
книги из ГПНТБ / Челноков В.Е. Физические основы работы силовых полупроводниковых приборов
.pdfсг/см-
F2
2
'Y Р
Рис. 7-9. Распределение потен |
<0 I |
|
|
|
5 |
<? |
|||||
циала |
в р-я-р-я-структуре при |
|
|
|
|||||||
/, = 1 |
а/см2, |
/2 =.10 |
а/см2, /3 |
= |
Рис. 7-10. |
Вольт-амперная |
ха |
||||
= 100 |
а/см2, |
/ 4 = 1 ООО а/см2. |
|
||||||||
|
рактеристика |
и |
ее составляю |
||||||||
как модуляция проводимости |
этой |
щие |
открытой |
структуры. |
|
||||||
t — |
U=Ui—U2; |
|
2 — U~U3 |
или |
иг; |
||||||
базы в основном обусловлена ян- |
|
|
4 — полное |
напряже |
|||||||
жекцией из я+-эмиттера. При кон |
ние |
U (сплошные |
линии — расчет |
||||||||
центрациях .Р+>101 9 см~3 и плот |
ные кривые для р-л-р-л-структуры, |
||||||||||
точки — соответствующие |
расчет |
||||||||||
ностях тока порядка |
1 ООО а/см2 па |
ные |
данные |
для |
р-л-я+-структуры). |
||||||
дение |
напряжения |
на базе я-типа |
|
|
|
|
|
|
|
также перестает зависеть от величины Р+. С уменьшением значения
Р+ |
величина Ucn растет вследствие падения эффективности эмитте |
||||
ра |
р+ [Л. 7-11] по закону £/бП ~ |
(Р+)1/4, |
что |
согласуется |
с теорией |
[Л. |
7-12] для pin-диода (диод с |
центральной |
областью i, |
выполнен- |
(у/
Рис. 7-11. Влияние концентрации примеси в р+-эмиттере на величи ну падения напряжения в базо вых областях р-я-р-я-структуры.
|
5 |
р |
|
при |
/=-100 а/см; 2- |
|
|
-и, |
|
|
/=•1 |
000 а/см; |
3—UK- |
~V6n |
при |
/=100 |
а/см' 4-VR |
= U« |
||
при |
/ - 1 |
000 |
а/см1. |
|
10
/ 2
г*
О,/
О 0,2 О,* 0,0*/0%ех~'/г
Рис. 7-12. Влияние времени жизни на падение напряже ния в я-базе для плотности 1 000 а/см2 (кривая / ) , для 100 а/см2 (кривая 2).
180
ной из собственного полупроводника). Так как величина N+ выбрана весьма высокой, a a>j,/L<Cl, то влияние эмиттера я+-типа на уве личение падения напряжения на структуре незначительно.
На рис. 7-12 приведена зависимость падения напряжения на базе я-типа Обп от времени жизни т для двух значений плотности тока. Эти зависимости аналогичны зависимостям Холла ГЛ. 7-13] для pinдиода (при постоянном уровне плотности тока):
6п |
2kT |
2LP |
ДЛЯ |
w„ |
Я |
-f-<u |
|||
|
TtfeT |
wJ2l p |
|
(7-167) |
|
для -т— ^> 1. |
|||
|
2q |
|
|
|
Однако в работах Холла [Л. 7-13] и В. А. Кузьмина (Л. 7-14] величина Uen не зависит от плотности тока в явном виде, так как этими авторами не были учтены уменьшения эффективности эмитте ра и рассеяние носителей на носителях.
Из рис. 7-12 эта зависимость видна. Экспериментальные резуль таты достаточно хорошо совпадают с расчетными [Л. 7-4]. Однако численный расчет не дает наглядного аналитического выражения рассматриваемых зависимостей. Для грубой оценки влияния рассея ния носителей на носителях можно рассмотреть случай, когда коэф фициенты диффузии дырок и электронов зависят от координаты при большом уровне инжекции. Взяв производные по х от выражений для токов в (2-82) и воспользовавшись уравнением непрерывности, получим:
/р |
dDv |
qDv |
d(pE) |
qDp |
dx |
kT |
dx |
d*p
v dx2
fn dDn |
qPn d{nE) |
|
d'n |
|
(7-168) |
|
|
|
|
||||
qDn dX~T~ |
kT |
dx |
+ U n |
~ d x 2 = |
|
|
где величина R определяется с учетом |
(1-17). |
|
|
|||
Используя выражения, полученные из (7-166), |
|
|||||
1 |
dD„ |
1 |
dPp_ |
1 |
dP пР |
(7-169) |
р* |
dx |
/ )2 |
dx |
Ррп |
dx |
|
и из (7-160) |
|
р |
|
|
|
|
|
|
|
4qPn |
dn |
|
|
In |
^Р — |
|
|
(7-170) |
||
6 + 1 |
|
( 6 + 1 ) dx |
а также условие, что при большом уровне инжекции п—р, и исклю-
d(pE) |
d (пЕ) |
чив таким ооразом ^ |
= — j ^ — из (7-168), получим дифференци |
альное уравнение, описывающее распределение дырок и электронов
в условиях большого уровня инжекции и с учетом рассеяния носи181
телей на носителях: |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
J |
|
d2n |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
X |
|
dx2 |
2q |
|
|
|
+(b+l) |
|
dx |
||||
X |
1 |
dDnV |
_ |
|
|
(b+l)n |
|
(7-171) |
|||
( < 7 + l ) |
2Dn |
|
|||||||||
|
|
dx |
|
(x n 0 |
+ tp„) " |
|
|
||||
Считая эффективные |
массы дырок |
и электронов |
равными 0,59 /п0 |
||||||||
и 1,1 то соответственно, получаем |
согласно |
[Л. 7-9]: |
|
|
|||||||
|
|
|
l . l - l O |
1 ^ 3 ' 2 |
|
|
(7-172) |
||||
|
|
|
|
( |
|
|
Т2 |
|
|
||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
|
л In ( 2,9-10* |
|
— |
|
|
|
||||
|
|
|
|
Ч |
|
|
|
п |
|
|
|
Если л<10 1 8 сж~3 , то логарифм |
в |
(7-172) |
можно заменить по |
||||||||
стоянной и тогда |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
^ П |
Р |
= |
^ |
. |
|
|
|
|
(7-173) |
где Dno — коэффициент диффузии электронов при малом уровне ин
жекции, а п0—постоянна |
и равна |
при комнатной температуре и 0 » |
|||||
=«7-101 в сж-3 . |
|
|
|
|
|
|
|
В таком случае (7-171) преобразуется в |
|
|
|||||
d2n |
_ 1 _ • |
(Ь-1) |
I |
•(6+1) |
|
1 |
X |
dx2' |
2q |
|
/ |
n |
|||
|
|
|
|||||
|
dn |
dn |
|
(b+l)(l+—)n |
|
|
|
X |
|
|
|
|
(7-174) |
||
dx Pn0na |
dx |
|
2Pno |
(xno + |
zpo) |
Как следует из этого уравнения, форма кривой распределения носителей зависит от плотности тока. При большом уровне инжек
ции, |
но при концентрациях |
инжектированных |
носителей, |
меньших |
|||||||
101 6 |
см~3, уравнение |
(7-174) |
превращается в уравнение амбиполяр- |
||||||||
ной диффузии (Л. 7-14] |
и форма кривой распределения носителей |
||||||||||
не зависит от плотности |
тока. При |
больших |
/, |
когда |
п>п0, можно |
||||||
считать, что Dn=Dp—Dnp~ |
|
— ( Л . |
7-9] |
и |
Ъ-- |
так |
что |
уравнение |
|||
(7-174) сводится к |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
d*n |
|
dn |
|
|
|
|
|
|
(7-175) |
|
|
dx2 |
п \ dx I |
Рмпл |
(xn e + TP0 )* |
|
||||||
|
|
|
|||||||||
Частным решением этого |
уравнения |
является |
|
|
|
|
|||||
|
|
|
f 2Рп0п0 |
( i n 0 + тр 0 ) |
|
|
|
||||
|
|
п |
= |
(х + |
а)2 |
|
|
|
|
|
где а—'Постоянная интегрирования, зависящая от граничных усло вий.
182
Из (7-175) видно, что форма кривой распределения носителей опять не зависит ст плотности тока. Отсюда следует, что падения напряжения на базовых областях будут носить омический характер. Говард и Джонсон {Л. 7-12] показали, что при больших уровнях инжекции и при независимости коэффициентов диффузии от плот
ности тока / ~ £ / 2 б п . |
Отсюда и |
из |
изложенного |
выше |
можно сде |
|
лать вывод, что по мере повышения |
плотности тока вольт-амперная |
|||||
характеристика будет |
изменяться |
от |
I~U2un |
к |
l~Uon- |
Расчет на |
машине и экспериментальные |
результаты |
подтверждают |
сделанный |
вывод. Расчет вольт-амперной |
характеристики в аналитической фор |
||
ме открытой р-я-р-я-структуры |
с учетом |
бимолекулярной |
рекомби |
нации и рассеяния носителей на носителях (рассматривалась зави симость подвижности от концентрации) был произведен Е. В. Лаза ревым [Л. 7-16]. Результаты работы носят аналогичный рассмотрен ному выше характер.
Приведенные на рис. 7-7-—7-12 данные говорят о сравнительно равномерном распределении носителей в базовых областях структу ры, малом падении напряжения на р-базе и зависимости падения на пряжения на базе я-типа от времени жизни неосновных носителей.
Из рис. 7-7 видно, что по мере того, как концентрация инжек тированных носителей начинает превышать концентрацию легирую щей примеси, распределение концентрации носителей в базовых обла стях приближается к соответствующему распределению в pin-струк туре. Вышесказанное позволяет сделать вывод, что при определенных условиях открытую р-я-р-я-структуру можно аппроксимировать pinструктурой. Эти условия заключаются в том, что градиент потен циала на среднем коллекторном переходе «сглаживается» при значи тельном превышении концентрации инжектированных носителей над концентрацией примеси. Второе условие заключается в том, что при высоком уровне инжекции и w/L^l в толстой базе и w/L<.\ в тонкой базе носители проскакивают тонкую базу без рекомбинации и поступают в толстую базу.
В таком случае комбинацию среднего |
перехода |
\г, тонкой |
базы |
|||||||
р-типа и эмиттерного |
перехода j i |
можно |
заменить |
контактом |
типа |
|||||
я+я. Первое условие |
реализуется |
при |
больших |
плотностях |
тока |
|||||
(примерно |
1000 |
а/см2 |
в нашем случае), |
|
второе — при значительно |
|||||
меньших |
(примерно 1 а\см1). Если |
напряжение на переходе |
я+я-тппа |
|||||||
принять равным |
Ui—U3, |
то граничные |
условия |
на этом |
переходе |
|||||
(в точках |
and) |
не |
изменятся [Л. 74] |
и |
будут |
иметь вид, анало |
гичный, например, (7-165). С учетом таких граничных условий с по мощью цифровой вычислительной машины была решена система уравнений для р-я-я+-структуры, аналогичная системе уравнений для р-я-р-я-структуры, описанной выше. На рис. 7-10 точками изобра жены данные расчета для р-я-я+-структуры со следующими пара метрами, соответствующими рассмотренной выше р-я-р-я-структуре:
р+=Ю"см-\ |
Л'+ = 101 9 сж-з, N=2- 101 3 сж-3 , wP + |
= 54 мкм, ю п + = |
= 34 мкм, ш„ = 750 мкм, т=12 мксек. Из рис. 7-10 |
видно, что совпа |
дение расчетных данных для обеих структур хорошее, так что можно считать аппроксимацию открытой р-я-р-я-структуры при больших уровнях инжекции соответствующей pin-структурой справедливой.
Экспериментальные результаты [Л. 7->15] также подтверждают вышесказанное.
Г л а в а в о с ь м а я
Н Е С Т А Ц И О Н А Р Н Ы Е П Р О Ц Е С С Ы В р - п - р - л - СТРУКТУРЕ
Как было показано выше, р-л-р-л-структура, включен ная в прямом направлении, может находиться в двух устойчивых состояниях: с высокой проводимостью и с низкой проводимостью. Эффективность работы р-п-р-п- структуры как переключателя, особенно на высоких ча стотах, определяется ее способностью быстро переходить из одного устойчивого состояния в другое. Рассмотрению нестационарных процессов в р-л-р-я-структуре, выявле нию зависимостей между длительностями переходных процессов и электрофизическими параметрами р-п-р-п- структуры посвящена настоящая глава.
8-1. ПЕРЕХОДНЫЙ ПРОЦЕСС ВКЛЮЧЕНИЯ р-п-р-я-СТРУКТУРЫ
Перевод р-я-р-я-структуры в открытое состояние (включение р-л-р-л-структуры) может осуществляться несколькими способами — с помощью анодного напряже ния, равного напряжению переключения; с помощью тока управления; облучения р-л-р-л-структуры светом; с по мощью емкостного тока утечки коллекторного перехода при быстром нарастании анодного напряжения. Однако физическая сущность всех этих методов заключается во введении тем или иным способом в базовые области че тырехслойной структуры некоторого количества основных носителей, причем способ введения носителей не является определяющим.
В силу этого, а также из-за того, что наибольшее распространение получил способ переключения р-л-р-л- структуры с помощью базового тока управления, ниже будем рассматривать переходный процесс включения с помощью импульса базового тока.
Исследования процесса включения четырехслойных структур показывают, что его длительность складывается из длительностей следующих этапов: собственного вре мени задержки t3o, времени накопления критического за- . ряда tB(tao + tn — время задержки), времени лавинного нарастания тока через структуру /ф (время фронта) и времени установления стационарного состояния tY.
На рис. 8-1 представлены типичные осциллограммы тока и напряжения при включении тиристоров, Собствен-
184
ное время задержки t30 представляет то минимальное время, после которого начинается лавинный рост тока через структуру. Оно связано с диффузией и дрейфом неосновных носителей заряда в базовых областях прибо ра, включенного в силовую цепь, при подаче отпирающе го импульса в цепь управления. До тех пор, пока инжек тированные эмиттерными переходами носители не до стигли коллектора, ток .gj
через прибор практически отсутствует. Очевидно, что величина собственно го времени задержки дол жна быть порядка време ни пролета, т. е. невелика.
Помимо собственного времени задержки в ти ристорах существует еще задержка во времени (включающая в себя t30), связанная с накоплением в базовых областях кри тического заряда, необхо димого для начала лавин
ного роста тока. Очевидно, что это время зависит в первую очередь от величины тока управления и от величины анодного напряжения на тиристоре в момент включения. При токах управления, значительно превышающих токи управления — спрямления, время накопления может быть уменьшено практически до собственного времени за держки.
Время фронта определяет продолжительность процес са лавинного нарастания анодного тока до максималь ной величины, определяемой сопротивлением нагрузки цепи. Последний этап включения характеризуется тем, что ток через структуру достиг практически своей мак симальной величины, в то время как' напряжение на структуре еще сравнительно велико по сравнению с на пряжением на открытой структуре и продолжает асим птотически приближаться к стационарному значению. В результате этого процесса может происходить инвер сия знака напряжения на коллекторном переходе. Для одномерной модели структуры физическая сущность это го процесса связана с установлением стационарного рас пределения концентраций неравновесных носителей в ба-
185
зовых областях. В реальных тиристорах с большой пло щадью четырехслойных структур время установления стационарного состояния определяется в основном вре менем распространения включенного состояния по всей площади структуры. i
На практике при включении тиристоров для умень шения времени включения ток управления выбирают до статочно большим, так что время включения тиристора до максимального значения анодного тока определяется только временем фронта /ф. Рассмотрим подробнее этот процесс.
Процесс лавинного нарастания тока
В основу предлагаемого анализа положены результа ты работы [Л. 8-1]. Все процессы рассматриваются для малого уровня инжекции, и используются обычные допу щения теории транзисторов. Электрическое поле в базах предполагается отсутствующим. Коэффициенты инжек ции принимаются равными единице. Предполагаем, что собственный ток обратносмещенного коллекторного пе рехода равен нулю. Последнее обстоятельство весьма существенно для вида вольт-амперной характеристики. А именно, в рассматриваемом случае вольт-амперная ха рактеристика имеет два стабильных состояния, причем ветвь характеристики, отвечающая закрытому состоянию рассматриваемой модели структуры, близка к реальной.
Рассмотрим процессы движения неосновных носите лей заряда, инжектированных в базовые области струк туры. В нестационарном случае для электронов в р-базе имеем уравнение
Уравнение непрерывности для дырок в /г-базе
• Т И - ? " * > . - & - - < > |
( ^ ) |
(обозначения те же, что и в § 7-5 и на рис. 7-5). Граничные условия на коллекторном р-я-переходе при
х=0 запишем в следующем виде:
ni(0, 0 = 0 ; л2 ( 0 , 0 = 0 , |
(8-3) |
пренебрегая при этом значением равновесных концентра ций неосновых носителей по сравнению со значением не-
186
равновесных концентраций. Эти граничные условия со ответствуют рассмотрению процесса включения до тех пор, пока напряжение на коллекторном переходе оста ется запорным.
Записывая |
условие |
зарядовой |
нейтральности для |
||||
каждой из баз прибора, получим |
еще |
два граничных |
|||||
условия. |
|
|
|
|
|
|
|
Для базы |
р-типа |
\ |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
jdn2 |
(8-4) |
|
\x=-w, |
Я |
|
дх \ |
|
дх |
|
|
D i |
|
|
||||
где /б — ток базы на |
единицу |
площади |
эмиттера. |
||||
При включении прибора током базы, имеющим |
форму |
||||||
б-функции, /б = <2об(/), |
где Qo — заряд основных |
носите |
лей, введенных в р-базу, приходящийся на единицу пло щади.
Для базы |
я-типа |
|
|
|
|
|
|
|
л |
дпг_ |
•D, |
дп2 |
(8-5) |
и* |
дх |
~ и |
* дх |
дх |
||
Уравнения |
(8-1) |
и |
(8-2) |
с граничными |
условиями |
(8-3), (8-4), (8-5) позволяют полностью описать переход ный процесс включения структуры при указанных выше
допущениях. |
|
|
|
|
|
|
|
Преобразуя |
по Лапласу |
(8-1) |
и |
(8-2), получим: |
|
||
|
|
dx% |
|
•у 1 = |
0; |
(8-6) |
|
|
|
|
|
||||
|
|
d*y2 |
А, |
•уа=о, |
|
(8-7) |
|
|
|
dx2 |
|
||||
|
|
|
|
|
|
||
где |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
dt. |
|
Граничные условия (8-3)—(8-5) после преобразова |
|||||||
ния |
|
у, (0, |
р) = 0; |
у2(0, |
р) = 0; |
(8-8) |
|
|
|
||||||
л dyx |
(х, |
р) |
|
|
|
|
|
1 |
dx |
|
|
|
|
|
|
|
|
+D2 |
dy2 |
(х, р) |
|
|
(8-9) |
|
|
|
dx |
|
|
||
|
|
|
|
|
|
|
187
г, |
'dy2 (х, р) |
_ _ n |
<fya ( X . l ) |
|
2 |
dx |
|
|
|
|
_ _ r > |
^ 2 ( X , jP) |
(8-10) |
|
|
|
dx |
|
|
|
1 |
|
|
где No — Qolq — число введенных в базу основных носи телей, приходящихся на единицу площади р-п-перехода.
Решение уравнений (8-6) и (8-7) с граничными усло виями (8-8) — (.8-10) имеет вид:
и (х |
о)= |
|
/V0 sh ktx |
|
(8-11) |
||
|
|
|
|
||||
/д. |
|
# 0 |
( 1 — с11^ш2) sh |
|
(8-12) |
||
tfi \ i |
V) |
(c jj kiWi |
c [j ^2 t t ,2 |
— ch ktWi — ch |
ktw2) |
||
|
|||||||
где |
|
|
|
|
|
|
|
|
и — V1 |
+ -PT' • ь _ |
/ 1 + № |
|
|
||
|
ttj — |
J |
» «2 — |
J |
|
|
Для изображения тока получаем из (8-11):
|
—Qo ch ktw2 |
(8-13) |
|
ch |
ch k2w2 —• ch kxWx — ch k?w2 |
||
|
Операторное изображение тока Y(p) через p-n-p-n- структуру при включении ее б-импульсом может быть довольно просто получено и другим способом. А именно, если воспользоваться общепринятой эквивалентной схе мой структуры в виде соединения двух полупроводнико вых триодов, включенных по схеме с общим эмиттером, то
Yip)- |
-<ЗоФ». |
(/ОН |
+ Ф » 2 у » ] |
(8-14) |
||
1 - |
Ф»! (Р) |
Ф»2 |
(Р) |
|||
|
|
где <Pai(p) и Фэг(р)—изображения переходных харак теристик полупроводниковых триодов для схемы с об щим эмиттером, полученные в [Л. 8-2]:
Ф ( Р ) = - |
(8-15) |
ch-jj-К 1 + . / « — 1 |
- |
Подстановка (8-15) в (8-14) приводит к (8-13).
188
а) Переходные характеристики включения симметричной р-п-р-п-структуры
Для упрощения анализа рассмотрим сначала случай
симметричной |
структуры, т. е. Li = Lz=L; |
T I = T 2 = |
T ; WI = |
||
= W2 — w. В этом случае |
|
|
|
|
|
|
У ( Р ) = |
„, ~ Q ° |
|
• |
( 8 " 1 6 ) |
|
|
di-jr-Vl +pi |
— 2 |
|
|
Переходя |
в (8-16) к |
оригиналу, |
получаем |
|
где Q = w2/2D; |
a = a r c c h 2 = 1,317. |
Для малых |
времен (t порядка 6 и меньше) более |
удобным является другое представление тока, которое легко получить, разложив (8-16) в ряд по экспонентам и перейдя в каждом члене к оригиналу
л=1
где а = 2 + 1 / 3 ; р = 2 — / 3 .
Формулы (8-17) и (8-18) описывают изменение тока через симметричную структуру при включении ее током базы, имеющим форму 6-функции.
При включении симметричной структуры током базы, имеющим форму единичной функции, вместо (8-16) бу дем иметь следующее изображение тока:
Y(P): |
|
- / б |
|
(8-19) |
W , |
|
\ |
||
|
|
|
ch 7 7 К 1 +{п — 2 J р
189