
книги из ГПНТБ / Челноков В.Е. Физические основы работы силовых полупроводниковых приборов
.pdf= 0,01 в/см. Это справедливо, если при прохождении электрического тока плотность основных носителей оста ется неизменной и равной в данном случае пп = Мя (предполагаем, что все атомы примеси ионизированы). Действительно, можно показать, что прохождение тока через однородный полупроводник не вызывает появле ния избыточных носителей тока и концентрация равно весных носителей остается постоянной во всем объеме полупроводника.
Для дырочного полупроводника, в котором пренебре гают неосновными носителями — электронами, выраже ние дрейфового дырочного тока имеет вид, подоб ный (1-61):
Ip = |
qixPpPE. |
(1-25) |
Предположим теперь, |
что концентрация |
носителей |
непостоянна во всем полупроводнике. Причины, вслед ствие которых появляются избыточные носители, раз берем позже. Если в каком-jo месте имеется градиент концентрации носителей, то вследствие своего беспоря дочного теплового движения носители из места повы шенной концентрации распространяются по всему объе му. Такое движение называется диффузионным. При наличии градиента концентрации диффузионный поток носителей направлен в сторону уменьшения концентра ции носителей. Так как носители заряжены, то диффу зионный поток представляет собой электрический ток. Он называется диффузионным в отличие от рассмот ренного дрейфового тока.
Рассмотрим диффузию электронов, если имеется гра диент их концентрации dnjdx (одномерный случай). Диффузионный поток пропорционален градиенту кон центрации. Коэффициент пропорциональности называет ся «диффузионной постоянной», или «коэффициентом диффузии» для электронов. Электронный диффузионный ток
|
I m = qDn^, |
|
(1-26) |
где Dn |
— коэффициент диффузии, см2/сек; |
п |
выражается |
в см~3, |
q в кулонах и / в а/см2. Величина |
Dn |
зависит от |
температуры и концентрации примесей. Мы |
будем счи |
тать коэффициенты диффузии постоянными. Ниже приве-
20
дены значения некоторых физических параметров для кремния при температуре 300 °К.
Плотность, г/см* |
|
|
2,33 |
||
Атомная |
масса |
с м ~ 3 |
|
28,03 |
|
Концентрация атомов, |
|
5 Х ' 0 2 2 |
|||
Постоянная решетки, |
см |
• . . . . |
5,43X10 - 8 |
||
Ширина |
запрещенной |
зоны, эв . |
1,15 |
||
Диэлектрическая проницаемость |
|
12 |
|||
Сопротивление собственного полупроводника, |
230 000 |
||||
ом-см |
|
|
|
. . . |
|
Подвижность электронов, см2/(сек-в) |
1 300 |
||||
Подвижность дырок, см2/(сек-в) |
|
500 |
|||
Диффузионная постоянная электронов, см2/сек |
31 |
||||
Время |
|
„ |
дырок, |
см2/сек . |
12,5 |
жизни электронов, мксек |
|
50—500 |
|||
Время |
жизни дырок, мксек |
|
50—500 |
||
Длина |
диффузионного смещения электронов, |
0,04—0,1 |
|||
см |
|
|
смещения дырок, см . |
||
Длина диффузионного |
0,02—0,06 |
При наличии градиента плотности дырок возникает
дырочный диффузионный |
ток |
|
|
/ w = |
- 7 D p |
- g - . |
(1-27) |
Таким образом, если имеются одновременно и гра |
|||
диент концентрации носителей |
и электрическое |
поле, то |
|
в полупроводнике возникнут |
два тока — диффузионный |
и дрейфовый. Тогда полные электронный и дырочный токи
/п = № А £ + ? О я ^ ; |
(1-28) |
IP=q^PppE-qDp-^. |
(1-29) |
При этом предполагается, что процессы диффузии и дрейфа проходят независимо друг от друга. Из выраже ний (1-28) и (1-29) видно, что дрейфовый ток пропор
ционален градиенту |
потенциала Е<=—dU/dx, а диффу |
|
зионный — градиенту |
концентрации носителей. |
|
Мы получили выражение для потока |
носителей тока |
|
в полупроводнике. |
Был рассмотрен |
полупроводник, |
в котором каким-то образом была создана избыточная концентрация носителей. Предположим, что имеется постоянный источник создания избыточной концентра ции неосновных носителей, например дырок в электрон ном полупроводнике. Благодаря диффузии дырки дви-
21
гаются в направлении уменьшения концентрации избы точных дырок. Во время своего движения они рекомбинируют с основными носителями — электронами и их концентрация уменьшается, стремясь достигнуть равно весного значения.
В некотором малом объеме полупроводника Имеют место процессы возникновения дырок за счет внешнего источника, процессы тепловой генерации дырок, реком
бинации электронно-дырочных пар и ухода |
дырок в'об |
|||||||||||
ласть с меньшей концентрацией избыточных дырок. |
|
|||||||||||
Рассмотрим одномерный случай, когда концентрация |
||||||||||||
носителей |
меняется |
в |
направлении |
Ох и |
поле |
имеет |
||||||
только |
одну |
составляющую |
Ех. |
Выделим |
слой |
толщи |
||||||
ной dx |
и сечением |
1 см2. Объем слоя равен dx, |
а |
кон |
||||||||
центрация |
дырок |
в нем |
р(х, |
t), |
т. е. число |
дырок |
в |
нем |
||||
равно |
р(х, |
t)dx. |
Изменение |
числа |
дырок |
за время dt |
||||||
равно: |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
р(х, |
t-\-dt)dx |
— р(х, |
|
t)dx-=^-dxdt. |
|
|
Учтем процессы, которые приводят к изменению чис ла дырок.
Во-первых, дырки создаются под действием какого-
либо |
внешнего |
фактора. |
За |
время |
dt |
генерируется |
|||||||||
gdt |
dx дырок, где g — число |
пар, создаваемых |
за |
1 |
сек |
||||||||||
в единице объема. |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
Во-вторых, число носителей изменяется |
за |
счет |
ре |
||||||||||||
комбинации. Используя выражения (1-9), получаем, |
что |
||||||||||||||
изменение |
числа носителей |
в |
слое |
dx |
за |
время |
dt |
со |
|||||||
ставляет — Ezzfi. |
dt |
dx |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
|
|
ъ |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Затем через границу слоя х за время dt |
в |
слой |
вте |
||||||||||||
кает |
— 1р(х, |
t)dt |
дырок, где |
-^-Ip(x, |
|
t) — поток |
дырок. |
||||||||
За |
это |
ж е . время |
через |
|
границу |
x-{-dx |
|
вытекает |
|||||||
— /р (х-f- |
dx) dt дырок. Изменение |
числа |
дырок |
вследст |
|||||||||||
вие |
разности |
этих |
потоков |
равно: |
|
|
|
|
|
|
|
||||
|
/р |
(X) dt - |
- |
L / р (х + |
dx) |
dt |
= - |
- |
L |
|
dxdt. |
|
Следовательно, полное изменение числа дырок равно:
2 2
Отсюда |
получаеМ: |
|
|
|
|
|
|
|
dp |
1 д/р |
j |
_ |
/ r |
р — л |
(1-30) |
|
|
|
- |
g |
- t |
- J ^ , |
|
при этом для одномерного случая |
величина 1Р |
опреде |
|||||
ляется из |
(1-29). |
|
|
|
|
|
|
Полученное уравнение называют уравнением непре рывности для неосновных носителей. Оно является ос новным уравнением при определении процессов, прохо дящих в полупроводниках, в которых имеются избыточ ные носители заряда.
В установившемся состоянии, когда концентрации неравновесных носителей уже не меняются со временем,
т. е. dp/dt = 0, уравнение (1-30) превращается в |
|
||
1 |
ЫрЪ-^р |
— р» |
(1-31) |
q |
дх |
|
|
|
|
Если при этом нет еще и внешних факторов, генери рующих носители, т. е. g = Q, то
1 |
д/Р _ |
Р — Ра |
|
q |
дх |
1 |
^ |
Аналогичное уравнение можно написать и для элек тронов.
Во всех рассмотренных выше случаях предполага лось, что дрейфовый ток пропорционален электрическому полю. Однако в случае сильных электрических полей закон Ома нарушается. Последнее означает, что либо подвижность носителей, либо их концентрация стано вятся величинами, зависящими от напряженности элек трического поля. Этот эффект получил название эффек та сильного поля.
Физический смысл влияния сильного поля заключа ется в том, что вследствие довольно слабого механизма передачи энергии решетке носителями при их ускорении в поле и рассеянии при колебаниях решетки возможен значительный рост средней энергии носителей под дей ствием этого поля. Изменение средней энергии носите лей тока в сильном поле может достигать величины порядка КГ. Однако, как показывает оценка, влияние сильного поля имеет место уже в том случае, когда добавкой к скорости носителей за счет электрического поля нельзя пренебречь по сравнению с тепловой ско ростью.
2 3
Последнее означает, что эффективная температура носителей также растет и может стать больше темпера
туры решетки. Такая система носителей |
не находится |
в тепловом равновесии с решеткой. В |
общем случае |
подвижность зависит от средней скорости носителей и, следовательно, от температуры решетки и температуры носителей.
При очень сильных значениях напряженности элек трического поля (для кремния более 104 в/см) начинают играть роль уже другие процессы, связанные с измене
нием |
концентрации |
носителей тока. Эти |
процессы могут |
|
быть |
обусловлены |
электростатической |
ионизацией (за |
|
счет |
туннельного |
эффекта), термоэлектронной иониза |
||
цией и ударной ионизацией. |
|
|
||
Г л а в а в т о р а я |
|
|
|
|
ЭЛЕКТРОННО-ДЫРОЧНЫЙ |
ПЕРЕХОД |
|
||
И ЕГО ВОЛЬТ-АМПЕРНАЯ |
ХАРАКТЕРИСТИКА |
|||
2-1. ЗОННАЯ СХЕМА |
ЭЛЕКТРОННО-ДЫРОЧНОГО ПЕРЕХОДА |
На рис. 2-1,а, б изображены зонные схемы электрон ного и дырочного полупроводника, не находящихся в контакте.
Если эти два полупроводника привести в плотный контакт, т. е. образовать электронно-дырочный переход, то картина изменится. Вследствие возникновения гра диента концентрации электронов на переходе (так как концентрация электронов в электронной области значи тельно выше, чем в дырочной) появится диффузионный электронный ток из электронной области в дырочную. Дырочная область станет заряжаться отрицательно по отношению к электронной. По такой же причине по явится диффузионный дырочный ток из дырочной обла сти в электронную, так что последняя станет заряжаться положительно по отношению к дырочной. Вследствие этих двух процессов на переходе возникнет электриче ское поле, препятствующее дальнейшему движению электронов и дырок через переход. Установится неко торое динамическое равновесие, при котором диффу зионные токи через переход уравновешены дрейфовыми токами. Общий ток через переход в состоянии равнове сия равен нулю.
24
Двойной электрический слой является причиной того, что основные носители не только не могут пройти через, контакт, но и отсасываются из приконтактной области в глубь полупроводника. Таким образом, вблизи кон-
|
|
Г7-Л71/Л |
р-тап |
|
|
1 |
• |
« • е е |
|
||
в |
• |
• |
|||
I |
ъ |
|
|
л |
|
I I |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Уф |
|
|
|
о |
о |
о |
о о |
п-тип |
р-тип /Оts |
Ч/ом-сж)
II
S |
I * |
3.3-«г %
*д х
6)
Рис. 2-1. Зонные схемы (а) и концентра ции носителей (б) электронного и дыроч ного полупроводника в тепловом равно весии.
такта образуется слой, обедненный основными носите лями, слой большого сопротивления или, как его назы вают, запорный слой.
Образование двойного электрического слоя на кон такте эквивалентно образованию потенциального барье ра, препятствующего прохождению дырок из дырочной области и электронов из электронной.
2 5
1
Электронно-дырочный переход схематически изобра жен на рис. 2-2,я.
В условиях теплового равновесия и при отсутствии напряжения концентрации основных и неосновных носи
телей |
сохраняют |
свои |
равновесные |
значения, |
исключая |
||||||
|
|
п-тип |
~Ьд |
|
1 |
|
р-тип |
|
|||
|
|
|
|
"™"Т'~ |
© |
© |
0 |
|
|||
|
|
© |
© |
Ф |
I© |
el! |
|
||||
|
|
•~ |
— |
~ 1 |
|
© |
+ |
+ |
|
||
|
|
© |
ф |
Ф |
|Ф |
е| |
© |
© |
|
||
|
|
_ |
- |
- |
| |
|
! |
+ |
+ |
+ |
|
|
|
ф |
ф |
© |
!ф ©1 |
© |
© |
© |
|
||
|
|
|
|
|
|
|
1 |
+ |
+ |
+ |
|
|
Элеятротдш &ффу- |
Электронный дрей- |
|||||||||
|
ШОнный /пох |
|
|
|
фо6ы*й'#>ок |
|
|||||
|
|
|
— |
|
а) |
|
|
|
|
|
|
|
|
п-тип |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
I |
9 • |
• |
|
|
|
|
|
|
1 |
oo"o~fJ |
|
p-mun |
|
|
||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
Дырочный Зрей- I |
Дырочный диффу- |
|
||||||||
|
фобб/й ток |
|
|
|
|
ток |
|
||||
|
|
|
|
|
|
б) |
|
|
|
|
|
|
Рис. 2-2. Электронно-дырочный переход (а) |
|
|||||||||
|
и его |
зонная схема |
(б) при условии |
тепло |
|
||||||
|
вого |
равновесия. |
|
|
|
|
|
|
|
||
малую |
приконтактную |
область. |
На рис. 2-2,а изобра |
||||||||
жена эта область, толщина ее |
обозначена б э |
+ б д и со |
|||||||||
ставляет величину порядка |
10~4 |
см. |
|
|
|
Во всей системе соблюдается электрическая ней
тральность, условие |
которой для электронной |
области |
имеет вид: |
|
|
|
nn = NR + pn |
(2-1) |
(предполагается, что |
М а < М д ) . |
|
26
На рис. 2-2,6 показано изменение концентрации нд*
сителей в кремниевом |
электронно-дырочном |
переходе, |
находящемся в равновесии. |
|
|
Для дырочной области условие электрической ней |
||
тральности выразится |
так: |
|
|
Pp = N& + nP |
(2-2) |
(предполагается, что Л^д<сЛ^а).
Приконтактное поле препятствует переходу основных носителей из одной области полупроводника в другую. Неосновным носителям оно помогает переходить через контакт.
При подключении внешней батареи положительным полюсом к «-слою, а отрицательным к /7-слою потенциаль ный барьер на переходе увеличивается, ширина слоя, обедненного носителями, возрастает, сопротивление пе рехода становится большим. Ток через электронно-ды рочный переход в этом случае определяется неосновны ми носителями, легко скатывающимися с потенциально го барьера, и поэтому весьма мал. При таком включе нии внешней батареи поданное на переход напряжение называется обратным.
Если внешнюю батарею подключить положительным полюсом к /7-слою, а отрицательным к я-слою, внешнее напряжение уменьшает потенциальный барьер и для основных носителей появляется возможность перейти через переход. Ток основных носителей резко возрастет, сопротивление перехода станет малым. При таком включении внешней батареи поданное на переход на пряжение называется прямым.
Процесс перехода при прямом смещении, например, дырок из дырочного полупроводника в электронный называется инжекцией. Инжектируемые дырки являют ся неосновными неравновесными носителями в электрон ной области.
В гл. 1 мы рассмотрели появление таких неосновных неравновесных носителей и описали их поведение при помощи уравнения непрерывности. Инжектируемые но сители повышают концентрацию неосновных носителей сверх равновесной величины.
Так как электронная область заряжается положи тельно, то все энергетические уровни в электронном полупроводнике сдвинутся вниз, в сторону увеличения положительного потенциала (рис. 2-2,6). Этот сдвиг
равен потенциальному скачку на переходе, образовав шемуся в результате движения электронов и дырок через электронно-дырочный переход. После приведения полупроводников в контакт сдвиг происходит до тех пор, пока не установится тепловое равновесие всего элек тронно-дырочного перехода. Уровни Ферми в обеих
областях |
электронно-дырочного перехода становятся |
при этом |
одинаковыми. |
Потенциальный скачок на переходе равен, как это |
|
видно из |
рис. 2-1,а и 2-2,6, сумме сдвигов соответствую |
щих потенциалов Ферми от его положения в собствен ном полупроводнике (ср,э—фф.э) + (фф.д—ф*д) 4 . - Этот по
тенциальный скачок на контакте называется |
контактной |
|
разностью потенциалов. |
|
|
Выражение для контактно'й разности потенциалов фк |
||
имеет |
вид: |
|
|
? к = ^ 1 п - ^ - . |
(2-3) |
Из |
(2-3) видно, что контактная разность |
потенциа |
лов определяется концентрациями основных носителей областей, находящихся в контакте.
Как мы уже сказали, общий ток через электроннодырочный переход в состоянии теплового равновесия равен нулю вследствие того, что диффузионные -токи через переход уравновешиваются дрейфовыми. В общем
случае ток равен алгебраической |
сумме |
диффузионного |
||
и дрейфового токов. |
|
|
|
|
Предположим, что электронный ток имеет некоторую |
||||
величину / „ . Используя (1-23) и |
положив Е — |
— |
d<pi/ax, |
|
получим: |
|
|
|
|
/« = - № n « n ^ + ? O n ^ - |
|
|
" (2-4) |
Чтобы получить соотношение между концентрациями электронов на концах переходной области, проинтегри руем (2-4) по переходной области:
+f^dx=-q»n |
)d£dx+qDn |
) ± £ d x . (2-5) |
1 Здесь потенциал Ферми соответствует энергетическому уровню Ферми.
28
Заменив переменные, (2-5) напишем в виде |
|
qDn j |
|
ft |
|
Так как при условии теплового равновесия |
/ п = 0, |
уравнение (2-6) преобретает вид: |
|
W n j d < f r - 9 D n j - ^ - = 0 . |
(2 "? ) |
Интегрирование этого уравнения и последующее пре образование приводят к выражению
|
« „ — //р е |
» . |
(2-8) |
|
Это соотношение связывает плотности электронов на |
||||
концах |
переходной |
области. Используя уравнения |
(2-3) |
|
и (2-8) |
и известное |
соотношение пррР = Пг2, получаем: |
||
|
|
Dn |
kT |
(2-9) |
или |
|
|
||
|
|
|
|
|
|
|
D n = |
- ^ m , . |
(2-10) |
Это соотношение, связывающее коэффициент диффу зии и подвижность электронов, называется соотноше нием Эйнштейна. Коэффициент диффузии входит в вы ражение для диффузионного тока при градиенте кон центрации носителей. Подвижность носителей входит в выражение для дрейфового тока при градиенте потен циала.
Подобное соотношение можно получить и для дырок.
2-2. ЭЛЕКТРОННО-ДЫРОЧНЫЙ ПЕРЕХОД ПОД ПРЯМЫМ НАПРЯЖЕНИЕМ
Рассмотрим теперь зонную схему электронно-дыроч ного перехода, находящегося под прямым напряжением. Если прямое напряжение постоянно, то устанавливает-
29