, Изд-во «Наука», 1969. |
|
|
|
|
|
|
||||
67.П л е ш и в ц е в Н. В. Катодное распыление. Атомиздат, 1968.
68.А к и ш и н А. И. Ионная бомбардировка в вакууме. Госэнергоиздат, 1963.
ОГЛАВЛЕНИЕ
Введение
|
|
|
|
|
|
|
|
РАЗДЕЛ |
|
I |
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|
Искровой |
спектральный |
|
|
|
|
||||||||
|
|
и масс-спектральный локальный анализ |
|
|
|
||||||||||||
Г л а в а |
1. |
А н а л и з |
микропробы |
по |
оптическим |
спектрам |
|
||||||||||
( Ф . Ф . |
Водоватов) |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
Основы эмиссионного спектрального анализа и его особенности |
|
||||||||||||||||
при проведении локального анализа |
|
|
|
|
5 |
||||||||||||
Методы |
искрового спектрального |
локального анализа . . . . |
11 |
||||||||||||||
Методы |
локализации |
зоны |
обыскривания |
при |
точечном |
|
|||||||||||
анализе |
. |
. . |
: |
|
: |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
П |
||
Источники |
возбуждения |
спектров |
|
|
|
|
12 |
||||||||||
Электроды |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
13 |
|||
Оборудование |
для |
локального |
спектрального |
анализа . . . |
15 |
||||||||||||
Искровые |
генераторы |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
15 |
||||||
Оптические устройства |
|
|
|
|
|
|
|
|
16 |
||||||||
Примеры применения локального спектрального анализа . . . |
19 |
||||||||||||||||
Исследование микроликвации в сером чугуне и содержа |
|
||||||||||||||||
ние углерода и серы в литой стали |
|
|
|
19 |
|||||||||||||
Анализ |
поверхностей |
металлов |
|
|
|
|
21 |
||||||||||
Анализ |
линейным |
источником |
|
|
|
|
|
22 |
|||||||||
Изучение зерен |
минералов |
|
|
|
|
|
|
|
24 |
||||||||
Г л а в а |
2. |
Искровой |
масс- |
с п е к т р а л ь н ы й а н а л и з (А. А. |
Ж у |
25 |
|||||||||||
к о в ) |
. |
. |
: |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
, , |
||
Физические процессы в межэлектродном пространстве . . . . |
25 |
||||||||||||||||
Движение ионов в поперечном электростатическом и магнит |
|
||||||||||||||||
номполе |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
32 |
|
Разрешающая способность масс-спектрографа |
|
|
|
36 |
|||||||||||||
Чувствительность и определение концентрации примесей . . . |
36 |
||||||||||||||||
Примеры |
применения |
метода |
|
|
|
|
|
|
|
39 |
|||||||
Зондирование в |
точке |
|
|
|
|
|
: |
|
|
39 |
|||||||
Сканирование |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
41 |
||||
Послойный анализ |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
44 |
||||||
Анализ |
органических |
материалов |
|
|
|
|
47 |
||||||||||
Анализ |
газов в металлах |
|
|
|
|
|
|
|
48 |
||||||||
Список |
литературы |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
48 |
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
РАЗДЕЛ |
|
II |
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
Лазерный микроанализ |
|
|
|
|
||||||||
Г л а в а |
|
1. |
Л а з е р ы |
и |
эффекты, сопутствующие |
взаимодействию |
|
||||||||||
лазерного |
и з л у ч е н и я |
с |
веществом |
( Ф . |
Ф . Водоватов) . . . |
52 |
|||||||||||
Лазеры |
и |
лазерный |
микроскоп |
|
|
|
|
|
|
53 |
|||||||
Резонаторы и режим свободной генерации |
|
|
|
53 |
|||||||||||||
Работа |
лазера |
в |
режиме |
модулированной |
добротности . |
55 |
|||||||||||
Лазерный |
микроскоп |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
56 |
||||||
О механизме взаимодействия излучения лазера с веществом . |
59 |
||||||||||||||||
Режим |
свободной |
генерации |
|
|
|
|
|
|
59 |
||||||||
Режим |
с |
модуляцией |
добротности |
резонатора . . . . . |
62 |
||||||||||||
Разрушение |
и ионизация |
вещества |
лазерным излучением . |
, . |
65 |
||||||||||||
Разрушение в |
режиме свободной |
генерации |
|
|
65 |
||||||||||||
|
Разрушение в режиме с модуляцией добротности резо |
|
|||||||||||||||
|
натора |
. . |
: |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
70 |
|||
Ионизация |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
71 |
||||
Г л а в а |
|
2. |
Анализ |
испаренной лазером микропробы по опти |
|
||||||||||||
ческим |
спектрам |
(Ф. |
Ф. |
Водоватов) |
|
|
|
|
|
76 |
|||||||
Довозбуждение |
плазмы |
при |
лазерном |
микроанализе . . . . |
76 |
||||||||||||
Серийно выпускаемые промышленностью лазерные микроана |
|
||||||||||||||||
лизаторы |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
78 |
||
Лазерный локальный микроанализ с разделением операций от |
|
||||||||||||||||
бора |
микропроб |
и |
их |
анализа |
|
|
|
|
|
|
82 |
||||||
Г л а в а |
|
3. |
Анализ |
испаренной лазером микропробы по масс- |
|
||||||||||||
спектрам |
(А. А. Жуков) |
|
|
|
|
|
|
|
|
85 |
|||||||
Масс-спектрометры |
с |
лазерными |
источниками |
нагрева . * . . |
85 |
||||||||||||
|
Разделение ионов по времени пролета |
|
|
|
86 |
||||||||||||
|
Разделение |
ионов |
в |
поле квадрупольного |
анализатора . . |
89 |
|||||||||||
О разрешающей способности и чувствительности |
динамических |
|
|||||||||||||||
масс-спектрометров |
с |
лазерным |
источником нагрева . . . . |
92 |
|||||||||||||
|
Время-пролетные |
анализаторы |
|
|
|
|
|
92 |
|||||||||
Квадрупольные |
анализаторы |
|
|
|
|
|
|
94 |
|||||||||
Чувствительность |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
94 |
||||||
Масс-спектрометры с лазерным источником ионов |
|
97 |
|||||||||||||||
Методы расчета числа частиц в микропробе и некоторые обла |
|
||||||||||||||||
сти применения лазерных масс-спектрометров |
|
|
|
99 |
|||||||||||||
Список |
литературы |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
106 |
|||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Р А З Д Е Л |
III |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Рентгеновский микроанализ (И. Б. Боровский] |
|
|
|||||||||||||
Г л а в а |
|
1. |
Физические |
основы |
количественного |
рентгеноспек |
|
||||||||||
трального |
локального |
анализа |
|
|
|
|
|
. |
109 |
||||||||
Основные сведения по физике рентгеновских лучей |
|
109 |
|||||||||||||||
Г л а в а |
2. |
Экспериментальные |
основы |
метода |
|
|
|
125 |
|||||||||
Экспериментальные |
основы |
локального |
рентгеноспектрального |
|
|||||||||||||
анализа |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
126 |
|
Температура анода при микронном пучке |
|
|
|
|
141 |
||||||||||||
Максимальный ток электронного зонда |
|
|
|
|
|
143 |
|||||||||||
Геометрическая оптика изогнутого кристалла при микрофокус |
|
||||||||||||||||
ном |
источнике |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
146 |
|||
Требования к приготовлению образцов для локального анализа |
148 |
||||||||||||||||
Влияние монокристалличности образцов на интенсивность линии |
155 |
||||||||||||||||
Бездисперсионные |
методы |
анализа |
|
|
|
|
|
158 |
|||||||||
, / Г л а в а |
|
3. |
Количественный локальный |
рентгеноспектральний |
|
||||||||||||
элементный анализ по первичным спектрам |
|
|
|
166 |
|||||||||||||
Взаимодействие электронов с атомами образца |
|
|
168 |
||||||||||||||
Интенсивность характеристического спектра |
|
|
|
177 |
|||||||||||||
Вычисление |
поправки |
на |
поглощение |
|
f(X) |
|
|
|
180 |
||||||||
Результаты |
экспериментальных измерений |
и |
<p(pZ) |
. . |
185 |
||||||||||||
Вычисление |
поправки |
на |
флуоресцентное |
возбуждение . . . |
187 |
||||||||||||
Общие замечания о методах введения поправок |
|
|
191 |
||||||||||||||
Упрощенная |
методика |
расчета |
|
|
|
|
|
|
193 |
||||||||
Метод |
количественного |
|
анализа вариаций ускоряющего |
на |
|
||||||||||||
пряжения |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
194 |
||
Локальность |
рентгеноспектрального |
микроанализа |
|
|
|
|
|
205 |
|||||||||||||||
Методика проведения количественных анализов и расчета по |
|
||||||||||||||||||||||
правок к ним |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
224 |
|||||
Список |
литературы |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
23С |
|||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
РАЗДЕЛ |
IV |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Методы локального химического и изотопного |
анализа |
|
|
||||||||||||||||||||
с использованием явления вторичной ионной эмиссии |
|
|
|||||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
(В. Т. Черепин) |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||
Г л а в а |
|
I . Процессы |
вторичной |
ионной эмиссии |
|
|
|
|
|
239 |
|||||||||||||
Источники |
|
ионов |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
239 |
||||
Закономерности |
процессов |
распыления |
и |
образования |
ионов |
242 |
|||||||||||||||||
Влияние различных факторов на эмиссию |
ионов |
|
|
|
|
|
244 |
||||||||||||||||
Г л а в а |
2. Аппаратура для локального анализа |
|
|
|
|
|
250 |
||||||||||||||||
Общие принципы и классификация приборов |
|
|
|
|
|
|
250 |
||||||||||||||||
Масс-спектральные |
|
микроскопы |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
251 |
|||||||||
Основные элементы оптики масс-спектральных |
микроскопов |
. |
257 |
||||||||||||||||||||
Иммерсионный |
объектив |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
257 |
||||||||||
Магнитные сепараторы масс-спектральных |
микроскопов |
. |
260 |
||||||||||||||||||||
Магнитная призма в сочетании с |
электростатическим |
|
|||||||||||||||||||||
зеркалом |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
263 |
|||||
Предельное |
оптическое |
разрешение |
масс-спектральных |
|
|||||||||||||||||||
микроскопов |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
266 |
|||||
Преобразователи |
|
изображения |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
269 |
||||||||||
Ионные |
микрозонды |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
271 |
|||||
Ионные масс-спектральные микроскопы |
со |
сканированием |
|
||||||||||||||||||||
изображения |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
276 |
||||
Г л а в а |
3. |
|
Применение |
ионных |
микроанализаторов |
для ло |
|
||||||||||||||||
кального |
анализа |
твердых |
тел |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
283 |
||||||||
Определение |
общего |
химического состава |
|
|
|
|
|
|
|
283 |
|||||||||||||
Спектры |
чистых |
|
металлов |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
285 |
||||||||
Спектры |
|
сплавов |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
286 |
|||||
Анализ микропримесей при помощи |
ионного зонда |
|
|
|
|
|
287 |
||||||||||||||||
Исследование диффузионных процессов при помощи |
стабиль |
|
|||||||||||||||||||||
ных |
изотопов |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
290 |
||||
Список |
литературы |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
292 |
|||||
|
Игорь |
Борисович |
|
Б О Р О В С К И Й , Федор |
Федорович |
В О Д О В А Т О В , |
|
||||||||||||||||
|
Андрей |
Александрович |
Ж У К О В , Валентин |
Тихонович |
|
Ч Е Р Е П И Н |
|
||||||||||||||||
|
|
|
|
|
ЛОКАЛЬНЫЕ МЕТОДЫ АНАЛИЗА МАТЕРИАЛОВ |
|
|
|
|
||||||||||||||
|
|
|
|
|
Редактор |
издательства |
Е. |
К. |
Полторацкая |
|
|
|
|
||||||||||
|
|
|
|
|
|
Художественный редактор |
Д. |
В. |
Орлов |
|
|
|
|
|
|||||||||
|
|
|
|
|
Технический |
редактор |
В. |
В. |
Михайлова |
|
|
|
|
|
|||||||||
|
|
|
|
|
Корректоры |
В. |
Б. Левин |
|
и 10. И. |
Королева |
|
|
|
|
|||||||||
|
|
|
|
|
|
Переплет |
х у д о ж н и к а |
Е. |
Н. |
Волкова |
|
|
|
|
|
|
|||||||
Сдано |
в набор |
9/ Х |
1972 г. |
|
|
П о д п и с а н о |
в печать |
12/IV 1Э73 г. |
|
Т-04971 |
|||||||||||||
Формат |
бумаги |
8 4 х і 0 8 ' / м . |
|
Бумага типографская |
№ |
2. |
У с л . |
печ . |
л. |
15,54. |
|||||||||||||
Уч . - иэд . |
л . |
16,33. |
Тираж |
2600 экз . |
Заказ |
№ 693. И з д . № |
5577. |
Цена 92 коп . |
|||||||||||||||
|
|
|
|
|
Издательство |
«Металлургия», |
119034 Москва, |
Г-34 |
|
|
|
||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
2-й Обыденский пер., д . 14 |
|
|
|
|
|
|
|||||||||
|
|
|
|
|
Владимирская типография |
«Союзполиграфпрома • |
|
|
|
||||||||||||||
|
|
|
при Государственном |
комитете |
Совета |
Министров |
СССР |
|
|
||||||||||||||
|
|
|
по |
|
д е л а м издательств, полиграфии и книжной |
торговли |
|
|
|||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
Гор. Владимир, |
у л , |
П о б е д ы , |
д , |
18-6, |
|
|
|
|
|
|
|||||||
ПОПРАВКА К |
ОГЛАВЛЕНИЮ |
Гл. 1 раздела I и гл. 2 раздела |
I I написаны Ф. Ф. Водоиатовым |
н А. А. Жуковым. Гл. 2 раздела |
I и гл. 3 раздела I I написаны |
Ф. Ф. Водоватовым. |
|
З а к аз 693 |
|
